公开(公告)号：WO2013186260A1

公开(公告)日：2013-12-19

申请号：PCT/EP2013/062154

申请日：2013-06-12

Applicant: PYREOS LTD. ,  SIEMENS AG

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  SCHREITER, Matthias ,  STEINKOPFF, Thorsten ,  WERSING, Wolfram

IPC: C23C14/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/02 ,  G01J5/34 ,  H01L37/02

CPC classification number: H01L31/09 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/025 ,  C23C14/088 ,  G01J5/34 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18 ,  H01L37/04 ,  H01L41/316

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Mikrosystems, mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (2) aus Aluminiumoxid; Herstellen einer Dünnschicht (6) auf dem Substrat (2) durch Abscheiden von Bleizirkonattitanat auf das Substrat (2) mit einem thermischen Abscheideverfahren derart, dass das Bleizirkonattitanat in der Dünnschicht (6) selbstpolarisiert ist und vorwiegend in der rhomboedrischen Phase vorliegt; Abkühlen des Substrats (2) mit der Dünnschicht (6).

Abstract translation: 本发明涉及一种制造微，其包括以下步骤的方法：提供衬底（2）由氧化铝构成; 由（2），其具有热沉积过程，使得在薄膜（6）的锆钛酸铅是自极化，主要是在菱形晶相在基片上沉积的锆钛酸铅的衬底（2）上形成的薄膜（6）; 冷却基板（2）与薄膜（6）。

公开(公告)号：WO2009043571A1

公开(公告)日：2009-04-09

申请号：PCT/EP2008/008280

申请日：2008-09-29

Applicant: PYREOS LTD. ,  GIEBELER, Carsten ,  RETTIG, Uwe ,  SCHREITER, Matthias

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  RETTIG, Uwe ,  SCHREITER, Matthias

IPC: G01J5/10 ,  G01J5/12 ,  G01J5/34 ,  H01L27/16 ,  H01L31/101 ,  H01L37/00

CPC classification number: H01L31/101 ,  G01J5/02 ,  G01J5/024 ,  G01J5/0245 ,  G01J5/04 ,  G01J5/046 ,  G01J5/06 ,  G01J5/34 ,  H01L37/02 ,  Y10T29/49007

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Detektion von Wärmestrahlung, mit einer Membran (101) und mindestens zwei Detektorelementen (11), die jeweils zum Umwandeln von Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal eingerichtet und auf der Membran nebeneinander liegend angebracht sind, wobei auf der den Detektorelementen zugewandten Seite der Membran und/oder auf der den Detektorelementen abgewandten Seite der Membran mindestens eine Wärmeableitbahn (104) vorgesehen ist, die eine höhere Wärmeleitfähigkeit als die Membran hat und mit den Detektorelementen via die Membran wärmeleitend verbunden ist, so dass Wärme von den Detektorelementen mit der Wärmeableitbahn abführbar ist, wodurch die Ansprechzeit der Detektorelemente hoch ist, und wobei in der Membran integriert mindestens eine Wärmebarriere (105) vorgesehen ist, die eine niedrigere Wärmeleitfähigkeit als die Membran hat und zwischen den Detektorelementen sich erstreckt, so dass von der Wärmebarriere eine Wärmeleitung in der Membran von dem einen Detektorelement zu dem anderen Detektorelement behindert ist, wodurch das Übersprechen der Detektorelemente gering ist.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测热辐射的装置（1），与膜（101）和至少两个检测器组件（11），每个适于热辐射转换成电信号，并且安装成邻近彼此在膜上，在 面向膜的侧面和/或上设置有至少一个Wärmeableitbahn（104）的膜，其具有比所述薄膜高的热导率和热传导地连接到通过所述膜的探测器元件的探测器元件侧的相反侧的检测器元件，使得来自该热 与Wärmeableitbahn检测器元件被排出，由此，检测器元件的响应是高的，并且其中，在所述膜的至少集成的热障（105）被提供，其具有比所述薄膜的热导率和检测器元件之间延伸，使得热阻挡 热传导率 UNG从一个检测器元件是在膜中的其他检测器元件，由此所述检测器元件之间的串扰很小访问。

