公开(公告)号：ES2555876T3

公开(公告)日：2016-01-11

申请号：ES12795724

申请日：2012-10-17

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： ABENTHUNG PETER ,  LINKE CHRISTIAN ,  DRONHOFER ANDRÉ ,  WOLF HARTMUT ,  WILL TOBIAS ,  KÖCK WOLFGANG

IPC: C23C14/34 ,  H01J37/34

Abstract: Blanco tubular (100) de metal refractario o una aleación de metal refractario con un contenido en metal refractario ≥ 50 % atómico que comprende al menos una sección tubular X (200, 201) con al menos por zonas una densidad relativa RDx y al menos una sección tubular Y (300) con al menos por zonas una densidad relativa RDy, en el que al menos una sección tubular X (200, 201) presenta al menos por zonas un diámetro exterior mayor que al menos por zonas una sección tubular Y (300), caracterizado por que**Fórmula** >= 0,001.

公开(公告)号：PL2769002T3

公开(公告)日：2016-03-31

申请号：PL12795724

申请日：2012-10-17

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： ABENTHUNG PETER ,  LINKE CHRISTIAN ,  DRONHOFER ANDRÉ ,  WOLF HARTMUT ,  WILL TOBIAS ,  KÖCK WOLFGANG

IPC: C23C14/34 ,  H01J37/34

公开(公告)号：AT12292U3

公开(公告)日：2013-03-15

申请号：AT5622011

申请日：2011-10-18

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： ABENTHUNG PETER ,  LINKE CHRISTIAN ,  DRONHOFER ANDRE ,  WOLF HARTMUT ,  WILL TOBIAS ,  KOECK WOLFGANG

IPC: C23C14/34

Abstract: Die Erfindung beschreibt ein Rohrtarget aus Refraktärmetall oder einer Refraktärmetalllegierung, das zumindest einen Rohrabschnitt X mit einer relativen Dichte RDx und zumindest einen Rohrabschnitt Y mit einer relativen Dichte RDy umfasst, wobei zumindest ein Rohrabschnitt X zumindest bereichsweise einen größeren Außendurchmesser als zumindest bereichsweise ein Rohrabschnitt Y aufweist und das Dichteverhältnis die Beziehung (RDy-RDx)/RDy = 0,001 erfüllt. Weiters beschreibt die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines Rohrtargets aus Refraktärmetall oder einer Refraktärmetall-Legierung durch Sintern und örtlich unterschiedlich hohes Verformen. Das Rohrtarget weist einen über die gesamte Oberfläche gleichmäßigeren Sputterabtrag auf im Vergleich zu Rohrtargets gemäß dem Stand der Technik. Die Rohrtargets neigen weder zum Arcen, noch zur Teilchengenerierung.