公开(公告)号：EP2407812A4

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：EP10766813

申请日：2010-04-16

Applicant: PANASONIC CORP

Inventor： NAKAZONO SHINSUKE ,  HIRAOKA SOICHIRO ,  TERADA JIROU ,  FURUKAWA SHIGEO ,  HORIE TOSHIAKI ,  KOMAKI KAZUKI ,  TADA MASAKI ,  YAMAMOTO YUTA

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0858

公开(公告)号：JP2013214023A

公开(公告)日：2013-10-17

申请号：JP2012085397

申请日：2012-04-04

Applicant: Panasonic Corp ,  パナソニック株式会社

Inventor： HIRAOKA SOICHIRO ,  NAKAZONO SHINSUKE ,  HORIE TOSHIAKI ,  KUROZUKA AKIRA ,  KOMAKI KAZUKI

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical reflection element capable of projecting clear images by reducing undesirable vibration induced on actuators for scanning a light beam along two axes.SOLUTION: An optical reflection element of the present invention includes: a first frame member 22; a pair of first vibrating members 23, each having one end supported at an opposing point on the inner side of the first frame member 22; a second frame member 25 which is supported at the other ends of the first vibrating members 23 using connectors 24; a pair of second vibrating members 26, each having one end supported at an opposing point on the inner side of the second frame member 25 in a direction substantially perpendicular to a vibration axis of the first vibration members 23; and a mirror member supported by the other ends of the second vibrating members 26. The connectors 24 have resin layers.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够通过减少在沿着两个轴扫描光束的致动器上引起的不期望的振动来突出清晰图像的光学反射元件。本发明的光反射元件包括：第一框架构件22; 一对第一振动构件23，每个第一振动构件23的一端支撑在第一框架构件22的内侧上的相对点处; 第二框架构件25，其使用连接器24支撑在第一振动构件23的另一端; 一对第二振动构件26，每个第二振动构件26的一端沿与第一振动构件23的振动轴线大致垂直的方向在第二框架构件25的内侧的相对点处支撑; 以及由第二振动构件26的另一端支撑的镜构件。连接器24具有树脂层。

公开(公告)号：JP2012243974A

公开(公告)日：2012-12-10

申请号：JP2011113162

申请日：2011-05-20

Applicant: Panasonic Corp ,  パナソニック株式会社

Inventor： HIRAOKA SOICHIRO ,  NAKAZONO SHINSUKE ,  HORIE TOSHIAKI

IPC: H01L41/09 ,  B81B3/00 ,  G01C19/5621 ,  G01C19/5628 ,  G02B26/10 ,  H01L41/08 ,  H01L41/187 ,  H02K33/18

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly reliable actuator with respect to repetitive stress.SOLUTION: The actuator includes: a movable part 9 with wiring 14; and a driving part 12 for driving the movable part 9 by torsional motion or bending motion, or both of these motions. The wiring 14 is formed of conducting organic polymer. Thus, a lower electrode, an upper electrode, and wiring disposed in the movable part 9 subjected to repetitive stress are formed of the conducting organic polymer instead of metal. This eliminates the probability of migration, and also enhances the flexibility of the movable part, thereby providing a highly reliable actuator.

Abstract translation: 要解决的问题：提供相对于重复应力的高度可靠的致动器。

解决方案：致动器包括：具有布线14的可移动部分9; 以及用于通过扭转运动或弯曲运动或这两个运动来驱动可动部分9的驱动部分12。 布线14由导电有机聚合物形成。 因此，由导电有机聚合物代替金属形成设置在可重复应力的可动部分9中的下电极，上电极和布线。 这消除了迁移的可能性，并且还增强了可移动部件的灵活性，从而提供了高度可靠的致动器。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2010197662A

公开(公告)日：2010-09-09

申请号：JP2009041943

申请日：2009-02-25

Applicant: Panasonic Corp ,  パナソニック株式会社

Inventor： TERADA JIRO ,  HIRAOKA SOICHIRO ,  NAKAZONO SHINSUKE ,  FURUKAWA SHIGEO ,  HORIE TOSHIAKI ,  YAMAMOTO TAKEHIRO ,  TADA MAKI ,  KOMAKI KAZUKI