公开(公告)号：WO2008145354A1

公开(公告)日：2008-12-04

申请号：PCT/EP2008/004247

申请日：2008-05-28

Applicant: PYREOS LTD. ,  GIEBELER, Carsten ,  SCHREITER, Matthias ,  ZAPF, Jörg

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  SCHREITER, Matthias ,  ZAPF, Jörg

IPC: G01J5/34 ,  G01J5/10 ,  H01L27/16 ,  H01L31/0203

CPC classification number: H01L27/16 ,  G01J5/04 ,  G01J5/045 ,  G01J5/10 ,  G01J5/34 ,  H01L27/14618 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur Detektion von Wärmestrahlung, aufweisend einen Stapel (10) mit mindestens einem Detektorträger (11) mit mindestens einem thermischen Detektorelement (111) zur Umwandlung der Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal, mindestens einem Schaltungsträger (12) mit mindestens einer Ausleseschaltung (121, 122) zum Auslesen des elektrischen Signals, und mindestens einer Abdeckung (13) zum Abdecken des Detektorelements, wobei der Detektorträger und die Abdeckung derart aneinander angeordnet sind, dass zwischen dem Detektorelement des Detektorträgers und der Abdeckung mindestens ein, vom Detektorträger und von der Abdeckung begrenzter, erster Stapelhohlraum (14) des Stapels vorhanden ist, der Schaltungsträger und der Detektorträger derart aneinander angeordnet sind, dass zwischen dem Detektorträger und dem Schaltungsträger mindestens ein, vom Schaltungsträger und vom Detektorträger begrenzter, zweiter Stapelhohlraum (15) des Stapels vorhanden ist und der erste Stapelhohlraum und/oder der zweite Stapelhohlraum evakuiert oder evakuierbar sind. Daneben wird ein Verfahren zum Herstellen der Vorrichtung angegeben. Detektorträger, Schaltungsträger und Abdeckung sind vorzugsweise aus Silizium. Das Herstellen erfolgt auf Wafer-Ebene: Es werden funktionalisierte Silizium-Substrate übereinander gestapelt, fest miteinander verbunden und anschließend vereinzelt. Vorzugsweise sind die Detektorelemente pyroelektrische Detektorelemente. Verwendung findet die Vorrichtung in Bewegungsmeldern, Präsenzmeldern und Wärmebildkameras.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测热辐射的装置（1），其包括一个堆（10）与至少一个检测器支撑件（11）与至少一种热式光检测元件（111），用于热辐射转换成电信号，所述至少一个电路载体（12）与 用于覆盖所述检测器部件的至少一个读出电路（121，122），用于读出对应的电信号，和至少一个盖（13），所述检测器支撑件和盖被布置成彼此，使得检测器基板的检测器元件和盖，至少一个从间 所述堆叠的检测器支撑件和盖限定的，第一堆叠腔（14）存在时，在电路载体和检测器支撑件被布置成彼此，使得所述检测器基板和电路基板中，至少一个，从所述电路载体和检测器支撑件限定，第二堆叠腔室（15）之间 堆栈VO 是可用的翻译和所述第一堆叠腔体和/或第二堆叠腔抽空或可被排空。 此外，提供了一种用于制造该装置的方法。 检测器支撑件，在电路载体和盖优选地由硅制成。 制造发生在晶片级：有叠置固定在一起官能硅衬底和随后分离。 优选地，所述检测器元件是热电检测器元件。 使用发现于运动检测器，占用检测器和热成像装置。

