公开(公告)号：AT14576U1

公开(公告)日：2016-01-15

申请号：AT3022014

申请日：2014-08-20

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： KÖSTENBAUER HARALD ,  WINKLER JÖRG ,  JANUSCHEWSKY JUDITH ,  EIDENBERGER ELISABETH ,  LEICHTFRIED GERHARD ,  KATHREIN MARTIN ,  HWANG MOO SUNG

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C23C14/58

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Metallisierung für ein Dünnschichtbauelement sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Metallisierung. Weiters betrifft die Erfindung ein Sputtering Target aus einer Mo-Basislegierung, enthaltend Al sowie Ti und übliche Verunreinigungen sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Sputtering Targets aus einer Mo-Basislegierung.