公开(公告)号：WO2015014754A2

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：PCT/EP2014066084

申请日：2014-07-25

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： GIEBELER CARSTEN

IPC: G01J5/34

CPC classification number: H01L31/1884 ,  G01J1/44 ,  G01J5/023 ,  G01J5/024 ,  G01J5/046 ,  G01J5/34 ,  G01J2005/345 ,  H01L37/02 ,  H01L37/025 ,  H01L41/316

Abstract: The invention relates to a method for producing a microsystem (1) having pixels, comprising the following steps: providing a silicon wafer; producing a thermal silicon oxide layer on the surface of the silicon wafer as a base layer (5) having a thickness between 200 nm and 1000 nm by oxidizing the silicon wafer; producing a thin silicon oxide layer directly on the base layer (5) as a substrate layer (6) having a thickness of 100 nm to 700 nm by means of a thermal deposition method; producing a platinum layer directly on the substrate layer (6) by means of a thermal deposition method, which platinum layer has a thickness of 40 nm to 200 nm, whereby an intermediate product comprising the silicon wafer, the base layer (5), the substrate layer (6), and the platinum layer is produced; cooling the intermediate product to room temperature; structuring the platinum layer in a pixel-like manner by removing superfluous areas of the platinum layer, whereby bottom electrodes (8, 12) of the pixels (7, 8) are formed in shape of pixels on the substrate layer (5) by the remaining areas of the platinum layer; removing material on the side of the silicon wafer facing away from the base layer (5), such that a frame (3) remains and a membrane (4) formed by the base layer (5) and the substrate layer (6) is tensioned by the frame (3); finishing the microsystem (1).

Abstract translation: 一种制造微（1）的像素，指出以下步骤的方法：提供硅晶片; 硅晶片具有200纳米和通过在硅晶片的氧化1000nm之间的厚度的基极层（5）的表面上制备的热氧化硅膜; 直接在基材层（5），其为支撑层上制备氧化硅膜（6），其具有通过热沉积法形成厚度为100nm至700nm; 直接具有厚度为40nm〜200nm的热沉积在支撑层（6）上制备铂层，从而具有中间产物产生的硅晶片，所述基材层（5），所述载体层（6）和所述铂层; 冷却该中间产物至室温; 通过去除铂层的不需要的部分，从而形成从形底部电极的铂层像素的剩余部分的像素的支持层（5）（8，12）上的铂层的像素状结构（7，8）; 跨区去除材料的基极层（5）的硅晶片的一侧相反的一侧，从而使框架（3）保持，并且所述框架（3）具有膜（4）由基本层（5）形成与所述载体层（6）; 在完成微（1）。

公开(公告)号：DE102014106681B4

公开(公告)日：2021-08-26

申请号：DE102014106681

申请日：2014-05-12

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： BROWN SPYROS ,  CHAMBERLAIN TIM ,  HURWITZ JONATHAN EPHRAIM DAVID ,  GIEBELER CARSTEN

IPC: H03K17/94 ,  G01J5/10 ,  G01V9/00

Abstract: Schalterbetätigungseinrichtung (100) mit einem Präsenzsensor (1) zum Betätigen eines Schalters (103) durch eine Präsenz eines Wärme emittierenden Teils (115) an dem Präsenzsensor (1), wobei die Präsenz von einer Annäherungsphase (31), bei der das Teil (115) sich dem Präsenzsensor (1) annähert, einer Verharrungsphase, bei der das Teil (115) in der Nähe des Präsenzsensors (1) verharrt, und einer Entfernungsphase (41), bei der das Teil (115) vom Präsenzsensor (1) wegzubewegen ist, gebildet ist, wobei der Präsenzsensor (1) eingerichtet ist vom Teil (115) emittierte Wärme mittels mindestens einem einen Dünnfilm aus pyroelektrischem Material aufweisenden Pixel (21 bis 24) zu detektieren und pro Pixel (21 bis 24) ein Signal (51 bis 54) mit Signalausschlägen (56, 57) entsprechend dem zeitlichen Intensitätsverlauf der vom Pixel (21 bis 24) detektierte Wärme auszugeben, einer Signalauswerteeinheit (101), mit der aus dem zeitlichen Aufeinanderfolgen und der Form der Signalausschläge (56, 57) die Annäherungsphase (31) und die Entfernungsphase (41) ermittelbar ist, und einem Aktuator (104), der von der Signalauswerteeinheit (101) angesteuert und, sobald die Annäherungsphase (31), die Verharrungsphase oder die Entfernungsphase (41) ermittelt ist, den Schalter (103) betätigt.

