公开(公告)号：FR3012671A1

公开(公告)日：2015-05-01

申请号：FR1360538

申请日：2013-10-29

Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET

Inventor： RIVERO CHRISTIAN ,  FORNARA PASCAL ,  DI-GIACOMOA ANTONIO ,  ARRAZAT BRICE

IPC: H01L27/02

Abstract: Le dispositif comprend un ensemble thermiquement déformable (ENS) logé dans une cavité (CVT) de la partie d'interconnexion (RITX) d'un circuit intégré. L'ensemble peut fléchir lors d'une variation de température de façon à ce que sa zone d'extrémité libre (Z2) se déplace verticalement (DV).

公开(公告)号：FR3012671B1

公开(公告)日：2015-11-13

申请号：FR1360538

申请日：2013-10-29

Applicant: ST MICROELECTRONICS ROUSSET

Inventor： RIVERO CHRISTIAN ,  FORNARA PASCAL ,  DI-GIACOMOA ANTONIO ,  ARRAZAT BRICE

IPC: H01L27/02