公开(公告)号：WO2003014794A1

公开(公告)日：2003-02-20

申请号：PCT/GB2002/003599

申请日：2002-08-05

Applicant: RENISHAW PLC

Inventor： BENNETT, Robert ,  WOOLFREY, Andrew, Mark ,  DAY, John, Charles, Clifford ,  BEWICK, Angus

IPC: G02B7/00

CPC classification number: H01J37/228 ,  G01J3/02 ,  G01J3/0202 ,  G01J3/0208 ,  G01J3/0216 ,  G01J3/0243 ,  H01J37/256 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/2808

Abstract: An electron microscope (10) is adapted to enable spectroscopic analysis of a sample (16). A parabolic mirror (18) has a central aperture (20) through which the electron beam can pass. The mirror (18) focuses laser illumination from a transverse optical path (24) onto the sample, and collects Raman and/or other scattered light, passing it back to an optical system (30). The mirror (18) is retractable (within the vacuum of the electron microscope) by a sliding arm assembly (22). An adjustable kinematic mount (44) defines the inserted position of the parabolic mirror (18). A second parabolic mirror (104) is provided to direct the scattered or generated light towards an optical analyser. The parabolic mirrors are positioned in an aberration cancelling orientation and such that they compensate for inaccuracies in the position of the sliding arm assembly (22).

Abstract translation: 电子显微镜（10）适于使得能够对样品（16）进行光谱分析。 抛物面镜（18）具有中心孔（20），电子束可以通过该中心孔（20）。 反射镜（18）将来自横向光路（24）的激光照射聚焦到样品上，并收集拉曼和/或其他散射光，将其传回光​​学系统（30）。 镜子（18）通过滑动臂组件（22）可缩回（在电子显微镜的真空内）。 可调节运动学支架（44）限定抛物面镜（18）的插入位置。 提供第二抛物面镜（104）以将散射或产生的光引向光学分析器。 抛物面镜被定位在像差消除取向中，并且使得它们补偿滑动臂组件（22）的位置的不准确性。