公开(公告)号：PL2769002T3

公开(公告)日：2016-03-31

申请号：PL12795724

申请日：2012-10-17

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： ABENTHUNG PETER ,  LINKE CHRISTIAN ,  DRONHOFER ANDRÉ ,  WOLF HARTMUT ,  WILL TOBIAS ,  KÖCK WOLFGANG

IPC: C23C14/34 ,  H01J37/34

公开(公告)号：AT14912U1

公开(公告)日：2016-08-15

申请号：AT1072015

申请日：2015-05-06

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： DRONHOFER ANDRÉ ,  LINKE CHRISTIAN

IPC: H01J37/34

Abstract: Anschlussstück (6a-c) für ein rohrförmiges Target (1a-c) aufweisend eine zylindrische Innenfläche und eine zylindrische Außenfläche und zumindest einen magnetischen Einsatz (4a-c), wobei die Position des magnetischen Einsatzes (4a-c) entlang der axialen Richtung des Anschlussstücks (6a-c) auf zumindest einer Innen- oder Außenfläche des Anschlussstücks (6a-c) veränderbar ist. Dadurch wird ein verbessertes Anschlussstück für ein rohrförmiges Target bereitgestellt.

公开(公告)号：AT14911U1

公开(公告)日：2016-08-15

申请号：AT1082015

申请日：2015-05-06

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： DRONHOFER ANDRÉ ,  LINKE CHRISTIAN ,  EIDENBERGER ELISABETH

IPC: H01J37/34

Abstract: Target (1a-d) für eine Kathodenzerstäubungsanlage mit einem rohrförmigen Targetkörper (2a-d) aus einem Zerstäubungsmaterial, und zumindest einem mit dem Targetkörper (2a-d) verbundenen, aus dem Targetkörper herausragenden, Anschlussstück (6a-d) zum Anschließen des Targetkörpers (2a-d) an eine Kathodenzerstäubungsanlage wobei der Targetkörper (2a-d) mit dem zumindest einen Anschlussstück (6a-d) vakuumdicht und verdrehsicher verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem zumindest einen Anschlussstück (6a-d) und dem Targetkörper (2a-d) zumindest ein Dämpferelement (4a-d') angeordnet ist.

公开(公告)号：DE112016002047B4

公开(公告)日：2020-10-15

申请号：DE112016002047

申请日：2016-04-28

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： DRONHOFER ANDRÉ ,  LINKE CHRISTIAN

IPC: H01J37/34

Abstract: Anschlussstück (6a-c) für ein rohrförmiges Target (1a-c) aufweisend eine zylindrische Innenfläche und eine zylindrische Außenfläche und zumindest einen magnetischen Einsatz (4a-c), dadurch gekennzeichnet, dass die Position des magnetischen Einsatzes (4a-c) entlang der axialen Richtung des Anschlussstücks (6a-c) auf zumindest einer Innen- oder Außenfläche des Anschlussstücks (6a-c) veränderbar ist.

公开(公告)号：AT15004U1

公开(公告)日：2016-10-15

申请号：AT1092015

申请日：2015-05-06

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： DRONHOFER ANDRÉ ,  LINKE CHRISTIAN

IPC: H01J37/34

Abstract: Target (2a) für eine Kathodenzerstäubungsanlage mit einem rohrförmigen Targetkörper (4a) aus einem Zerstäubungsmaterial, und zumindest einem mit dem Targetkörper (4a) verbundenen Anschlussstück (6a) zum Anschließen des Targetkörpers (4a) an eine Kathodenzerstäubungsanlage, wobei das zumindest eine Anschlussstück (6a) mit einem Ende des Targetkörpers (4a) verbunden ist, und zumindest ein rohrförmiges Targetelement (8a) aus einem oder dem Zerstäubungsmaterial, wobei das rohrförmige Targetelement (8a) anschließend an das Ende des Targetkörpers (4a) auf dem Anschlussstück (6a) befestigbar oder befestigt ist, insbesondere wiederlösbar befestigt ist.

公开(公告)号：ES2555876T3

公开(公告)日：2016-01-11

申请号：ES12795724

申请日：2012-10-17

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： ABENTHUNG PETER ,  LINKE CHRISTIAN ,  DRONHOFER ANDRÉ ,  WOLF HARTMUT ,  WILL TOBIAS ,  KÖCK WOLFGANG

IPC: C23C14/34 ,  H01J37/34

Abstract: Blanco tubular (100) de metal refractario o una aleación de metal refractario con un contenido en metal refractario ≥ 50 % atómico que comprende al menos una sección tubular X (200, 201) con al menos por zonas una densidad relativa RDx y al menos una sección tubular Y (300) con al menos por zonas una densidad relativa RDy, en el que al menos una sección tubular X (200, 201) presenta al menos por zonas un diámetro exterior mayor que al menos por zonas una sección tubular Y (300), caracterizado por que**Fórmula** >= 0,001.

公开(公告)号：AT13609U1

公开(公告)日：2014-04-15

申请号：AT3652012

申请日：2012-09-17

Applicant: PLANSEE SE

Inventor： MUTSCHLECHNER WALTER ,  DRONHOFER ANDRÉ ,  LINKE CHRISTIAN

IPC: H01J37/34

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Target (2a) für eine Kathodenzerstäubungsanlage mit einemrohrförmigen Targetkörper (4a) aus einem Zerstäubungsmaterial, und zwei amTargetkörper (4a) befestigbaren Anschlussstücken (10a) zum Anschließen desTargetkörpers ( 4a) an eine Kathodenzerstäubungsanlage, wobei ein erstes Anschlussstückmit einem ersten Ende des Targetkörpers ( 4a) und ein zweites Anschlussstück mit einemzweiten Ende des Targetkörpers (4a) verbindbar ist, und wobei zumindest einArretierungsmittel (12a-d) an jedem Anschlussstück (10a) ausgebildet ist, um das jeweiligeAnschlussstück (10a) verdrehsicher mit dem Targetkörper (4a) zu verbinden.