公开(公告)号：FR2770027B1

公开(公告)日：2001-11-09

申请号：FR9800605

申请日：1998-01-21

Applicant: UNITED MICROELECTRONICS CORP

Inventor： YEW TRI RUNG ,  LUR WATER ,  SUN SHIH WEI ,  SHIH HSUEH HAO

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/24 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/285 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/108

公开(公告)号：FR2770027A1

公开(公告)日：1999-04-23

申请号：FR9800605

申请日：1998-01-21

Applicant: UNITED MICROELECTRONICS CORP

Inventor： YEW TRI RUNG ,  LUR WATER ,  SUN SHIH WEI ,  SHIH HSUEH HAO

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/24 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/285 ,  H01L21/8242 ,  H01L27/108