公开(公告)号：FR2902236B1

公开(公告)日：2008-12-05

申请号：FR0652068

申请日：2006-06-08

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： HOTELLIER NICOLAS ,  FELLOUS CYRIL ,  COWACHE CHRISTOPHE ,  SANCHEZ YANNICK

IPC: H01L27/146

Abstract: A microelectronic device includes a color filter equipped with a plurality of filtering elements, including several filtering elements. The device includes at least one first zone located inside a cavity and includes a first group of filtering elements having a first critical dimension, and at least one second zone at the periphery of the cavity, including a second group of filtering elements having a second critical dimension that is different from the first critical dimension.

公开(公告)号：FR2902236A1

公开(公告)日：2007-12-14

申请号：FR0652068

申请日：2006-06-08

Applicant: ST MICROELECTRONICS SA

Inventor： HOTELLIER NICOLAS ,  FELLOUS CYRIL ,  COWACHE CHRISTOPHE ,  SANCHEZ YANNICK

IPC: H01L27/146

Abstract: L'invention concerne un dispositif microélectronique comprenant un dispositif de filtre de couleurs doté d'une pluralité d'éléments de filtrage dont plusieurs éléments de filtrage aptes respectivement à filtrer une première gamme de longueurs d'ondes du spectre lumineux visible, plusieurs éléments de filtrage aptes respectivement à filtrer une deuxième gamme de longueurs d'ondes du spectre lumineux visible, plusieurs éléments de filtrage aptes respectivement à filtrer une troisième gamme de longueurs d'ondes du spectre lumineux visible, le dispositif comprenant au moins une première zone située dans une cavité (150) et comportant un premier groupement d'éléments de filtrage ayant une première dimension critique (dc1), et au moins une deuxième zone en périphérie de ladite cavité (150), comportant un deuxième groupement d'éléments de filtrage ayant une deuxième dimension critique (dc2), différente de la première dimension critique. L'invention concerne également un procédé de réalisation en couches minces d'un tel dispositif.