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1.发明专利
公开(公告)号：FR2875053A1
公开(公告)日：2006-03-10
申请号：FR0409467
申请日：2004-09-07
Applicant: ST MICROELECTRONICS SA
Inventor： CAUBET PIERRE , GREGOIRE MAGALI
IPC: H01L21/3205 , H01L21/768
Abstract: La présente demande a pour objet un circuit intégré comprenant des lignes de cuivre, caractérisé en ce que la structure cristalline du cuivre a une orientation cristalline supérieure à 30% et une orientation cristalline inférieure à 20%.
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