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08 ,  H02N2/00 ,  H04N1/036

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress damage of an optical reflection element. SOLUTION: The optical reflection element includes: a mirror part 1, a movable frame 3 that is connected to a mirror part 1 via a first beam 2 and surrounds the outer periphery of the first beam 2 and the mirror part 1; a support body 5 connected to the movable frame 3 via a second beam 4; a driving means for repetitively rotating and vibrating the mirror part 1 around each of the center axes of the first beam 2 and the second beam 4; and a suppressing means for suppressing vibration of at least one of the X-axis direction and Y-axis direction of the movable frame 3. Thus, excessive amplitude of the movable frame 3 can be suppressed, and the damage of the optical reflection element can be suppressed. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：抑制光反射元件的损伤。 光反射元件包括：反射镜部分1，可移动框架3，其通过第一光束2连接到反射镜部分1并且围绕第一光束2和反射镜部分1的外周; 通过第二光束4连接到可动框架3的支撑体5; 围绕第一光束2和第二光束4的每个中心轴重复旋转和振动反射镜部分1的驱动装置; 以及用于抑制可动框架3的X轴方向和Y轴方向中的至少一个的振动的抑制装置。因此，可以抑制可动框架3的过大的振幅，并且光反射元件的损坏 被压制 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2013191790A

公开(公告)日：2013-09-26

申请号：JP2012058285

申请日：2012-03-15

Applicant: Panasonic Corp ,  パナソニック株式会社

Inventor： HORIE TOSHIAKI ,  NAKAZONO SHINSUKE ,  HIRAOKA SOICHIRO ,  KOMAKI KAZUKI

IPC: H01L41/09 ,  B81B3/00 ,  G02B26/10 ,  H01L41/18 ,  H02N2/00

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric actuator in which occurrence of disconnection in metal wiring due to stress migration is reduced.SOLUTION: A piezoelectric actuator includes a vibration plate formed of a silicon substrate 15 and a piezoelectric layer 17 at the upper part of the vibration plate. The piezoelectric layer 17 comprises a lower electrode film 19, a piezoelectric film 20 provided at the upper part of the lower electrode film 19, and an upper electrode film 21 provided at the upper part of the piezoelectric film 20. The intrinsic stress of at least one of the electrode films of the upper electrode film 21 or the lower electrode film 19 is made to compressive stress.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种压电致动器，其中由于应力迁移导致金属布线中的断开发生减少。压电致动器包括由硅基板15和压电层17形成的振动板，压电层17在上部 振动板。 压电层17包括下电极膜19，设置在下电极膜19的上部的压电膜20和设置在压电膜20的上部的上电极膜21.至少 使上电极膜21或下电极膜19的电极膜之一成为压应力。

公开(公告)号：JP2010148265A

公开(公告)日：2010-07-01

申请号：JP2008323683

申请日：2008-12-19

Applicant: Panasonic Corp ,  パナソニック株式会社

Inventor： TERADA JIRO ,  YAMAMOTO TAKEHIRO ,  NAKAZONO SHINSUKE ,  TADA MAKI ,  HORIE TOSHIAKI ,  HIRAOKA SOICHIRO ,  FURUKAWA SHIGEO ,  KOMAKI KAZUKI

IPC: H02N2/00 ,  B81B3/00 ,  G02B5/08 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the drive efficiency of a meander type oscillator. SOLUTION: Drive elements 15 are provided respectively on a plurality of oscillation plates 11. The drive elements 15 are arranged closer to one end side opposite to the drive elements 15 provided on an adjoining oscillation plate 11, while being on one end side of the oscillation plate 11. Thee meander type oscillator is driven in switchback manner as a whole, resulting in a natural operation mode with less energy loss than before. As a result, a high driving efficiency is realized. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提高曲折型振荡器的驱动效率。 解决方案：驱动元件15分别设置在多个振动板11上。驱动元件15布置成更靠近设置在相邻振动板11上的驱动元件15的一端侧，同时在一端侧 整个摆动式振荡器以逆转方式驱动，产生了比以前更少的能量损耗的自然操作模式。 结果，实现了高驱动效率。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2014202801A

公开(公告)日：2014-10-27

申请号：JP2013076558

申请日：2013-04-02

Applicant: パナソニック株式会社 ,  Panasonic Corp

Inventor： KOBAYASHI TAKEHIRO ,  HORIE TOSHIAKI ,  NAKAZONO SHINSUKE ,  HIRAOKA SOICHIRO

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08

Abstract: 【課題】反射部の動的撓みを低減し、小型化した光学反射素子を提供する。【解決手段】固定部22と、固定部22の他端と接続された第1の振動部材24aと、第1の振動部材24aと対向する方向に接続された第2の振動部材24bと、第1、第2の振動部材24a、24bに回動可能に接続された反射部26を有し、第1の振動部材24aは固定部22と接続された第1の振動部23aと、反射部26と第1の振動部23aとの間に位置し第1の振動部23aとは異なる方向に延在した第2の振動部23bにより構成され、第2の振動部材24bは固定部22と接続された第3の振動部23cと、反射部26と第3の振動部23cとの間に位置し第3の振動部23cとは異なる方向に延在した第4の振動部23dにより構成され、第2の振動部23bのばね定数が第1の振動部23aのばね定数よりも低く第4の振動部23dのばね定数が第3の振動部23cよりも低い構成とした。【選択図】図1

