公开(公告)号：DE102007062053B4

公开(公告)日：2012-01-19

申请号：DE102007062053

申请日：2007-12-21

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： GIEBELER CARSTEN DR ,  SCHREITER MATTHIAS

IPC: H01L37/00 ,  G01J5/12 ,  G01J5/34 ,  H01L27/16

Abstract: Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung (1) zur Detektion von Wärmestrahlung, mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (10) mit einer Substratoberfläche, einer unteren Elektrodenschicht (114) und einer weiteren unteren Elektrodenschicht (124), die auf der Substratoberfläche angeordnet sind und elektrisch voneinander isoliert sind, und zur Absorption von Temperier-Wärmestrahlung (106) einer Absorberschicht (104), die auf der der Substratoberfläche abgewandten Seite des Substrats (10) angeordnet und mit dem Substrat (10) wärmeleitend verbunden sind; Bestrahlen der Absorberschicht (104) mit einer Temperier-Wärmestrahlung (106) zum gleichmäßigen Temperieren des Substrats (10); Anordnen einer zusammenhängenden Keramikschicht auf den unteren Elektrodenschichten (114, 124).

公开(公告)号：DE102011000752B3

公开(公告)日：2012-06-06

申请号：DE102011000752

申请日：2011-02-15

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： CONWAY NEIL ,  GIEBELER CARSTEN DR

IPC: C23C14/08 ,  C04B35/491 ,  C23C14/34 ,  C23C14/54

Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen des Dünnfilms aus Blei-Zirkonat-Titanat in 111-orientierter Perovskit-Struktur weist die Schritte auf: Bereitstellen eines Substrats mit einer Substrattemperatur von über 450°C und eines Blei-Targets, eines Zirkon-Targets und eines Titan-Targets; Aufbringen des Dünnfilms durch Sputtern von Blei, Zirkon und Titan von den jeweiligen Targets auf das Substrat, wobei die gesamte Abscheiderate von Blei, Zirkon und Titan größer als 10 nm/min ist, die Abscheiderate von Zirkon derart gewählt wird, dass die atomare Konzentration von Zirkon bezogen auf die atomare Konzentration von Zirkon zusammen mit Titan im Dünnfilm zwischen 0,2 und 0,3 liegt, und die Abscheiderate von Blei in Abhängigkeit der Substrattemperatur und der gesamten Abscheiderate von Blei, Zirkon und Titan so niedrig gewählt wird, dass ein Röntgendiffraktometerdiagramm des 111-orientierten Blei-Zirkonat-Titanats im Bereich des Beugungswinkels von 33 bis 35,5° einen signifikanten Spitzenwert (19) hat; und Fertigstelle des Dünnfilms.

公开(公告)号：DE102007046451B4

公开(公告)日：2011-08-25

申请号：DE102007046451

申请日：2007-09-28

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： GIEBELER CARSTEN DR ,  RETTIG UWE DR ,  SCHREITER MATTHIAS

IPC: H01L25/03 ,  G01J5/34 ,  H01L23/36 ,  H01L27/16 ,  H01L37/00

Abstract: Vorrichtung zur Detektion von Wärmestrahlung, mit einer auf einem Silizium-Substrat angeordneten Membran (101) und mindestens zwei Detektorelementen (11, 12), die jeweils zum Umwandeln von Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal eingerichtet und auf der Membran (101) nebeneinander liegend angebracht sind, wobei auf der den Detektorelementen (11, 12) zugewandten Seite der Membran (100) mindestens eine Wärmeableitbahn (104) vorgesehen ist, die eine höhere Wärmeleitfähigkeit als die Membran (101) hat und mit den Detektorelementen (11, 12) via die Membran (101) thermisch leitend verbunden ist, so dass Wärme von den Detektorelementen (11, 12) mit der Wärmeableitbahn (104) abführbar ist, wodurch die Ansprechzeit der Detektorelemente (11, 12) niedrig ist, wobei die Wärmeleitbahn (104) von einer Dünnschicht gebildet ist, die auf der Membran (101) zwischen den Detektorelementen (11, 12) angeordnet ist und ausgelegt ist, um ein thermisches Übersprechen zu verhindern, und wobei in der Membran (101) integriert mindestens eine Wärmebarriere (105) vorgesehen ist, die eine niedrigere...