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公开(公告)号：CN103574083A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210356945.8
申请日：2012-09-21
Applicant: SNU精度株式会社
Abstract: 本发明涉及一种利用倾斜驱动的闸门阀，本发明的利用倾斜驱动的闸门阀，用于开闭设置于腔室的开口部，其特征在于，包括：闸门，沿着与上述开口部的表面平行的第一轴或与上述开口部的表面垂直的第二轴中的任一轴移动，以与上述腔室的外壁接触或解除接触来开闭上述开口部；驱动部，供给上述第一轴方向的移动力；楔部，安装在上述闸门，外表面形成有斜面；及方向转换部，与上述驱动部连接，为了将从上述驱动部提供的第一轴方向的移动力转换成第二轴方向的移动力并供给到上述闸门，上述方向转换部的外表面形成有斜面，使得能够从上述楔部滑移。根据本发明，提供一种可通过"L"字型驱动实现坚固密封的利用倾斜驱动的闸门阀。
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公开(公告)号：CN103890896B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201180073722.4
申请日：2011-09-28
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , H01J2237/24535
Abstract: 本发明涉及扫描电子显微镜及利用它的原电子及次级电子电流量的检测方法，扫描电子显微镜的特征在于包括：镜筒，在内部形成有收容空间；源头，设置在所述镜筒的内部，用于向所述镜筒的外部的试样产生带电的原电子；过滤器，在所述镜筒的内部设置在所述源头的下部，用于改变所述原电子及所述原电子与所述试样冲撞后发射的次级电子的移动路径；第一检测器，设置在所述过滤器和所述试样之间的所述镜筒的内部，用于检测通过在所述过滤器中产生的电磁场的作用下改变移动路径的所述原电子产生的电流量；第二检测器，设置在所述源头和所述过滤器之间的所述镜筒的内部，用于检测通过所述过滤器改变移动路径的所述次级电子；过滤器控制部，用于控制所述过滤器，以使所述过滤器选择性地改变所述原电子及所述次级电子的移动路径。由此提供保证检查作业的效率性且装置的整体大小小型化的扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法。
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公开(公告)号：CN103890896A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201180073722.4
申请日：2011-09-28
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , H01J2237/24535
Abstract: 本发明涉及扫描电子显微镜及利用它的原电子及次级电子电流量的检测方法，扫描电子显微镜的特征在于包括：镜筒，在内部形成有收容空间；源头，设置在所述镜筒的内部，用于向所述镜筒的外部的试样产生带电的原电子；过滤器，在所述镜筒的内部设置在所述源头的下部，用于改变所述原电子及所述原电子与所述试样冲撞后发射的次级电子的移动路径；第一检测器，设置在所述过滤器和所述试样之间的所述镜筒的内部，用于检测通过在所述过滤器中产生的电磁场的作用下改变移动路径的所述原电子产生的电流量；第二检测器，设置在所述源头和所述过滤器之间的所述镜筒的内部，用于检测通过所述过滤器改变移动路径的所述次级电子；过滤器控制部，用于控制所述过滤器，以使所述过滤器选择性地改变所述原电子及所述次级电子的移动路径。由此提供保证检查作业的效率性且装置的整体大小小型化的扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法。
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