公开(公告)号：CN101081515A

公开(公告)日：2007-12-05

申请号：CN200710106530.4

申请日：2007-06-01

Applicant: SMC株式会社

Inventor： 永井茂和 ,  齐藤昭男 ,  染谷雅彦 ,  斋藤优 ,  吉田幸久

IPC: B25J15/00 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/6838 ,  H01L21/67784

Abstract: 非接触输送装置(10)包括：顶板(14)，该顶板(14)有用于向它供给空气的供给口(12)；扩散器板(18)，该扩散器板(18)有用于排出空气的排出孔(16)；以及板形喷嘴板(22)，该喷嘴板置于顶板(14)和扩散器板(18)之间，且其中有多个喷嘴(20)。顶板(14)、喷嘴板(22)和扩散器板(18)叠放起来，并通过多个连接螺栓(24)而相互连接成一体。空气从供给口(12)通过流动通道(26)而供向多个喷嘴(20)。空气通过沿径向向外方向定向的沿径向形成的喷嘴(20)而从多个排出孔(16)导向外部。