放大观察设备
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102315067B

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201110185088.5

    申请日:2011-07-04

    Inventor: 柏原光宏

    Abstract: 本发明提供一种放大观察设备,其可以平滑地切换电子显微镜图像和光学放大观察图像的观察域。该放大观察设备包括:封闭主体部分的端面的一对端面板;安装在主体部分的圆柱形外表面的第一位置上的电子束成像装置;安装在外表面上不同于第一位置的第二位置上的光学成像装置;旋转装置,沿外表面旋转两个成像装置以使得从两个成像装置的每一个到两个成像装置的公共旋转轴的距离保持恒定,并且两个成像装置的光轴都朝向旋转轴;布置在样本室中的样本台,其被布置到基本与旋转轴的高度相同的位置。

    用于带电粒子仪器中的样品承载器及其使用方法

    公开(公告)号:CN101315859A

    公开(公告)日:2008-12-03

    申请号:CN200810110050.X

    申请日:2008-05-29

    Applicant: FEI公司

    Abstract: 本发明涉及用于带电粒子仪器中的样品承载器及其使用方法,具体而言,本发明涉及光学显微镜载片(10)在诸如电子显微镜或聚焦离子束仪器的带电粒子仪器中的用途。传统的显微镜载片不适合用于电子显微镜中,因为它们是绝缘的,并且当在电子显微镜中观察时将由于碰撞的带电粒子束而充电。然而,存在以例如氧化铟锡(ITO)的导电层涂覆的显微镜载片。所述显微镜载片通常用于通过使电流流过导电层而对安装在载片上的对象进行加热。实验表明通过将导电层连接到例如地电位,并由此形成用于碰撞带电粒子的返回路径且从而避免充电,这些显微镜载片可有利地用于带电粒子仪器中。本发明还涉及还配有光学显微镜(130)的带电粒子仪器。

    用于表面分析的光谱仪及表面分析方法

    公开(公告)号:CN1967224A

    公开(公告)日:2007-05-23

    申请号:CN200610142720.7

    申请日:2006-10-30

    CPC classification number: H01J37/29 H01J37/228 H01J37/252

    Abstract: 本发明提供了一种用于表面分析的光谱仪(10)及表面分析方法。光谱仪(10)提供试样观察和与试样表面大体正交的二次带电粒子收集。收集腔室(22)包括:二次带电粒子透镜装置(20),其用于使发出的粒子在下游方向上沿第一正交轴线(24)聚焦,由此限定带电粒子光学交叉位置(25);光反射光学元件(50),其位于所述透镜装置下游,并被设置成接收图像光(41)并使该光反射远离第二正交轴线(42)以提供所述表面的可观察图像。该光学元件(50)定位在交叉位置(25)处或附近,并包括贯穿其的开口(52),从而使聚焦的粒子穿过该开口以进行下游光谱分析,且大体不会受到该光学元件的阻碍。

    用于同时利用粒子和光子来观察试样的粒子-光学装置

    公开(公告)号:CN101241026A

    公开(公告)日:2008-08-13

    申请号:CN200810005485.8

    申请日:2008-02-05

    Applicant: FEI公司

    Inventor: W·R·诺尔斯

    Abstract: 本发明涉及一种粒子-光学装置,例如ESEM,用于同时通过粒子和光子来观察试样。压力限制装置(PLA)布置在ESEM的物镜和试样位置之间的隔膜中。试样位置与孔之间的距离足够小,以便使较大收集角的光子通过该孔。镜布置在隔膜和物镜之间。由于光子的较大收集角,可以获得极大NA。在试样位置和孔之间的较小距离还导致电子的散射比在ESEM(其中,镜布置在孔和试样位置之间)中产生的更少,因为电子只需要在高压区域中通过有限长度。实施例介绍了使用例如浸没透镜时的组合。

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