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公开(公告)号:CN102428344B
公开(公告)日:2014-04-16
申请号:CN201080022149.X
申请日:2010-04-12
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种三维形貌检测方法。该方法用于检测被检测体,所述被检测体具备基板和配置在所述基板上的焊锡球,其特征是包括:中心部确定步骤,获得焊锡球的图像后确定焊锡球的中心部;图像获得步骤,在被检测体上形成正弦波图纹,并获得同时包括基板上面和焊锡球的整合图像;相位值确定步骤,在整合图像中选定通过焊锡球中心部的虚拟直线—基准线,并在所述基准线的焊锡球的中心部获取投影了正弦波图纹部分的相位值后,将其定为焊锡球中心部的相位值,在位于基准线的基板上获取投影了正弦波图纹部分的相位值后,将其定为基板的相位值;及高度计算步骤,由焊锡球中心部的相位值和基板的相位值之间的差,计算从基板上面到焊锡球中心部的高度。
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公开(公告)号:CN102422121B
公开(公告)日:2014-06-18
申请号:CN201080020216.4
申请日:2010-04-13
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/005 , G01B11/03 , G01C11/025
Abstract: 本发明涉及视觉检测系统及利用该系统的坐标转换方法。该系统包括:工作台,支撑被检测体;台架,使工作台在Y轴方向上直线往复运动;多个摄像机,为了获得被检测体或工作台的图像,沿X轴方向相隔配置,其中包括:多个第一标记,沿着与Y轴交叉的X轴方向相隔配置在工作台的一端;多个第二标记,一部分从多个第一标记中最左侧的第一标记开始在工作台的一侧沿Y轴方向相隔配置,另一部分从多个第一标记中最右侧的第一标记开始在工作台的另一侧沿Y轴方向相隔配置。获得多个第一标记的图像后,将此图像坐标值转换成台架坐标值,获得多个第二标记的图像后,将此图像坐标值和台架坐标值转换成台架的精确度得到补偿的以被检测体为基准的绝对坐标值。
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公开(公告)号:CN102362146A
公开(公告)日:2012-02-22
申请号:CN201080013587.X
申请日:2010-02-26
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及反射度分布曲线建模方法及应用该方法的厚度检测方法、厚度检测反射仪。所述建模方法针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布,包括:反射度分布曲线制作步骤,制作用于表示基于光线波长而变化的薄膜层反射度分布的反射度分布曲线;输入强度设定步骤,针对特定波长带通白色光后,在以所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线,并在所述波长带中积分强度分布曲线后将其结果设定为特定波长的输入强度;输出强度设定步骤,在所述波长带中积分由反射度分布曲线和强度分布曲线结合而成的复合强度分布曲线,并将其结果设定为特定波长的输出强度;积分反射度设定步骤,将把特定波长输出强度除以特定波长输入强度的商作为针对特定波长的薄膜层的积分反射度;及积分反射度分布曲线生成步骤,边改变特定波长,边重复执行输入强度设定步骤、输出强度设定步骤及积分反射度设定步骤,以生成用于表示基于波长变化的积分反射度分布的积分反射度分布曲线。
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公开(公告)号:CN102422121A
公开(公告)日:2012-04-18
申请号:CN201080020216.4
申请日:2010-04-13
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/005 , G01B11/03 , G01C11/025
Abstract: 本发明涉及视觉检测系统及利用该系统的坐标转换方法。该系统包括:工作台,支撑被检测体;台架,使工作台在Y轴方向上直线往复运动;多个摄像机,为了获得被检测体或工作台的图像,沿X轴方向相隔配置,其中包括:多个第一标记,沿着与Y轴交叉的X轴方向相隔配置在工作台的一端;多个第二标记,一部分从多个第一标记中最左侧的第一标记开始在工作台的一侧沿Y轴方向相隔配置,另一部分从多个第一标记中最右侧的第一标记开始在工作台的另一侧沿Y轴方向相隔配置。获得多个第一标记的图像后,将此图像坐标值转换成台架坐标值,获得多个第二标记的图像后,将此图像坐标值和台架坐标值转换成台架的精确度得到补偿的以被检测体为基准的绝对坐标值。
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公开(公告)号:CN102362146B
公开(公告)日:2013-10-16
申请号:CN201080013587.X
申请日:2010-02-26
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及反射度分布曲线建模方法及应用该方法的厚度检测方法、厚度检测反射仪。所述建模方法针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布,包括:反射度分布曲线制作步骤,制作用于表示基于光线波长而变化的薄膜层反射度分布的反射度分布曲线;输入强度设定步骤,针对特定波长带通白色光后,在以所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线,并在所述波长带中积分强度分布曲线后将其结果设定为特定波长的输入强度;输出强度设定步骤,在所述波长带中积分由反射度分布曲线和强度分布曲线结合而成的复合强度分布曲线,并将其结果设定为特定波长的输出强度;积分反射度设定步骤,将把特定波长输出强度除以特定波长输入强度的商作为针对特定波长的薄膜层的积分反射度;及积分反射度分布曲线生成步骤,边改变特定波长,边重复执行输入强度设定步骤、输出强度设定步骤及积分反射度设定步骤,以生成用于表示基于波长变化的积分反射度分布的积分反射度分布曲线。
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公开(公告)号:CN102428344A
公开(公告)日:2012-04-25
申请号:CN201080022149.X
申请日:2010-04-12
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及一种三维形貌检测方法。该方法用于检测被检测体,所述被检测体具备基板和配置在所述基板上的焊锡球,其特征是包括:中心部确定步骤,获得焊锡球的图像后确定焊锡球的中心部;图像获得步骤,在被检测体上形成正弦波图纹,并获得同时包括基板上面和焊锡球的整合图像;相位值确定步骤,在整合图像中选定通过焊锡球中心部的虚拟直线—基准线,并在所述基准线的焊锡球的中心部获取投影了正弦波图纹部分的相位值后,将其定为焊锡球中心部的相位值,在位于基准线的基板上获取投影了正弦波图纹部分的相位值后,将其定为基板的相位值;及高度计算步骤,由焊锡球中心部的相位值和基板的相位值之间的差,计算从基板上面到焊锡球中心部的高度。
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