公开(公告)号：WO2009083181A1

公开(公告)日：2009-07-09

申请号：PCT/EP2008/010903

申请日：2008-12-19

Applicant: PYREOS LTD. ,  GIEBELER, Carsten ,  SCHREITER, Matthias

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  SCHREITER, Matthias

IPC: G01J5/34

CPC classification number: G01J5/34

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Detektion von Wärmestrahlung mit einem Substrat mit einer Substratoberfläche, einem auf der Substratoberfläche angeordneten pyroelektrischen Detektorelement in Dünnschichtbauweise mit einer der Substratoberfläche zugewandten unteren Elektrodenschicht, einer der Substratoberfläche abgewandten oberen Elektrodenschicht und einer zwischen den Elektrodenschichten angeordneten pyroelektrisch aktiven Schicht, mindestens einem auf der Substratoberfläche neben dem pyroelektrischem Detektorelement angeordneten weiteren pyroelektrischem Detektorelement in Dünnschichtbauweise mit einer der Substratoberfläche zugewandten weiteren unteren Elektrodenschicht, einer der Substratoberfläche abgewandten weiteren oberen Elektrodenschicht und einer zwischen den weiteren Elektrodenschichten angeordneten weiteren pyroelektrisch aktiven Schicht, wobei die unteren Elektrodenschichten der Detektorelemente elektrisch von einander isoliert sind und die pyroelektrisch aktiven Schichten der Detektorelemente von einer zusammenhängenden Keramikschicht gebildet sind. Daneben wird ein Verfahren zum Herstellen der Vorrichtung zur Detektion von Wärmestrahlung mit folgenden Verfahrensschritten angegeben: a) Bereitstellen eines Substrats mit einer Substratoberfläche, b) Anordnen der unteren Elektrodenschicht und Anordnen der weiteren unteren Elektrodenschicht auf der Substratoberfläche, so dass die unteren Elektrodenschichten elektrisch voneinander isoliert sind, c) Anordnen der zusammenhängenden Keramikschicht auf den unteren Elektrodenschichten und d) Anordnen der oberen Elektrodenschichten auf der Keramikschicht. Verwendung findet die Vorrichtung in Bewegungsmeldern, Präsenzmeldern und Wärmebildkameras.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测包括具有衬底表面的衬底，设置在薄膜结构的衬底表面热电探测器元件上的热辐射的装置，与所述基板表面的下部电极层中的一个，从上部电极层背向和，布置在所述电极层之间pyroelectrically有源层的基底表面中的一个端面，至少 一个布置成邻近热电探测器元件在薄层结构具有面向另一下部电极层，从进一步上部电极层背向所述基板表面的一个基片表面的一个另外的热电探测器元件在基板表面上，并布置在所述另外的电极层还pyroelectrically有源层，其中，所述检测器元件的下部电极层是由电绝缘之间 彼此隔离并且pyroelek 检测器元件的有源美云层由相干陶瓷层形成。 此外，用于制造用于检测热辐射的装置的方法是通过以下处理步骤表示：a）提供具有衬底表面的基材，b）将下部电极层和布置在基板表面上的其他下部电极层，使得下电极层彼此电绝缘 是，c）将在所述下电极层的相干陶瓷层，以及d）将所述上部电极层的陶瓷层上。 使用发现于运动检测器，占用检测器和热成像装置。

公开(公告)号：WO2008145353A1

公开(公告)日：2008-12-04

申请号：PCT/EP2008/004246

申请日：2008-05-28

Applicant: PYREOS LTD. ,  GIEBELER, Carsten ,  SCHREITER, Matthias ,  PAULUS, Christian

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  SCHREITER, Matthias ,  PAULUS, Christian

IPC: G01J5/04 ,  G01J5/10 ,  G01J5/22

CPC classification number: G01J5/34 ,  G01J5/00 ,  G01J5/0205 ,  G01J5/0225 ,  G01J5/023 ,  G01J5/04 ,  G01J5/041 ,  G01J5/045 ,  G01J5/14 ,  G01J5/22 ,  G01J2005/0077 ,  G01J2005/204 ,  G01N2021/0106 ,  H01L27/14683 ,  H01L41/0973 ,  Y10T156/10

