Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zur Detektion von Wärmestrahlung

    公开(公告)号:DE102007062053B4

    公开(公告)日:2012-01-19

    申请号:DE102007062053

    申请日:2007-12-21

    Applicant: PYREOS LTD

    Abstract: Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung (1) zur Detektion von Wärmestrahlung, mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (10) mit einer Substratoberfläche, einer unteren Elektrodenschicht (114) und einer weiteren unteren Elektrodenschicht (124), die auf der Substratoberfläche angeordnet sind und elektrisch voneinander isoliert sind, und zur Absorption von Temperier-Wärmestrahlung (106) einer Absorberschicht (104), die auf der der Substratoberfläche abgewandten Seite des Substrats (10) angeordnet und mit dem Substrat (10) wärmeleitend verbunden sind; Bestrahlen der Absorberschicht (104) mit einer Temperier-Wärmestrahlung (106) zum gleichmäßigen Temperieren des Substrats (10); Anordnen einer zusammenhängenden Keramikschicht auf den unteren Elektrodenschichten (114, 124).

    7.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE102007024903A1

    公开(公告)日:2008-12-11

    申请号:DE102007024903

    申请日:2007-05-29

    Applicant: PYREOS LTD

    Abstract: In a device for the detection of thermal radiation and a method for production of such a device, a stack is formed with a detector support having a detector element for converting the thermal radiation into an electric signal, a circuit support with a read-out circuit for reading out the electrical signal and a cover to shield the detector element. The detector support and the cover are so arranged that a first stack cavity is formed between the detector element and the cover and a second stack cavity is formed between detector support and the circuit support. The first stack cavity and/or the second stack cavity is evacuated and hermetically sealed. In the manufacturing operation, functionalized silicon-substrates are stacked upon one another, firmly bonded together and subsequently sub-divided. Preferably, the detector elements are pyro-electric detector elements. The device finds application in motion detectors, presence reporters and thermal-image cameras.

    УСТРОЙСТВО, СОДЕРЖАЩЕЕ СЛОЕНУЮ КОНСТРУКЦИЮ, ДЛЯ ОБНАРУЖЕНИЯ ТЕПЛОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ИСПОЛЬЗОВАНИЯ

    公开(公告)号:RU2465685C2

    公开(公告)日:2012-10-27

    申请号:RU2009144002

    申请日:2008-05-28

    Applicant: PYREOS LTD

    Abstract: Устройство (1) дляобнаружениятепловогоизлученияв видестопы (10) из: поменьшеймереоднойподложки (11) датчика, содержащейдатчик (111) дляпреобразованиятепловогоизлученияв электрическийсигнал; поменьшеймереоднойподложки (12) контурас поменьшеймереоднимсчитывающимконтуром (121, 122) длясчитыванияэлектрическогосигнала; поменьшеймереоднойкрышки (13), покрывающейдатчик; вкоторомдлякаждогоизуказанныхэлементов: крышка (13), подложка (12) иподложка (11) датчикаиспользуетсясоответствующаяпластина; причемподложкадатчикапомещенамеждуподложкойконтураи крышкой; причемуказаннаястопа (10) представляетсобойслоистуюструктуру; причемподложкадатчикаи крышкарасположеныдруготносительнодругатак, чтомеждудатчикомнаподложкеи крышкойимеетсяпоменьшеймереоднаперваяполость (14), ограниченнаяподложкойдатчикаи крышкой; подложкаконтураи подложкадатчикарасположеныдруготносительнодругатак, чтомеждунимиимеетсяпоменьшеймереоднавтораяполость (15), ограниченнаяэтимиподложками; перваяи/иливтораяполостивакуумированыиливыполненыс возможностьюихвакуумирования. Такжепредложенспособизготовленияуказанногоустройства. Устройствосогласноизобретениюиспользуютв датчикахдвижения, датчикахприсутствияи втепловизорах. Изобретениеобеспечиваетвозможностьсозданиякомпактногоустройствадляобнаружениятепловогоизлучения, котороеимеетуменьшенныепосравнениюс известнымигабариты. 3 н. и 12 з.п. ф-лы, 3 ил.

Patent Agency Ranking