公开(公告)号：DE102014106681A1

公开(公告)日：2014-11-27

申请号：DE102014106681

申请日：2014-05-12

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： BROWN SPYROS ,  CHAMBERLAIN TIM ,  HURWITZ JONATHAN EPHRAIM DAVID ,  GIEBELER CARSTEN

IPC: H03K17/94 ,  G01J5/10 ,  G01V9/00

Abstract: Eine Schalterbetätigungseinrichtung (100) weist einen Präsenzsensor (1) zum Betätigen eines Schalters (103) durch eine Präsenz eines Wärme emittierenden Teils (115) an dem Präsenzsensor (1), wobei die Präsenz von einer Annäherungsphase (31), bei der das Teil (115) sich dem Präsenzsensor (1) annähert, einer Wartephase (44), bei der das Teil (115) in der Nähe des Präsenzsensors (1) verharrt, und einer Entfernungsphase (41), bei der das Teil (115) vom Präsenzsensor (1) wegzubewegen ist, gebildet ist, wobei der Präsenzsensor (1) eingerichtet ist vom Teil (115) emittierte Wärme mittels mindestens einem einen Dünnfilm aus pyroelektrischem Material aufweisenden Pixel (21 bis 24) zu detektieren und pro Pixel (21 bis 24) ein Signal (51 bis 54) mit Signalausschlägen (56, 57) entsprechend dem zeitlichen Intensitätsverlauf der vom Pixel (21 bis 24) detektierte Wärme auszugeben, eine Signalauswerteeinheit (101), mit der aus dem zeitlichen Aufeinanderfolgen und der Form der Signalausschläge (56, 57) die Annäherungsphase (31) und die Entfernungsphase (41) ermittelbar ist, und einen Aktuator (104) auf, der von der Signalauswerteeinheit (101) angesteuert und, sobald die die Annäherungsphase (31), die Wartephase (44) oder die Entfernungsphase (41) ermittelt ist, den Schalter (103) betätigt.

公开(公告)号：DE102012107739A1

公开(公告)日：2014-03-20

申请号：DE102012107739

申请日：2012-08-22

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： WOJTCZUK PIOTR ,  GIEBELER CARSTEN ,  BINNIE DAVID

IPC: G01V8/10

Abstract: Ein Sensorsystem zum Erkennen einer Bewegung in eine vorherbestimmte Bewegungsrichtung (30) einer Infrarotlichtquelle (29) weist mindestens ein Infrarotlichtsensorpaar bestehend aus zwei Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) auf, die nebeneinanderliegend bezüglich der Bewegungsrichtung (30) angeordnet und dadurch eine Sensorüberdeckungsstrecke (17) definieren, die durch den Abstand der voneinander abgewandten Enden (16) der Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) bezüglich der Bewegungsrichtung (29) bestimmt ist, sowie derart eingerichtet sind, dass sie bei der Bestrahlung mit der Infrarotlichtquelle (29) für das Erkennen der Bewegung der Infrarotlichtquelle (29) elektrische Signale abgreifbar zur Verfügung stellen, deren Ladungsvorzeichen gegensätzlich sind, wobei das Sensorsystem (1) ein Fenster (7) zwischen den Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) und der Infrarotlichtquelle (29) aufweist, durch das das Infrarotlicht der Infrarotlichtquelle (29) auf die Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) durchstrahlbar ist und hinter dem die Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) angeordnet sind sowie deren Anordnung und deren Erstreckung in die Bewegungsrichtung (29) derart auf die Weite (41) des Fensters (7) abgestimmt sind, dass jenseits eines vorherbestimmten Grenzabstands (20) weg vom Fenster (7) die Infrarotlichtsensoren (4, 5; 36, 37) jeweils eine Vollbescheinungszone (22, 23) haben, die die Orte definiert, von denen aus die Infrarotlichtquelle (29) lediglich einen der Infrarotlichtsensoren (4, 36 oder 5, 37) voll bescheint, wobei die Vollbescheinungszonen (22, 23) jenseits des Grenzabstands (20) sich räumlich nicht überlappen und die Fensterweite (41) in die Bewegungsrichtung (29) kleiner als die Sensorüberdeckungsstrecke (17) ist.