Abstract translation: 要解决的问题：提供能够减少反射部分的动态偏转的小尺寸光学反射元件。解决方案：光学反射元件包括：固定部分22; 与固定部22的另一端连接的第一振动部件24a; 第二振动构件24b，其在与第一振动构件24a相反的方向上连接; 以及连接到第一和第二振动件24a和24b以便旋转的反射部分26。 第一振动部件24a包括：与固定部22连接的第一振动部23a; 位于反射部26和第一振动部23a之间并沿与第一振动部23a的方向不同的方向延伸的第二振动部23b。 第二振动部件24b包括：与固定部22连接的第三振动部23c; 以及位于反射部26和第三振动部23c之间并沿与第三振动部23c的方向不同的方向延伸的第四振动部23d。 第二振动部23b的弹簧常数被设定为小于第一振动部23a的弹簧常数，第四振动部23d的弹簧常数被设定为小于第三振动部23c的弹簧常数 。

公开(公告)号：JP2013186224A

公开(公告)日：2013-09-19

申请号：JP2012050043

申请日：2012-03-07

Applicant: Panasonic Corp ,  パナソニック株式会社

Inventor： NAKAZONO SHINSUKE ,  MIZUHARA KENSUKE ,  HIRAOKA SOICHIRO ,  HORIE TOSHIAKI ,  KOMAKI KAZUKI

IPC: G02B26/10

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical reflection element capable of improving a resonance frequency of an operation mode which vibrates to a normal line direction of a movable plate without causing a reduction in amplitude in the rotation operation of the movable plate.SOLUTION: There is provided an optical reflection element which comprises: a first side 11a parallel to a first axis 18; a square external frame having a second side 11b parallel to a second axis 19 which is almost orthogonal to the first axis 18; a first drive part having a meander shape which extends from the inside of one first side 11a of the external frame and is provided with at least one or more piezoelectric actuators; a strip-shaped support beam extending from an approximately middle point of the inside of one first side 11a of the external frame to a direction of the second axis 19; and a movable plate 15 which is connected to the support beam 12 and the drive part and has a reflection surface at the central part.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够改善振动到可移动板的法线方向的操作模式的共振频率而不会导致可移动板的旋转操作中的振幅减小的光反射元件。解决方案：有 提供了一种光反射元件，其包括：平行于第一轴线18的第一侧11a; 一个正方形的外部框架，具有平行于与第一轴线18几乎正交的第二轴线19的第二侧面11b; 第一驱动部分，具有从外框架的一个第一侧面11a的内侧延伸的弯曲形状，并设置有至少一个或多个压电致动器; 从所述外框架的一个第一侧面11a的内侧的大致中点到所述第二轴线19的方向延伸的带状支撑梁; 以及连接到支撑梁12和驱动部分并且在中心部分具有反射表面的可动板15。

公开(公告)号：JP2011209583A

公开(公告)日：2011-10-20

申请号：JP2010078443

申请日：2010-03-30

Applicant: Panasonic Corp ,  パナソニック株式会社

Inventor： NAKAZONO SHINSUKE ,  HORIE TOSHIAKI ,  FURUKAWA SHIGEO ,  HIRAOKA SOICHIRO ,  YAMAMOTO TAKEHIRO ,  TADA MAKI ,  KOMAKI KAZUKI

IPC: G02B26/10

CPC classification number: G02B26/0858 ,  G02B26/08 ,  G02B26/0841 ,  G02B26/085

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To enlarge swing angle of a mirror part in an optical reflection element using a meandering oscillation part.SOLUTION: The optical reflection element 1 comprises a fixed frame 2, a pair of low-speed meandering oscillation parts 3 with their outer ends supported by portions facing with each other on the inside of the fixed frame 2, a movable frame 4 supported by each inner end of the low-speed meandering oscillation parts 3, a pair of high-speed meandering oscillation parts 5 with their inner ends supported by portions of the movable frame 4 on the inside orthogonal to the oscillation shaft of the low-speed meandering oscillation parts 3, and a mirror part 6 supporting inner ends of the high-speed meandering oscillation parts 5 so that the curvature of a curved part 7 of the high-speed meandering oscillation parts 5 is made smaller from the inner end side toward the outer end side.

Abstract translation: 要解决的问题：使用蜿蜒的振荡部分来增大光学反射元件中的镜部的摆动角度。解决方案：光学反射元件1包括固定框架2，一对低速蜿蜒的摆动部分3，其外部 由固定框架2的内侧彼此面对的端部支撑的端部，由低速曲折振动部3的每个内端支撑的可动框架4，一对高速曲折摆动部5，其内端 由可动框架4的与低速蜿蜒振荡部件3的振动轴正交的内侧的支撑部分支撑，以及支撑高速曲折振荡部分5的内端的反射镜部分6， 使高速蜿蜒摆动部5的第7部分从内侧端部朝向外侧端部较小。