KANTENEMITTIERENDER HALBLEITERLASER UND BETRIEBSVERFAHREN FÜR EINEN SOLCHEN HALBLEITERLASER

    公开(公告)号:WO2018224483A1

    公开(公告)日:2018-12-13

    申请号:PCT/EP2018/064739

    申请日:2018-06-05

    Inventor: FUCHS, Peter

    Abstract: In einer Ausführungsform umfasst der kantenemittierende Halbleiterlaser (1) eine Halbleiterschichtenfolge (2) mit einer aktiven Zone (22) zur Erzeugung von Laserstrahlung (L). An der Halbleiterschichtenfolge (2) ist eine Facette (3) zur Auskopplung und/oder Reflexion der Laserstrahlung (L) gebildet. Direkt an der Facette (3) befindet sich eine Schutzschichtenfolge (4) zum Schutz der Facette (3) vor Beschädigungen. Die Schutzschichtenfolge (4) weist in Richtung weg von der Halbleiterschichtenfolge (2) eine monokristalline Startschicht (41), eine Zwischenschicht (42) mit mindestens einem Gruppe 14-Material sowie mindestens eine Abschlussschicht (43) aus einem Nitrid, Oxid oder Oxynitrid auf. Die Startschicht (41), die Zwischenschicht (42) sowie die Abschlussschicht (43) sind paarweise aus verschiedenen Materialsystemen hergestellt.

    SPIEGEL FÜR EINEN LASER, LASER UND LASERBAUTEIL

    公开(公告)号:WO2023016987A1

    公开(公告)日:2023-02-16

    申请号:PCT/EP2022/072239

    申请日:2022-08-08

    Abstract: Es wird ein Spiegel (20) für einen Laser (21) angegeben, der Spiegel (20) umfassend einen Schichtenstapel (22) mit mindestens einer ersten Schicht (23), die ein erstes Material aufweist, und mindestens einer zweiten Schicht (24), die ein zweites Material aufweist, wobei das erste Material einen ersten Brechungsindex aufweist und das zweite Material einen zweiten Brechungsindex aufweist, der erste Brechungsindex und der zweite Brechungsindex sich um mindestens 0,2 unterscheiden, und die Reflektivität (R) des Spiegels (20) in dem Fall, dass ein erstes Austrittsmedium (25), welches zumindest stellenweise transluzent für elektromagnetische Strahlung einer vorgebbaren Wellenlänge ist, an den Spiegel (20) angrenzt sich um weniger als 10 % von der Reflektivität (R) des Spiegels (20) in dem Fall, dass ein vom ersten Austrittsmedium (25) verschiedenes zweites Austrittsmedium (26), welches zumindest stellenweise transluzent für elektromagnetische Strahlung der vorgebbaren Wellenlänge ist, an den Spiegel (20) angrenzt, unterscheidet für einen Wellenlängenbereich von mindestens ± 20 nm um die vorgebbare Wellenlänge herum. Des Weiteren werden ein Laser (21) und ein Laserbauteil (40) angegeben.

    STRAHLUNGSEMITTIERENDER HALBLEITERCHIP UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG

    公开(公告)号:WO2022012988A1

    公开(公告)日:2022-01-20

    申请号:PCT/EP2021/068481

    申请日:2021-07-05

    Abstract: Es wird ein strahlungsemittierender Halbleiterchip (31) mit den folgenden Merkmalen angegeben: - einem Halbleiterkörper (1) umfassend einen aktiven Bereich (2), der im Betrieb elektromagnetische Strahlung erzeugt und in einem Resonator (30) angeordnet ist, - zumindest einer Ausnehmung (4) in dem Halbleiterkörper (1), die den aktiven Bereich (2) vollständig durchdringt, wobei - die Ausnehmung (4) eine erste Seitenfläche (6) und eine zweite, der erste Seitenfläche (6) gegenüber liegende Seitenfläche (7) aufweist, und - die erste Seitenfläche (6) eine erste Beschichtung (10) aufweist, die eine Reflektivität für die elektromagnetische Strahlung des aktiven Bereichs (2) vorgibt, und/oder - die zweite Seitenfläche (7) eine zweite Beschichtung (13) aufweist, die eine Reflektivität für die elektromagnetische Strahlung des aktiven Bereichs (2) vorgibt. Außerdem wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Halbleiterchips angegeben.

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