公开(公告)号：EP2659504A4

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：EP11856289

申请日：2011-12-31

Applicant: SOLEXEL INC

Inventor： KRAMER KARL-JOSEF ,  MOSLEHI MEHRDAD M ,  YOKOI SEIICHI ,  KAMIAN GEORGE D ,  SHARMA SHASHANK ,  ASHJAEE JAY

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/48 ,  C30B25/12 ,  C30B25/14 ,  C30B29/06 ,  H01L21/20

CPC classification number: C23C16/45502 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/45517 ,  C23C16/4582 ,  C23C16/4583 ,  C23C16/4587 ,  C23C16/481 ,  C30B25/12 ,  C30B25/14 ,  C30B29/06