公开(公告)号：DE69621017T2

公开(公告)日：2002-10-31

申请号：DE69621017

申请日：1996-10-04

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

Inventor： BALDI LIVIO ,  MARANGON MARIA SANTINA

IPC: H01J1/304 ,  H01J9/02 ,  H01J29/04 ,  H01J31/12 ,  H01L29/66 ,  H01J1/30

公开(公告)号：DE69621017D1

公开(公告)日：2002-06-06

申请号：DE69621017

申请日：1996-10-04

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

Inventor： BALDI LIVIO ,  MARANGON MARIA SANTINA

IPC: H01J1/304 ,  H01J9/02 ,  H01J29/04 ,  H01J31/12 ,  H01L29/66 ,  H01J1/30

公开(公告)号：DE602006003927D1

公开(公告)日：2009-01-15

申请号：DE602006003927

申请日：2006-03-31

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

Inventor： MARANGON MARIA SANTINA ,  BESANA PAOLA ,  CECCHINI RAIMONDO ,  TRESOLDI MAURO

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/06

公开(公告)号：ITMI20070446A1

公开(公告)日：2008-09-07

申请号：ITMI20070446

申请日：2007-03-06

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL

Inventor： ERBETTA DAVIDE ,  MARANGON MARIA SANTINA

公开(公告)号：DE60220245D1

公开(公告)日：2007-07-05

申请号：DE60220245

申请日：2002-01-17

Applicant: ST MICROELECTRONICS SRL ,  OVONYX INC

Inventor： ZONCA ROMINA ,  MARANGON MARIA SANTINA ,  DE SANTI GIORGIO

IPC: H01L45/00