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Detektion von Wärmestrahlung, aufweisend mindestens eine Membran, auf der mindestens ein thermisches Detektorelement zur Umwandlung der Wärmestrahlung in ein elektrisches Signal angeordnet ist, und mindestens einen Schaltungsträger zum Tragen der Membran und zum Tragen mindestens einer Ausleseschaltung zum Auslesen des elektrischen Signals, wobei das Detektorelement und die Ausleseschaltung über eine elektrische Durchkontaktierung durch die Membran hindurch elektrisch miteinander verbunden sind. Daneben wird ein Verfahren zum Herstellen der Vorrichtung mit folgenden Verfahrensschritten angegeben: a) Bereitstellen der Membran mit dem Detektorelement und mindestens einer elektrischen Durchkontaktierung und Bereitstellen des Schaltungsträgers und b) Zusammenbringen der Membran und des Schaltungsträgers derart, dass das Detektorelement und die Ausleseschaltung über eine elektrische Durchkontaktierung durch die Membran hindurch elektrisch miteinander verbunden sind. Das Herstellen erfolgt vorzugsweise auf Wafer-Ebene: Es werden funktionalisierte Silizium-Substrate übereinander gestapelt, fest miteinander verbunden und anschließend vereinzelt. Vorzugsweise sind die Detektorelemente pyroelektrische Detektorelemente. Verwendung findet die Vorrichtung in Bewegungsmeldern, Präsenzmeldern und Wärmebildkameras.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检测热辐射的装置，包括至少一个膜，至少一种热式光检测元件，用于将被设置在上电信号的热辐射，以及至少一个电路载体用于支持该膜片和用于支撑至少一个读出电路，用于读出电 信号，其中所述检测器元件，并通过接触通过该膜经由电读出电路被电连接在一起。 此外，提供了一种制造该装置的方法，包括以下步骤：a）提供所述膜与检测器元件，并通过至少一个电和提供在电路载体和b）使所述膜和所述电路基板，使得所述检测器元件和所述读出电路中的电经由 通过穿过膜电连接。 生产优选在晶片级进行：有叠置固定在一起官能硅衬底和随后分离。 优选地，所述检测器元件是热电检测器元件。 使用发现于运动检测器，占用检测器和热成像装置。

公开(公告)号：EP2153188A1

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：EP08758830.7

申请日：2008-05-28

Applicant: Pyreos Ltd.

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  SCHREITER, Matthias ,  ZAPF, Jörg

IPC: G01J5/34 ,  G01J5/10 ,  H01L27/16 ,  H01L31/0203

CPC classification number: H01L27/16 ,  G01J5/04 ,  G01J5/045 ,  G01J5/10 ,  G01J5/34 ,  H01L27/14618 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: The invention relates to a device (1) for detecting thermal radiation, comprising at least one stack (10) having at least one detector carrier (11) with at least one thermal detector element (111) for converting the thermal radiation to an electrical signal, at least one circuit carrier (12) having at least one readout circuit (121, 122) for reading out the electrical signal, and at least one cover (13) for covering the detector element. The detector carrier and the cover are arranged on each other in such a manner that at least one first stack cavity (14) of the stack is produced between the detector element of the detector carrier and the cover, said cavity being delimited by the detector carrier and the cover. The circuit carrier and the detector carrier are arranged on each other in such a manner that at least one second stack cavity (15) of the stack is produced between the detector carrier and the circuit carrier, said cavity being delimited by the circuit carrier and the detector carrier. The first stack cavity and/or the second stack cavity are or can be evacuated. The invention also relates to a method for producing said device. The detector carrier, circuit carrier and the cover are preferably produced from silicon. The production is preferably carried out on the wafer level: Functionalized silicon substrates are stacked, firmly interconnected and then subdivided. The detector elements are preferably pyroelectric detector elements. The device according to the invention is used in motion detectors, presence detectors and thermal imaging cameras.

公开(公告)号：EP2153187A1

公开(公告)日：2010-02-17

申请号：EP08758829.9

申请日：2008-05-28

Applicant: Pyreos Ltd.