公开(公告)号：DE102014017585B4

公开(公告)日：2017-08-24

申请号：DE102014017585

申请日：2014-11-27

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： BROWN SPYROS ,  CHAMBERLAIN TIM ,  HURWITZ JONATHAN EPHRAIM DAVID ,  GIEBELER CARSTEN

IPC: H03K17/945 ,  G06F3/01

Abstract: Schalterbetätigungseinrichtung (11) zum Betätigen eines Schalters (10) durch acht mögliche Arten (3, 4, 31 bis 38) von nicht-taktilen Gesten, die mit einem Wärme emittierenden Teil auszuüben sind, mit einem Gestensensor (1), der eingerichtet ist beim Ausüben einer der Arten (3, 4, 31 bis 38) der Gesten vom Teil emittierte Wärme mittels vier Pixel (21 bis 24) zu detektieren und pro Pixel (21 bis 24), die jeweils einen Dünnfilm aus pyroelektrischem Material aufweisen, ein Signal (41 bis 44, 71 bis 74) mit einem Signalausschlag (48, 78) entsprechend dem zeitlichen Intensitätsverlauf der vom Dünnfilm des entsprechenden Pixels (21 bis 24) detektierten Wärme auszugeben, einer Signalauswerteeinheit (7), mit der aus dem zeitlichen Aufeinanderfolgen der Signalausschläge (48, 78) die Ausübung einer der Arten der Gesten ermittelbar ist, und einem Aktuator (9), der von der Signalauswerteeinheit (7) angesteuert wird und, sobald die Ausübung einer der Arten der Gesten ermittelt ist, den Schalter (10) betätigt, wobei die Arten (3, 4, 31 bis 38) der Geste von einer Annäherungsphase (3), bei der das Teil sich dem Gestensensor (1) annähert, einer darauffolgenden Wartephase (4), bei der das Teil in der Nähe des Gestensensors (1) verharrt, und einer darauffolgenden Translationsphase, bei der das Teil in eine von acht Richtungen sich bewegt, gebildet ist, wobei die vier einen Richtungen eine Längsrichtung (31), eine der Längsrichtung (31) entgegen gerichtete Richtung (32), eine Querrichtung (33), die im rechten Winkel zu der Längsrichtung (31) ist, und eine der Querrichtung (33) entgegen gerichtete Richtung (34) sind und die vier anderen Richtungen (35 bis 38) jeweils um 45° zu einer der ihr entsprechenden vier einen Richtungen (31 bis 34) gedreht sind, wobei die vier Pixel (21 bis 24) jeweils in einer der Ecken eines konvexen Vierecks angeordnet sind, dessen eine der Diagonalen (29) im Wesentlichen parallel zur Längsrichtung (31) und die andere Diagonale (28) im Wesentlichen parallel zur Querrichtung sind (33).

