公开(公告)号：AU2002359865A1

公开(公告)日：2003-07-30

申请号：AU2002359865

申请日：2002-12-30

Applicant: SAINT GOBAIN CERAMICS

Inventor： MAIN GERARD ,  DROUIN JEAN-MICHEL ,  SIMPSON MATTHEW A ,  BILLIERES DOMINIQUE

IPC: C23C4/10 ,  B32B9/00 ,  B32B15/04 ,  C23C16/00

公开(公告)号：FR2834723A1

公开(公告)日：2003-07-18

申请号：FR0300243

申请日：2003-01-10

Applicant: SAINT GOBAIN CERAMICS

Inventor： SIMPSON MATTHEW A ,  BILLIERES DOMINIQUE ,  MAIN GERARD ,  DROUIN JEAN MICHEL

IPC: C23C4/10 ,  C30B29/28 ,  H01L21/00 ,  H01L21/02

公开(公告)号：ITMI20030015A1

公开(公告)日：2003-07-12

申请号：ITMI20030015

申请日：2003-01-08

Applicant: SAINT GOBAIN CERAMICS

Inventor： BILLIERES DOMINIQUE ,  DROUIN JEAN-MICHEL ,  MAIN GERARD ,  SIMPSON MATTHEW A

IPC: C23C4/10 ,  H01L20060101