Kontaktanschluss
    5.
    发明专利

    公开(公告)号:DE102012014428A1

    公开(公告)日:2013-02-07

    申请号:DE102012014428

    申请日:2012-07-20

    Abstract: Ein Kontaktanschluss für eine elektronische Vorrichtung, die in einen Chip aus Halbleitermaterial integriert ist, ist aus einer Abfolge von vorstehenden Elementen gebildet. Jedes vorstehende Element erstreckt sich transversal zu einer Hauptfläche des Chips und weist einen abgerundeten Endbereich auf. Einander benachbarte Paare von vorstehenden Elementen definieren eine Öffnung, die mit einem ersten leitfähigen Material partiell gefüllt ist, um eine Kontaktstruktur zu bilden, die mit einer in dem Chip ausgebildeten integrierten elektronischen Vorrichtung in elektrischem Kontakt steht. Eine Schicht aus einem zweiten leitfähigen Material ist derart aufgebracht, dass sie die vorstehenden Elemente und die Kontaktstrukturen überdeckt und somit der Kontaktanschluss gebildet ist.

    VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES KONTAKTANSCHLUSSES UND INTEGRIERTER SCHALTUNGS-CHIP

    公开(公告)号:DE102012014428B4

    公开(公告)日:2022-05-05

    申请号:DE102012014428

    申请日:2012-07-20

    Abstract: Verfahren zum Herstellen eines Kontaktanschlusses (160) von mindestens einer elektronischen Vorrichtung, die in einen Chip aus Halbleitermaterial integriert ist, wobei das Verfahren folgende Schritte aufweist:Erzeugen einer Abfolge von vorstehenden Elementen (124) auf einer Hauptfläche des Chips, wobei sich jedes vorstehende Element (124) in Richtung von dem Chip weg transversal zu der Hauptfläche erstreckt und einen abgerundeten Endbereich mit im Querschnitt halbkreisförmiger Formgebung aufweist, wobei jedes Paar einander benachbarter vorstehender Elemente (124) in der Abfolge eine jeweilige Öffnung bildet;partielles Füllen der Öffnungen mit einem ersten leitfähigen Material zum Bilden von Kontaktstrukturen (140), die zum elektrischen Kontaktieren der mindestens einen integrierten elektronischen Vorrichtung ausgebildet sind; undAufbringen einer Schicht aus einem zweiten leitfähigen Material in einer derartigen Weise, dass die vorstehenden Elemente (124) und die Kontaktstrukturen (140) überdeckt sind,wobei die im Querschnitt halbkreisförmige Gestalt des abgerundeten Endbereichs einen Krümmungsradius aufweist, der von einer Breite des vorstehenden Elements (124) abhängig ist,wobei der Krümmungsradius gleich einer Hälfte der Breite ist.

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