公开(公告)号：DE102014106680A1

公开(公告)日：2014-11-27

申请号：DE102014106680

申请日：2014-05-12

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： BROWN SPYROS ,  CHAMBERLAIN TIM ,  HURWITZ JONATHAN EPHRAIM DAVID ,  GIEBELER CARSTEN

IPC: G06F3/01

Abstract: Eine Schalterbetätigungseinrichtung (100) weist einen Gestensensor (1) zum Betätigen eines Schalters (103) durch eine nicht-taktile „Push“-Geste (115), die mit einem Wärme emittierenden Teil (114) auszuüben ist und von einer Annäherungsphase (111), bei der das Teil (114) sich dem Gestensensor (1) annähert, einer Wartephase (113), bei der das Teil (114) in der Nähe des Gestensensors (1) verharrt, und einer Rückzugsphase (112), bei der das Teil (114) vom Gestensensor (1) wegzubewegen ist, gebildet ist, wobei der Gestensensor (1) eingerichtet ist beim Ausüben der Geste (115) vom Teil (114) emittierte Wärme mittels mindestens einem einen Dünnfilm aus pyroelektrischem Material aufweisenden Pixel (21 bis 24) zu detektieren und pro Pixel (21 bis 24) ein Signal (51 bis 54) mit Signalausschlägen (56, 57) entsprechend dem zeitlichen Intensitätsverlauf der vom Pixel (21 bis 24) detektierten Wärme auszugeben, eine Signalauswerteeinheit (101), mit der aus dem zeitlichen Aufeinanderfolgen der Signalausschläge (56, 57) die Ausübung der Geste (115) ermittelbar ist, und einen Aktuator (104) auf, der von der Signalauswerteeinheit (101) angesteuert und, sobald die Ausübung der Geste (115) ermittelt ist, den Schalter (103) betätigt.

公开(公告)号：DE102007024902B4

公开(公告)日：2010-08-26

申请号：DE102007024902

申请日：2007-05-29

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： SCHREITER MATTHIAS ,  PAULUS CHRISTIAN ,  GIEBELER CARSTEN

IPC: H01L37/00 ,  B81C1/00 ,  G01J1/02 ,  G01J5/10 ,  G01J5/34 ,  H01L31/0203

公开(公告)号：DE102007062053A1

公开(公告)日：2009-07-02

申请号：DE102007062053

申请日：2007-12-21

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： GIEBELER CARSTEN ,  SCHREITER MATTHIAS

IPC: H01L37/00 ,  G01J5/12 ,  G01J5/34 ,  H01L27/16

公开(公告)号：BRPI0812098B1

公开(公告)日：2018-06-19

申请号：BRPI0812098

申请日：2008-05-28

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： GIEBELER CARSTEN ,  SCHREITER MATTHIAS ,  ZAPF JÖRG

IPC: G01J5/10 ,  G01J5/34 ,  H01L27/16 ,  H01L31/0203

公开(公告)号：DE102014115502A1

公开(公告)日：2016-04-28

申请号：DE102014115502

申请日：2014-10-24

Applicant: PYREOS LTD

Inventor： GIEBELER CARSTEN ,  VARGAS LLANAS HUGO

IPC: G01N21/55 ,  A61B5/00 ,  G01N33/48 ,  G04B47/06 ,  G04G21/02

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Hautmessgerät zum spektroskopischen Messen einer Haut eines Körperteils, mit einem ein Fenster (5) aufweisenden Anpressrahmen (3), einem ATR-Infrarotspektrometer (8), das einen an dem Anpressrahmen (3) befestigten ATR-Kristall (9) mit einer Probenbühne (10) aufweist, die in dem Fenster (5) angeordnet ist und somit mit dem Anpressrahmen (3) in Eingriff steht sowie mit der einen flächigen Seite des Anpressrahmens (3) in dieselbe Richtung gewandt ist, und einem Umgreifungsmittel (6), das zum Umgreifen des Körperteils und dadurch zum Tragen des Hautmessgeräts (1) an dem Körperteil eingerichtet ist, wobei mit dem Umgreifungsmittel (6) beim Tragen des Hautmessgeräts (1) der Anpressrahmen (3) mit seiner einen flächigen Seite flächig auf die Haut des Körperteils tragekomfortabel gedrückt ist, wodurch die Probenbühne (10) von der Haut kontaktiert ist und dadurch mit dem ATR-Spektrometer (8) das spektroskopische Messen der Haut bewerkstelligbar ist.