公开(公告)号：RU2441297C2

公开(公告)日：2012-01-27

申请号：RU2009146826

申请日：2008-05-30

Applicant: ULVAC INC

Inventor： IIDZIMA EHJITI ,  KHAKOMORI MUNETO ,  NAKATUKA MASATO ,  KURAUTI TOSIKHARU

IPC: H01J9/39 ,  H01J9/48 ,  H01J17/49

Abstract: Изобретениеотноситсяк способуи устройствудляпроизводстваплазменнойотображающейпанели. Техническийрезультат - обеспечениеспособаи устройствадляпроизводстваплазменнойотображающейпанели, которыеделаютвозможнымдостигатьулучшенияв пропускнойспособностилиниипроизводстваплазменныхотображающихпанелейи ихэнергетическойэффективности. Достигаетсятем, чтов способепроизводстваплазменнойотображающейпанели, гдегерметизированноепространствоопределеномеждупервойи второйподложками (1, 2) инаполненогазомэлектрическогоразряда, содержитсяпервыйэтапдегазированиядлявыделенияпримесногогазаиззащитнойпленки, сформированнойнапервойподложке (1), чтобызащищатьпервуюподложку (1) отплазменногоэлектрическогоразряда, посредствомнагреванияпервойподложки (1) выше 280°Св вакуумномпространствеилив управляемойатмосфере, иэтапуплотнениядляприведенияпервойподложки (1), гдепримесныйгазвыделяетсяиззащитнойпленки, вконтактсовторойподложкой (2) идлягерметизациипространствамеждуними. Таккакпримесныйгазвыделяетсяиззащитнойпленкипередтем, какперваяподложкаприводитсяв контактсовторойподложкой, ипокапроводимостьудаленияявляетсявысокой, очисткаможетвыполнятьсяв короткоевремя. Дополнительно, таккакзащитнаяпленканагреваетсявыше 280°С, около 70% илиболеепримесногогаза, адсорбированногоназащитнойпленке, можетвыделяться. 2 н. и 14 з.п. ф-лы, 16 ил.

公开(公告)号：EP2157595A4

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：EP08777036

申请日：2008-05-30

Applicant: ULVAC INC

Inventor： IIJIMA EIICHI ,  HAKOMORI MUNETO ,  NAKATUKA MASATO ,  KURAUCHI TOSHIHARU

IPC: H01J9/39 ,  H01J9/26 ,  H01J9/46 ,  H01J17/49

CPC classification number: H01J9/39 ,  H01J9/261 ,  H01J9/385 ,  H01J9/46 ,  H01J11/12