公开(公告)号：US3298879A

公开(公告)日：1967-01-17

申请号：US35395764

申请日：1964-03-23

Applicant: RCA CORP

Inventor： SCOTT JR JOSEPH H ,  MCIVER GEORGE W

IPC: C30B31/18 ,  H01L21/00 ,  H01L21/225

CPC classification number: H01L21/2258 ,  C30B31/185 ,  H01L21/00 ,  Y10S148/043 ,  Y10S148/051 ,  Y10S148/065 ,  Y10S148/106

公开(公告)号：CA818140A

公开(公告)日：1969-07-15

申请号：CA818140D

Applicant: RCA CORP

Inventor： SCOTT JOSEPH H JR ,  MCIVER GEORGE W