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公开(公告)号:CN102645423B
公开(公告)日:2017-10-24
申请号:CN201210056858.0
申请日:2012-01-29
Applicant: FEI公司
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/6428 , G01N21/6458 , G01N21/6486 , G01N23/225 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/206 , H01J2237/2443 , H01J2237/24455 , H01J2237/2448 , H01J2237/2803 , H01J2237/2857
Abstract: 公开了一种用于对生物样品内的荧光标记物例如荧光蛋白或者量子点进行成像和定位的方法和系统。利用重组遗传技术使“报告”基因插入很多物种中是被广泛认可的。特别是绿色荧光蛋白(GFPs)和范围从蓝色至黄色的其经遗传修饰的变体易于剪接到很多基因组中的目标基因(GoIs)位点处,其中GFPs被表达,对于由GoIs编码的目标蛋白质(PoIs)的功能没有明显影响。生物学家的一个目标是细胞内PoIs的更精确定位。本发明是利用带电粒子束诱导的对GFPs的破坏使PoI定位更加快速和精确的方法和系统。提出了系统的多个实施方案以实施本方法,以及相对不受高统计噪声水平影响的图像处理方法。
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公开(公告)号:CN104798172B
公开(公告)日:2017-08-25
申请号:CN201380060806.3
申请日:2013-11-26
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/20 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/22 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2003 , H01J2237/2004 , H01J2237/2006 , H01J2237/2007 , H01J2237/201 , H01J2237/20235 , H01J2237/2445 , H01J2237/24455 , H01J2237/24475 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束,照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6),通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子,从而取得带电粒子显微镜图像,同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。
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公开(公告)号:CN102315067B
公开(公告)日:2016-06-08
申请号:CN201110185088.5
申请日:2011-07-04
Applicant: 株式会社其恩斯
Inventor: 柏原光宏
CPC classification number: H01J37/28 , G02B21/0004 , G02B21/26 , H01J37/023 , H01J37/16 , H01J37/226 , H01J37/228 , H01J2237/20235
Abstract: 本发明提供一种放大观察设备,其可以平滑地切换电子显微镜图像和光学放大观察图像的观察域。该放大观察设备包括:封闭主体部分的端面的一对端面板;安装在主体部分的圆柱形外表面的第一位置上的电子束成像装置;安装在外表面上不同于第一位置的第二位置上的光学成像装置;旋转装置,沿外表面旋转两个成像装置以使得从两个成像装置的每一个到两个成像装置的公共旋转轴的距离保持恒定,并且两个成像装置的光轴都朝向旋转轴;布置在样本室中的样本台,其被布置到基本与旋转轴的高度相同的位置。
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公开(公告)号:CN101315859A
公开(公告)日:2008-12-03
申请号:CN200810110050.X
申请日:2008-05-29
Applicant: FEI公司
CPC classification number: G02B21/34 , H01J37/026 , H01J37/20 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2482
Abstract: 本发明涉及用于带电粒子仪器中的样品承载器及其使用方法,具体而言,本发明涉及光学显微镜载片(10)在诸如电子显微镜或聚焦离子束仪器的带电粒子仪器中的用途。传统的显微镜载片不适合用于电子显微镜中,因为它们是绝缘的,并且当在电子显微镜中观察时将由于碰撞的带电粒子束而充电。然而,存在以例如氧化铟锡(ITO)的导电层涂覆的显微镜载片。所述显微镜载片通常用于通过使电流流过导电层而对安装在载片上的对象进行加热。实验表明通过将导电层连接到例如地电位,并由此形成用于碰撞带电粒子的返回路径且从而避免充电,这些显微镜载片可有利地用于带电粒子仪器中。本发明还涉及还配有光学显微镜(130)的带电粒子仪器。
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公开(公告)号:CN1967224A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200610142720.7
申请日:2006-10-30
Applicant: 萨默费舍科学股份有限公司
Inventor: 布赖恩·罗伯特·巴纳德
IPC: G01N23/227 , G01N23/22
CPC classification number: H01J37/29 , H01J37/228 , H01J37/252
Abstract: 本发明提供了一种用于表面分析的光谱仪(10)及表面分析方法。光谱仪(10)提供试样观察和与试样表面大体正交的二次带电粒子收集。收集腔室(22)包括:二次带电粒子透镜装置(20),其用于使发出的粒子在下游方向上沿第一正交轴线(24)聚焦,由此限定带电粒子光学交叉位置(25);光反射光学元件(50),其位于所述透镜装置下游,并被设置成接收图像光(41)并使该光反射远离第二正交轴线(42)以提供所述表面的可观察图像。该光学元件(50)定位在交叉位置(25)处或附近,并包括贯穿其的开口(52),从而使聚焦的粒子穿过该开口以进行下游光谱分析,且大体不会受到该光学元件的阻碍。
