公开(公告)号：US20030053048A1

公开(公告)日：2003-03-20

申请号：US10211558

申请日：2002-08-05

Applicant: RENISHAW PLC

Inventor： Robert Bennett ,  Andrew Mark Woolfrey ,  John Charles Clifford Day ,  Angus Bewick

IPC: G01J003/44

CPC classification number: H01J37/228 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0243 ,  G01J3/44 ,  H01J37/256 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2808

Abstract: An electron microscope 10 is adapted to enable spectroscopic analysis of a sample 16. A parabolic mirror 18 has a central aperture 20 through which the electron beam can pass. The mirror 18 focuses laser illumination from a transverse optical path 24 onto the sample, and collects Raman and/or other scattered light, passing it back to an optical system 30. The mirror 18 is retractable (within the vacuum of the electron microscope) by a sliding arm assembly 22.

Abstract translation: 电子显微镜10适于使得能够对样品16进行光谱分析。抛物面反射镜18具有中心孔20，电子束可以穿过中心孔20。 反射镜18将来自横向光路24的激光照明聚焦到样品上，并收集拉曼和/或其他散射光，将其返回到光学系统30.反射镜18可以在电子显微镜的真空中收缩（在电子显微镜的真空中） 滑动臂组件22。