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公开(公告)号:FR2957459A1
公开(公告)日:2011-09-16
申请号:FR1051687
申请日:2010-03-09
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA
Inventor: JEANNOT SIMON , MARTY MICHEL , GIRAUDIN JEAN-CHRISTOPHE
IPC: H01L23/535 , H01L21/762 , H01L21/768
Abstract: La fabrication d'un circuit intégré comprend une réalisation de niveaux de métallisation au sein de régions isolantes comprenant un premier matériau ayant une première constante diélectrique, et une réalisation d'au moins un condensateur métal - isolant - métal comportant une formation d'armatures métalliques dans au moins un niveau de métallisation ; la réalisation du condensateur comprend un remplacement local du premier matériau (4) situé entre les armatures métalliques par au moins un deuxième matériau (8) ayant une deuxième constante diélectrique supérieure à la première constante diélectrique.
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公开(公告)号:FR2957459B1
公开(公告)日:2013-09-27
申请号:FR1051687
申请日:2010-03-09
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA
Inventor: JEANNOT SIMON , MARTY MICHEL , GIRAUDIN JEAN-CHRISTOPHE
IPC: H01L23/535 , H01L21/762 , H01L21/768
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