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公开(公告)号：FR3086462A1
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：FR1858603
申请日：2018-09-21
Applicant: ST MICROELECTRONICS CROLLES 2 SAS
Inventor： CANVEL YANN , LAGRASTA SEBASTIEN , BARNOLA SEBASTIEN , BOIXADERAS CHRISTELLE
IPC: G11C13/00 , H01L45/00 , H01L21/3065
Abstract: La présente description concerne un procédé de fabrication d'un composant électronique (100) comprenant une première étape de gravure d'au moins une première couche (104) suivie, sans remise en contact avec de l'oxygène, d'une deuxième étape de passivation (112).
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