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公开(公告)号：CN105190227B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201480015329.3
申请日：2014-03-17
Applicant: SNU精度株式会社
Abstract: 本发明涉及一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，该装置利用干涉光对检测对象的形状进行检测，其特征在于，包括：光源，用于发射光线；光线分割器，用于对从所述光源发射的光线进行反射或对通过检测对象反射的光线进行透射；透镜部，用于使通过所述光线分割器反射的光线聚集到所述检测对象；光线检测部，用于检测从所述检测对象反射的光线；及光线调节部，配置在所述光源和所述光线分割器之间的光路上，用于阻断从所述光源的中心区域发射的光线，从而减弱在所述透镜部中产生的光线的干涉。
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公开(公告)号：CN102362146A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201080013587.X
申请日：2010-02-26
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及反射度分布曲线建模方法及应用该方法的厚度检测方法、厚度检测反射仪。所述建模方法针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布，包括：反射度分布曲线制作步骤，制作用于表示基于光线波长而变化的薄膜层反射度分布的反射度分布曲线；输入强度设定步骤，针对特定波长带通白色光后，在以所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线，并在所述波长带中积分强度分布曲线后将其结果设定为特定波长的输入强度；输出强度设定步骤，在所述波长带中积分由反射度分布曲线和强度分布曲线结合而成的复合强度分布曲线，并将其结果设定为特定波长的输出强度；积分反射度设定步骤，将把特定波长输出强度除以特定波长输入强度的商作为针对特定波长的薄膜层的积分反射度；及积分反射度分布曲线生成步骤，边改变特定波长，边重复执行输入强度设定步骤、输出强度设定步骤及积分反射度设定步骤，以生成用于表示基于波长变化的积分反射度分布的积分反射度分布曲线。
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公开(公告)号：CN105190227A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480015329.3
申请日：2014-03-17
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02029 , G01B9/02034 , G01B9/02057 , G01J3/0208 , G01J3/0229 , G01J3/50 , G01J3/506 , G01N21/8806 , G01N21/95 , G01N2021/8845 , G01N2021/9513
Abstract: 本发明涉及一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，该装置利用干涉光对检测对象的形状进行检测，其特征在于，包括：光源，用于发射光线；光线分割器，用于对从所述光源发射的光线进行反射或对通过检测对象反射的光线进行透射；透镜部，用于使通过所述光线分割器反射的光线聚集到所述检测对象；光线检测部，用于检测从所述检测对象反射的光线；及光线调节部，配置在所述光源和所述光线分割器之间的光路上，用于阻断从所述光源的中心区域发射的光线，从而减弱在所述透镜部中产生的光线的干涉。
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公开(公告)号：CN102362146B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201080013587.X
申请日：2010-02-26
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及反射度分布曲线建模方法及应用该方法的厚度检测方法、厚度检测反射仪。所述建模方法针对规定厚度的薄膜层建模基于光线波长变化的薄膜层的反射度分布，包括：反射度分布曲线制作步骤，制作用于表示基于光线波长而变化的薄膜层反射度分布的反射度分布曲线；输入强度设定步骤，针对特定波长带通白色光后，在以所述特定波长为中心的规定波长带中制作用于表示光线强度分布的强度分布曲线，并在所述波长带中积分强度分布曲线后将其结果设定为特定波长的输入强度；输出强度设定步骤，在所述波长带中积分由反射度分布曲线和强度分布曲线结合而成的复合强度分布曲线，并将其结果设定为特定波长的输出强度；积分反射度设定步骤，将把特定波长输出强度除以特定波长输入强度的商作为针对特定波长的薄膜层的积分反射度；及积分反射度分布曲线生成步骤，边改变特定波长，边重复执行输入强度设定步骤、输出强度设定步骤及积分反射度设定步骤，以生成用于表示基于波长变化的积分反射度分布的积分反射度分布曲线。
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