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公开(公告)号：CN103890896B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201180073722.4
申请日：2011-09-28
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , H01J2237/24535
Abstract: 本发明涉及扫描电子显微镜及利用它的原电子及次级电子电流量的检测方法，扫描电子显微镜的特征在于包括：镜筒，在内部形成有收容空间；源头，设置在所述镜筒的内部，用于向所述镜筒的外部的试样产生带电的原电子；过滤器，在所述镜筒的内部设置在所述源头的下部，用于改变所述原电子及所述原电子与所述试样冲撞后发射的次级电子的移动路径；第一检测器，设置在所述过滤器和所述试样之间的所述镜筒的内部，用于检测通过在所述过滤器中产生的电磁场的作用下改变移动路径的所述原电子产生的电流量；第二检测器，设置在所述源头和所述过滤器之间的所述镜筒的内部，用于检测通过所述过滤器改变移动路径的所述次级电子；过滤器控制部，用于控制所述过滤器，以使所述过滤器选择性地改变所述原电子及所述次级电子的移动路径。由此提供保证检查作业的效率性且装置的整体大小小型化的扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法。
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公开(公告)号：CN103890896A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201180073722.4
申请日：2011-09-28
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/28 , H01J2237/24535
Abstract: 本发明涉及扫描电子显微镜及利用它的原电子及次级电子电流量的检测方法，扫描电子显微镜的特征在于包括：镜筒，在内部形成有收容空间；源头，设置在所述镜筒的内部，用于向所述镜筒的外部的试样产生带电的原电子；过滤器，在所述镜筒的内部设置在所述源头的下部，用于改变所述原电子及所述原电子与所述试样冲撞后发射的次级电子的移动路径；第一检测器，设置在所述过滤器和所述试样之间的所述镜筒的内部，用于检测通过在所述过滤器中产生的电磁场的作用下改变移动路径的所述原电子产生的电流量；第二检测器，设置在所述源头和所述过滤器之间的所述镜筒的内部，用于检测通过所述过滤器改变移动路径的所述次级电子；过滤器控制部，用于控制所述过滤器，以使所述过滤器选择性地改变所述原电子及所述次级电子的移动路径。由此提供保证检查作业的效率性且装置的整体大小小型化的扫描电子显微镜及利用它的原电子电流量的检测方法。
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公开(公告)号：CN103890895B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201180073721.X
申请日：2011-09-28
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/24495
Abstract: 本发明涉及一种具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，本发明的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜将从光源产生的原电子(Primary Electron)射入试样，并且检测在所述原电子射入后从试样发射的发射电子，其特征在于，包括：维恩速度过滤部，配置在所述光源和所述试样之间，产生磁场及电场，从而将所述发射电子分离为次级电子(Secondary Electron)和反射电子(Back Scattered Electron)；和探测部，分别探测从所述维恩速度过滤部分离的次级电子和反射电子。由此，提供一种通过使用维恩速度过滤器，能够分离并探测次级电子和反射电子的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜。
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公开(公告)号：CN103890895A
公开(公告)日：2014-06-25
申请号：CN201180073721.X
申请日：2011-09-28
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: H01J37/28 , H01J37/244
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/28 , H01J2237/24475 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485 , H01J2237/24495
Abstract: 本发明涉及一种具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，本发明的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜将从光源产生的原电子(Primary？Electron)射入试样，并且检测在所述原电子射入后从试样发射的发射电子，其特征在于，包括：维恩速度过滤部，配置在所述光源和所述试样之间，产生磁场及电场，从而将所述发射电子分离为次级电子(Secondary？Electron)和反射电子(Back？Scattered？Electron)；和探测部，分别探测从所述维恩速度过滤部分离的次级电子和反射电子。由此，提供一种通过使用维恩速度过滤器，能够分离并探测次级电子和反射电子的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜。
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