公开(公告)号：WO2016100373A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：PCT/US2015/065869

申请日：2015-12-15

Applicant: STRATIO, INC.

Inventor： JUNG, Woo-shik ,  NA, Yeul ,  KIM, Youngsik ,  LEE, Jae, Hyung ,  LEE, Jin, Hyung

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02236 ,  H01L21/02255 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02664 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/302 ,  H01L21/30604 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/3247

Abstract: Methods for reducing surface roughness of germanium are described herein. In some embodiments, the surface roughness is reduced by thermal oxidation of germanium. In some embodiments, the surface roughness is further reduced by controlling a rate of the thermal oxidation. In some embodiments, the surface roughness is reduced by thermal annealing.

Abstract translation: 本文描述了降低锗表面粗糙度的方法。 在一些实施例中，通过锗的热氧化来减少表面粗糙度。 在一些实施方案中，通过控制热氧化的速率进一步降低表面粗糙度。 在一些实施例中，通过热退火来降低表面粗糙度。