Pattern forming method
    8.
    发明专利
    Pattern forming method 失效
    图案形成方法

    公开(公告)号:JPS6194041A

    公开(公告)日:1986-05-12

    申请号:JP21664184

    申请日:1984-10-16

    Inventor: OGAWA KAZUFUMI

    Abstract: PURPOSE:To obtain a resin pattern having a high definition and a high etching by forming a sensitive thin film on a substrate and by radiating an energy ray in a state of the pattern, thereby exciting or unexciting a sensitive radical and then reacting the residual sensitive radical with a chemical substance having an active group. CONSTITUTION:The sensitive thin film is formed by reacting a silane surface active agent such as CH2=CH-(CH2)n-Si.Cl3 with SiO2 substrate to form a siloxane binding. When an electron beam is radiated in the state of the pattern, a vinyl group positioned in a radiation part polymerizes to form the resin. While a vinyl group positioned in an unradiation part is treated with sodium hydroxide etc. to bind a hydroxyl group with the vinyl group followed by binding the hydroxyl group with the silane surface active agent. By repeating the above described reaction, the thin film having a desired thickness is formed. Since the thin film having a sensitivity against the energy ray is formed from a monomolecular cumulating film, the very fine pattern is formed.

    Abstract translation: 目的:通过在基板上形成敏感性薄膜,通过在图案状态下照射能量射线来获得具有高清晰度和高蚀刻性的树脂图案,从而激发或不敏感敏感基团,然后使残留敏感的 具有活性基团的化学物质。 构成:敏感薄膜是通过硅烷表面活性剂如CH 2 = CH-(CH 2)n -SiCl 3与SiO 2底物反应而形成的,以形成硅氧烷结合。 当以图案状态照射电子束时,位于辐射部分中的乙烯基聚合以形成树脂。 当位于未辐射部分的乙烯基团用氢氧化钠等处理以将羟基与乙烯基结合,然后将羟基与硅烷表面活性剂结合时。 通过重复上述反应,形成具有期望厚度的薄膜。 由于具有对能量射线的敏感性的薄膜由单分子累积膜形成,所以形成极细的图案。

    에어로겔 기판 및 그 제조방법
    10.
    发明授权
    에어로겔 기판 및 그 제조방법 失效
    空值

    公开(公告)号:KR100437526B1

    公开(公告)日:2004-06-30

    申请号:KR1020017006988

    申请日:2000-11-09

    Abstract: 도전성 기판, 단열성 기판, 광안내경로 기판, 발광소자용 기판, 또는 발광소자 등으로서 유용한 에어로겔 기판을 제공한다.
    이러한 에어로겔 기판은 기능성층 및 에어로겔층을 포함하고, 기능성층과 에어로겔층 사이에, 기능성층이 균일하게 형성되는 것을 가능하게 하는 중간층이 그 사이에 위치하는 것을 특징으로 한다. 중간층은 에어로겔층의 적어도 하나의 표면에 기상법, 랑그뮤어-블로제트 법, 또는 무기층상 화합물의 흡착 등에 의해 형성되거나, 에어로겔층의 적어도 하나의 표면을 친수화 처리한 후, 수성 코팅액을 도포하여 건조하여 형성되거나, 에어로겔층의 적어도 하나의 표면을 가열하여 어닐링 처리하여 형성되거나, 에어로겔층의 적어도 하나의 표면을 친수화 처리함으로써 형성된다.

    Abstract translation: 提供了可用于导电基板,绝热基板,光波导基板,发光器件用基板或发光元件的气凝胶基板。 气凝胶基体的特征在于包括功能层和气凝胶层,以及形成在功能层和气凝胶层之间的中间层,以使功能层均匀地形成在其上。 中间层通过气相法,Langmuir-Blodgett法或通过无机层状化合物的吸附形成在气凝胶层的至少一个表面上; 或通过对气凝胶层的至少一个表面进行亲水化处理,然后通过涂覆和干燥水性涂布液,通过对气凝胶层的至少一个表面的退火处理,或通过亲水化处理至少一个表面 气凝胶层。

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