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公开(公告)号：CN105190227B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201480015329.3
申请日：2014-03-17
Applicant: SNU精度株式会社
Abstract: 本发明涉及一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，该装置利用干涉光对检测对象的形状进行检测，其特征在于，包括：光源，用于发射光线；光线分割器，用于对从所述光源发射的光线进行反射或对通过检测对象反射的光线进行透射；透镜部，用于使通过所述光线分割器反射的光线聚集到所述检测对象；光线检测部，用于检测从所述检测对象反射的光线；及光线调节部，配置在所述光源和所述光线分割器之间的光路上，用于阻断从所述光源的中心区域发射的光线，从而减弱在所述透镜部中产生的光线的干涉。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103579037A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310311671.5
申请日：2013-07-23
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: H01L22/12 , G01B11/06 , G02B27/108
Abstract: 本发明公开了一种利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。本发明的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法，包括：光源，用于放射光线；光分束器，用于反射从光源放射的光线或者通过被检测对象反射的光线；透镜部，用于将被光分束器反射的光线汇聚到检测对象；反射型光路变换部，用于有选择地反射从光分束器透射的光线；分光器，用于分析从反射型光路变换部反射的光线以获取所述检测对象的厚度信息。因此根据本发明，提供一种利用光线的反射能够使光损失最小化，并且能够同时检测多个检测区域厚度的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。
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公开(公告)号：CN105492861B
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201480046738.X
申请日：2014-09-23
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及厚度检测装置，本发明的厚度检测装置利用反射光度计(Reflectometer)，其特征在于包括：光源，用于发射光；滤光部，接收从所述光源发射的光后，相对于不同的多个频率选择性地透射所述光而调制为具有强度分布的光，并能调节所述具有强度分布的光的波长宽度；光学系统，将由所述滤光部调制后的光向检测对象侧照射，并且接收从所述检测对象侧反射的光；光检测部，接收通过所述光学系统的光，并获得反射度信息；及控制部，通过设定能够透射所述滤光部的多个频率来调节由所述滤光部调制的光的波长宽度，并且通过比较理论反射度信息和由所述光检测部获得的反射度信息来检测检测对象的厚度，所述理论反射度信息通过数学式建模后预先被储存。
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公开(公告)号：CN103579037B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201310311671.5
申请日：2013-07-23
Applicant: SNU精度株式会社
Abstract: 本发明公开了一种利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。本发明的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法，包括：光源，用于放射光线；光分束器，用于反射从光源放射的光线或者通过被检测对象反射的光线；透镜部，用于将被光分束器反射的光线汇聚到检测对象；反射型光路变换部，用于有选择地反射从光分束器透射的光线；分光器，用于分析从反射型光路变换部反射的光线以获取所述检测对象的厚度信息。因此根据本发明，提供一种利用光线的反射能够使光损失最小化，并且能够同时检测多个检测区域厚度的利用数字光学技术的厚度检测装置及其方法。
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公开(公告)号：CN105492861A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201480046738.X
申请日：2014-09-23
Applicant: SNU精度株式会社
IPC: G01B11/06
CPC classification number: G01B11/0625
Abstract: 本发明涉及厚度检测装置，本发明的厚度检测装置利用反射光度计(Reflectometer)，其特征在于包括：光源，用于发射光；滤光部，接收从所述光源发射的光后，相对于不同的多个频率选择性地透射所述光而调制为具有强度分布的光，并能调节所述具有强度分布的光的波长宽度；光学系统，将由所述滤光部调制后的光向检测对象侧照射，并且接收从所述检测对象侧反射的光；光检测部，接收通过所述光学系统的光，并获得反射度信息；及控制部，通过设定能够透射所述滤光部的多个频率来调节由所述滤光部调制的光的波长宽度，并且通过比较理论反射度信息和由所述光检测部获得的反射度信息来检测检测对象的厚度，所述理论反射度信息通过数学式建模后预先被储存。
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公开(公告)号：CN105190227A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480015329.3
申请日：2014-03-17
Applicant: SNU精度株式会社
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02029 , G01B9/02034 , G01B9/02057 , G01J3/0208 , G01J3/0229 , G01J3/50 , G01J3/506 , G01N21/8806 , G01N21/95 , G01N2021/8845 , G01N2021/9513
Abstract: 本发明涉及一种能够检测颜色信息的三维形状检测装置，该装置利用干涉光对检测对象的形状进行检测，其特征在于，包括：光源，用于发射光线；光线分割器，用于对从所述光源发射的光线进行反射或对通过检测对象反射的光线进行透射；透镜部，用于使通过所述光线分割器反射的光线聚集到所述检测对象；光线检测部，用于检测从所述检测对象反射的光线；及光线调节部，配置在所述光源和所述光线分割器之间的光路上，用于阻断从所述光源的中心区域发射的光线，从而减弱在所述透镜部中产生的光线的干涉。
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