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公开(公告)号:CN103817434A
公开(公告)日:2014-05-28
申请号:CN201310564270.0
申请日:2013-11-14
Applicant: FEI公司
Inventor: K.布鲁兰德
IPC: B23K26/064 , B23K26/12
CPC classification number: H01J37/226 , H01J37/228 , H01J37/3056 , H01J2237/31749 , B23K26/0643 , B23K26/067 , B23K26/1224 , B23K26/361 , H01J37/3053 , H01J37/31
Abstract: 本发明披露了一种用于使用两个分离开的具有不同特征的激光束对各种材料进行加工和成像的电子显微镜和FIB系统。第一激光束用于工件的大块材料清除和深沟槽蚀刻。第二激光束用于更精细的精密作业,如工件的微机械加工、小光点加工、或小热影响区的产生。该第一激光束和该第二激光束可以来自同一激光源或来自分离开的激光源。具有一个激光源具有使系统更加便宜和能够创建分离开的外部和内部台的附加益处,从而使得从第一激光束的大块材料清除中生成的碎片将不干扰粒子束室内的真空或组件。
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公开(公告)号:CN103681190A
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201310404108.2
申请日:2013-09-06
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/28 , H01J37/244 , H01J37/22 , H01J37/305
CPC classification number: H01J37/3045 , G21K5/00 , G21K5/08 , H01J37/226 , H01J37/228 , H01J37/3056 , H01J2237/1501 , H01J2237/28
Abstract: 一种用于将激光束对准成与带电粒子束重合的方法和装置。所述发明提供了一种用于对准激光束穿过物镜的中心并最终瞄准多束系统的共心点的方法。该装置利用了定位于带电粒子系统的真空室内或外的激光束对准系统的部件。
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公开(公告)号:CN102645423A
公开(公告)日:2012-08-22
申请号:CN201210056858.0
申请日:2012-01-29
Applicant: FEI公司
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/6428 , G01N21/6458 , G01N21/6486 , G01N23/225 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J2237/206 , H01J2237/2443 , H01J2237/24455 , H01J2237/2448 , H01J2237/2803 , H01J2237/2857
Abstract: 公开了一种用于对生物样品内的荧光标记物例如荧光蛋白或者量子点进行成像和定位的方法和系统。利用重组遗传技术使“报告”基因插入很多物种中是被广泛认可的。特别是绿色荧光蛋白(GFPs)和范围从蓝色至黄色的其经遗传修饰的变体易于剪接到很多基因组中的目标基因(GoIs)位点处,其中GFPs被表达,对于由GoIs编码的目标蛋白质(PoIs)的功能没有明显影响。生物学家的一个目标是细胞内PoIs的更精确定位。本发明是利用带电粒子束诱导的对GFPs的破坏使PoI定位更加快速和精确的方法和系统。提出了系统的多个实施方案以实施本方法,以及相对不受高统计噪声水平影响的图像处理方法。
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公开(公告)号:CN100565189C
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200510124700.2
申请日:2005-11-09
Applicant: FEI公司
Inventor: B·布伊斯塞 , R·F·M·亨德里克斯
CPC classification number: G01N21/6458 , G01N21/6428 , G01N23/225 , G01N2021/6432 , H01J37/228 , H01J37/28 , H01J2237/2826 , H01J2237/30438 , H01J2237/3174
Abstract: 本发明描述以高空间分辨率确定试样(4)中荧光标记的位置的方法。为此,用激励光束(11)照射试样(4),同时用粒子束(3)扫描试样(4)。扫描时,标记被粒子束(3)碰撞,并被破坏,这样被碰撞的标记不再发出荧光辐射。这就导致荧光辐射通量下降。检测这种下降。由于在标记被破坏的瞬间粒子束(3)相对于试样的位置是已知的,因此也就可以知道试样中标记的位置。
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公开(公告)号:CN101241026A
公开(公告)日:2008-08-13
申请号:CN200810005485.8
申请日:2008-02-05
Applicant: FEI公司
Inventor: W·R·诺尔斯
CPC classification number: H01J37/228 , H01J37/244 , H01J37/256 , H01J37/28 , H01J2237/188 , H01J2237/2608 , H01J2237/2808
Abstract: 本发明涉及一种粒子-光学装置,例如ESEM,用于同时通过粒子和光子来观察试样。压力限制装置(PLA)布置在ESEM的物镜和试样位置之间的隔膜中。试样位置与孔之间的距离足够小,以便使较大收集角的光子通过该孔。镜布置在隔膜和物镜之间。由于光子的较大收集角,可以获得极大NA。在试样位置和孔之间的较小距离还导致电子的散射比在ESEM(其中,镜布置在孔和试样位置之间)中产生的更少,因为电子只需要在高压区域中通过有限长度。实施例介绍了使用例如浸没透镜时的组合。
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