-
1.发明申请VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MIKROSYSTEMS MIT EINER DÜNNSCHICHT AUSBLEIZIRKONATTITANAT 审中-公开一种用于生产微型计算机系统用薄膜AUSBLEIZIRKONATTITANAT
公开(公告)号：WO2013186260A1
公开(公告)日：2013-12-19
申请号：PCT/EP2013/062154
申请日：2013-06-12
Applicant: PYREOS LTD. , SIEMENS AG
Inventor： GIEBELER, Carsten , SCHREITER, Matthias , STEINKOPFF, Thorsten , WERSING, Wolfram
CPC classification number: H01L31/09 , C23C14/0036 , C23C14/025 , C23C14/088 , G01J5/34 , H01L31/032 , H01L31/18 , H01L37/04 , H01L41/316
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Mikrosystems, mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (2) aus Aluminiumoxid; Herstellen einer Dünnschicht (6) auf dem Substrat (2) durch Abscheiden von Bleizirkonattitanat auf das Substrat (2) mit einem thermischen Abscheideverfahren derart, dass das Bleizirkonattitanat in der Dünnschicht (6) selbstpolarisiert ist und vorwiegend in der rhomboedrischen Phase vorliegt; Abkühlen des Substrats (2) mit der Dünnschicht (6).
Abstract translation: 本发明涉及一种制造微，其包括以下步骤的方法：提供衬底（2）由氧化铝构成; 由（2），其具有热沉积过程，使得在薄膜（6）的锆钛酸铅是自极化，主要是在菱形晶相在基片上沉积的锆钛酸铅的衬底（2）上形成的薄膜（6）; 冷却基板（2）与薄膜（6）。
-
2.发明公开
公开(公告)号：EP3587617A1
公开(公告)日：2020-01-01
申请号：EP19190316.0
申请日：2013-06-12
Applicant: Pyreos Ltd.
Inventor： GIEBELER, Carsten , SCHREITER, Matthias , STEINKOPFF, Thorsten , WERSING, Wolfram
Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Mikrosystems, mit den Schritten: Bereitstellen eines Substrats (2) aus Aluminiumoxid; Herstellen einer Dünnschicht (6)auf dem Substrat (2)durch Abscheiden von Bleizirkonattitanat auf das Substrat (2) mit einem thermischen Abscheideverfahren derart, dass das Bleizirkonattitanat in der Dünnschicht (6) selbstpolarisiert ist und vorwiegend in der rhomboedrischen Phase vorliegt; Abkühlen des Substrats (2)mit der Dünnschicht (6).
-
3.发明公开
公开(公告)号：EP2859130A1
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：EP13728730.6
申请日：2013-06-12
Applicant: Pyreos Ltd.
Inventor： GIEBELER, Carsten , SCHREITER, Matthias , STEINKOPFF, Thorsten , WERSING, Wolfram
Abstract: The invention relates to a method for producing a microsystem, comprising the steps of providing a substrate (2) made of aluminum oxide; producing a thin film (6) on the substrate (2) by depositing lead zirconate titanate onto the substrate (2) by means of a thermal deposition method in such a way that the lead zirconate titanate in the thin film (6) is self-polarized and is predominantly in the rhombohedral phase; cooling down the substrate (2) together with the thin film (6).
Abstract translation: 一种制造微系统的方法，所述方法包括：提供由氧化铝制成的衬底（2）; 通过以热沉积方法将锆钛酸铅沉积在基片（2）上，使得薄膜（6）中的锆钛酸铅呈自偏振并主要存在，从而在基片（2）上产生薄膜（6） 在菱形相中; 并与薄膜（6）一起冷却基片（2）。
-
4.发明授权
公开(公告)号：EP3587617B1
公开(公告)日：2020-08-05
申请号：EP19190316.0
申请日：2013-06-12
Applicant: Pyreos Ltd.
Inventor： GIEBELER, Carsten , SCHREITER, Matthias , STEINKOPFF, Thorsten , WERSING, Wolfram
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.022 seconds)
