Device having a membrane structure for detecting thermal radiation, method of production and use of the device

    公开(公告)号:AU2008256413B2

    公开(公告)日:2013-09-12

    申请号:AU2008256413

    申请日:2008-05-28

    Applicant: PYREOS LTD

    Abstract: The invention relates to a device for detecting thermal radiation, comprising at least one membrane on which at least one thermal detector element for converting the thermal radiation to an electrical signal is arranged, and at least one circuit carrier for carrying the membrane and for carrying at least one readout circuit for reading out the electrical signal, the detector element and the readout circuit being electrically interconnected through the membrane through an electrical via. The invention also relates to a method for producing said device by way of the following process steps: a) providing the membrane having the detector element and at least one electrical via and providing the circuit carrier, and b) uniting the membrane and the circuit carrier in such a manner that the detector element and the readout circuit are electrically interconnected through the membrane through an electrical via. The production is preferably carried out on the wafer level: Functionalized silicon substrates are stacked, firmly interconnected and then subdivided. The detector elements are preferably pyroelectric detector elements. The device according to the invention is used in motion detectors, presence detectors and thermal imaging cameras.

    УСТРОЙСТВО С МЕМБРАННОЙ КОНСТРУКЦИЕЙ ДЛЯ ОБНАРУЖЕНИЯ ТЕПЛОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ИСПОЛЬЗОВАНИЯ

    公开(公告)号:RU2468346C2

    公开(公告)日:2012-11-27

    申请号:RU2009144001

    申请日:2008-05-28

    Applicant: PYREOS LTD

    Abstract: Изобретениеотноситсяк теплометриии можетбытьиспользованоприобнаружениитепловогоизлучения. Устройствосодержитпоменьшеймереоднумембрану, накоторойрасположенпоменьшеймереодиндатчиктепладляпреобразованиятепловогоизлученияв электрическийсигнали поменьшеймереоднуподложкуконтура, несущуюмембрану, ипоменьшеймереодинсчитывающийконтурдлясчитыванияэлектрическогосигнала. Датчикэлектрическисвязанчерезмембранусосчитывающимконтуромпосредствомсквозногоконтакта. Изобретениетакжеотноситсяк способуизготовленияуказанногоустройства, содержащемуследующиешаги: берутмембранус датчикоми поменьшеймереоднимсквознымэлектрическимконтактом, атакжеподложкуконтураи собираютмембрануи подложкуконтуратакимобразом, чтопроходящийчерезмембранусквознойконтактзамыкаетэлектрическуюцепьмеждудатчикоми считывающимконтуром. Предпочтительноустройстваизготавливаютв видесхемнаобщихпластинах. Такиефункциональныекремниевыепластинысобираютв стопу, надежносоединяют, азатемотдельныеготовыеустройстваразделяют. Вкачестведатчиковпредпочтительноиспользуютпироэлектрическиедатчики. Устройство, согласноизобретению, используютв качестведатчикадвижения, датчикаприсутствияи вкачестветепловизоров. Техническийрезультат: повышениеточностии информативноститеплометрическихизмерений. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 2 ил.

Patent Agency Ranking