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  SCHREITER, Matthias ,  PAULUS, Christian

IPC: G01J5/04 ,  G01J5/10 ,  G01J5/22

CPC classification number: G01J5/34 ,  G01J5/00 ,  G01J5/0205 ,  G01J5/0225 ,  G01J5/023 ,  G01J5/04 ,  G01J5/041 ,  G01J5/045 ,  G01J5/14 ,  G01J5/22 ,  G01J2005/0077 ,  G01J2005/204 ,  G01N2021/0106 ,  H01L27/14683 ,  H01L41/0973 ,  Y10T156/10

Abstract: The invention relates to a device for detecting thermal radiation, comprising at least one membrane on which at least one thermal detector element for converting the thermal radiation to an electrical signal is arranged, and at least one circuit carrier for carrying the membrane and for carrying at least one readout circuit for reading out the electrical signal, the detector element and the readout circuit being electrically interconnected through the membrane through an electrical via. The invention also relates to a method for producing said device by way of the following process steps: a) providing the membrane having the detector element and at least one electrical via and providing the circuit carrier, and b) uniting the membrane and the circuit carrier in such a manner that the detector element and the readout circuit are electrically interconnected through the membrane through an electrical via. The production is preferably carried out on the wafer level: Functionalized silicon substrates are stacked, firmly interconnected and then subdivided. The detector elements are preferably pyroelectric detector elements. The device according to the invention is used in motion detectors, presence detectors and thermal imaging cameras.

公开(公告)号：EP3587617A1

公开(公告)日：2020-01-01

申请号：EP19190316.0

申请日：2013-06-12

Applicant: Pyreos Ltd.

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  SCHREITER, Matthias ,  STEINKOPFF, Thorsten ,  WERSING, Wolfram

IPC: C23C14/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/02 ,  G01J5/34 ,  H01L37/02 ,  H01L37/04 ,  H01L41/316

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Mikrosystems, mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (2) aus Aluminiumoxid; Herstellen einer Dünnschicht (6)auf dem Substrat (2)durch Abscheiden von Bleizirkonattitanat auf das Substrat (2) mit einem thermischen Abscheideverfahren derart, dass das Bleizirkonattitanat in der Dünnschicht (6) selbstpolarisiert ist und vorwiegend in der rhomboedrischen Phase vorliegt; Abkühlen des Substrats (2)mit der Dünnschicht (6).

公开(公告)号：EP2205950B1

公开(公告)日：2014-01-15

申请号：EP08802708.1

申请日：2008-09-29

Applicant: Pyreos Ltd.

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  RETTIG, Uwe ,  SCHREITER, Matthias

IPC: G01J5/10 ,  G01J5/12 ,  G01J5/34 ,  H01L27/16 ,  H01L31/101 ,  H01L37/00

CPC classification number: H01L31/101 ,  G01J5/02 ,  G01J5/024 ,  G01J5/0245 ,  G01J5/04 ,  G01J5/046 ,  G01J5/06 ,  G01J5/34 ,  H01L37/02 ,  Y10T29/49007

公开(公告)号：EP2205950A1

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：EP08802708.1

申请日：2008-09-29

Applicant: Pyreos Ltd.

Inventor： GIEBELER, Carsten ,  RETTIG, Uwe ,  SCHREITER, Matthias

IPC: G01J5/10 ,  G01J5/12 ,  G01J5/34 ,  H01L27/16 ,  H01L31/101 ,  H01L37/00

CPC classification number: H01L31/101 ,  G01J5/02 ,  G01J5/024 ,  G01J5/0245 ,  G01J5/04 ,  G01J5/046 ,  G01J5/06 ,  G01J5/34 ,  H01L37/02 ,  Y10T29/49007

Abstract: The invention relates to a device (1) for detecting heat radiation, comprising a membrane (101) and at least two detector elements (11), both of which are configured to convert heat radiation to an electrical signal, said detector elements being attached to the membrane and located adjacent to one another, wherein at least one heat dissipation path (104) is provided on the side of the membrane facing the detector elements or the side of the membrane facing away from the detector elements, said heat dissipation path having a greater heat conducting capacity than the membrane and being connected to the detector elements in a heat-conductive manner via the membrane, such that heat from the detector elements may be dissipated by the heat dissipation path, whereby the response time of the detector elements is high, and wherein at least one heat barrier (105) is provided that is integrated into the membrane, said heat barrier having a lower level of heat conductivity than the membrane and extending between the detector elements, preventing the conduction of heat in the membrane from one detector element to the other detector element, whereby the crosstalk between the detector elements is low.