公开(公告)号：FR3057675A1

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：FR1659924

申请日：2016-10-13

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： AYI-YOVO FOLLY ELI ,  DURAND CEDRIC ,  GIANESELLO FREDERIC

IPC: G02B5/08 ,  G02B6/136

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un miroir optique dans une plaque de verre (80), comprenant les étapes successives suivantes : balayer une surface de la plaque (80) par un faisceau laser (84) dirigé de façon oblique par rapport à ladite surface, pour former une tranchée (86) selon le dessin du miroir à former, la durée des impulsions de ce laser étant comprise entre 1 et 500 femtosecondes ; traiter à l'acide fluorhydrique ; et remplir la tranchée (86) d'un métal.

公开(公告)号：FR3057677A1

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：FR1659923

申请日：2016-10-13

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： DURAND CEDRIC ,  GIANESELLO FREDERIC ,  AYI-YOVO FOLLY ELI

IPC: G02B6/13

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un guide d'onde dans une plaque de verre (30), comprenant les étapes successives suivantes : balayer la plaque (30) par un faisceau laser (32) dirigé orthogonalement à la plaque (30) pour former une tranchée (34) selon le dessin du guide d'onde à former, la durée des impulsions de ce laser étant comprise entre 1 et 500 femtosecondes ; traiter à l'acide fluorhydrique ; remplir la tranchée (34) d'un matériau ayant un indice différent de celui du verre ; et déposer une couche d'encapsulation.

公开(公告)号：FR3057677B1

公开(公告)日：2019-12-13

申请号：FR1659923

申请日：2016-10-13

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： DURAND CEDRIC ,  GIANESELLO FREDERIC ,  AYI-YOVO FOLLY ELI

IPC: G02B6/13

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un guide d'onde dans une plaque de verre (30), comprenant les étapes successives suivantes : balayer la plaque (30) par un faisceau laser (32) dirigé orthogonalement à la plaque (30) pour former une tranchée (34) selon le dessin du guide d'onde à former, la durée des impulsions de ce laser étant comprise entre 1 et 500 femtosecondes ; traiter à l'acide fluorhydrique ; remplir la tranchée (34) d'un matériau ayant un indice différent de celui du verre ; et déposer une couche d'encapsulation.

公开(公告)号：FR3066614B1

公开(公告)日：2019-07-19

申请号：FR1754320

申请日：2017-05-16

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： AYI-YOVO FOLLY ELI ,  DURAND CEDRIC ,  GIANESELLO FREDERIC

IPC: G02B6/10

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif optique (20) dans une plaque en verre (23) comprenant un guide d'onde (24) dont une extrémité (24A) est dirigée vers un miroir (26), ce procédé comprenant les étapes successives suivantes : former une première tranchée selon le dessin du guide d'onde (24) à former et une deuxième tranchée (28), la première tranchée ayant une extrémité débouchant sur la deuxième tranchée (28) ; traiter à l'acide fluorhydrique ; recouvrir d'une couche réflectrice (26) la paroi (28A) de la deuxième tranchée (28) opposée au débouché de la première tranchée ; remplir la première tranchée d'un matériau ayant un indice différent de celui du verre ; et déposer une couche d'encapsulation (29).

公开(公告)号：FR3057675B1

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：FR1659924

申请日：2016-10-13

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： AYI-YOVO FOLLY ELI ,  DURAND CEDRIC ,  GIANESELLO FREDERIC

IPC: G02B5/08 ,  G02B6/136

公开(公告)号：FR3066614A1

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：FR1754320

申请日：2017-05-16

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： AYI-YOVO FOLLY ELI ,  DURAND CEDRIC ,  GIANESELLO FREDERIC

IPC: G02B6/10

Abstract: L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif optique (20) dans une plaque en verre (23) comprenant un guide d'onde (24) dont une extrémité (24A) est dirigée vers un miroir (26), ce procédé comprenant les étapes successives suivantes : former une première tranchée selon le dessin du guide d'onde (24) à former et une deuxième tranchée (28), la première tranchée ayant une extrémité débouchant sur la deuxième tranchée (28) ; traiter à l'acide fluorhydrique ; recouvrir d'une couche réflectrice (26) la paroi (28A) de la deuxième tranchée (28) opposée au débouché de la première tranchée ; remplir la première tranchée d'un matériau ayant un indice différent de celui du verre ; et déposer une couche d'encapsulation (29).