公开(公告)号：CN1288581A

公开(公告)日：2001-03-21

申请号：CN99802234.9

申请日：1999-01-07

Applicant: 摩托罗拉公司

Inventor： 罗伯特·T·史密斯 ,  约翰尼·特鲁吉洛 ,  谢承刚

IPC: H01J29/02

CPC classification number: G09G3/22 ,  G09G2310/0267 ,  H01J29/00 ,  H01J29/028 ,  H01J29/864 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/8625

Abstract: 一种用于降低场发射显示器(100)中的电荷积累的方法,包括步骤:使大量电子发射器(114)发射电子(132)来降低场发射显示器(100)的阳极(124)的电势的步骤。阳极(124)的电势一降低,电子(132)中和隔离物(130)的正静电充电表面(129)。通过提供与连接于阳极(12)的电压源(126)串联的电阻器(127)来降低阳极电势。通过使电子发射器(114)同时发射以在阳极(124)提供下拉电流(128)来降低阳极电势。阳极(124)电压被降低到一个值,该值引起足够数量的电于流(132)被吸引到充电表面(129)以用于中和它们。

公开(公告)号：CN1282448A

公开(公告)日：2001-01-31

申请号：CN98812198.0

申请日：1998-09-04

Applicant: 摩托罗拉公司

Inventor： 斯科特·K·阿根欧 ,  彼得·A·史密斯

IPC: H01J1/62

CPC classification number: H01J9/242 ,  H01J9/185 ,  H01J29/028 ,  H01J29/864 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/863 ,  H01J2329/864

Abstract: 一种场发射显示器(100)包括具有多个发射极(124)的阴极(102),与阴极(102)相对的阳极(104),在阳极(104)和阴极(102)间延伸的复合隔板(108)。复合隔板(108)包括由介质或体阻材料构成的第一层(107),附着到第一层(107)上,且由金属、金属合金或陶瓷－金属复合材料构成的导电层(109)。复合隔板(108)的高度大于500微米。

公开(公告)号：CN1123032C

公开(公告)日：2003-10-01

申请号：CN97121265.1

申请日：1997-10-30

Applicant: 摩托罗拉公司

Inventor： 库梯斯·D·莫亚 ,  约翰·宋 ,  詹姆斯·E·佳斯金 ,  劳伦斯·N·德沃斯基 ,  斯考特·K·阿基诺 ,  罗伯特·P·尼

IPC: H01J1/30

CPC classification number: H01J3/022 ,  H01J2201/025

Abstract: 场致发射器件包括一个支承在底；一个形成于其上的阴极；多个电子发射体；多个栅控提取电极，它们被放置得贴近多个电子发射体，用于使电子发射体产生电子发射体；一个主要介质表面放置在多个栅控提取电极之间；一个电荷耗散层，形成于主要介质表面上；和一个同栅控提取电极隔开一定距离的阳极。

公开(公告)号：CN1181613A

公开(公告)日：1998-05-13

申请号：CN97121265.1

申请日：1997-10-30

Applicant: 摩托罗拉公司

Inventor： 库梯斯·D·莫亚 ,  约翰·宋 ,  詹姆斯·E·佳斯金 ,  劳伦斯·N·德沃斯基 ,  斯考特·K·阿基诺 ,  罗伯特·P·尼

IPC: H01J31/12 ,  H01J21/00 ,  H01J29/48 ,  H01J19/00

CPC classification number: H01J3/022 ,  H01J2201/025

Abstract: 场致发射器件包括一个支承在底;一个形成于其上的阴极;多个电子发射体;多个栅控提取电极,它们被放置得贴近多个电子发射体,用于使电子发射体产生电子发射体;一个主要介质表面放置在多个栅控提取电极之间;一个电荷耗散层,形成于主要介质表面上;和一个同栅控提取电极隔开一定距离的阳极。

公开(公告)号：CN1072838C

公开(公告)日：2001-10-10

申请号：CN96102106.3

申请日：1996-02-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伏见正弘 ,  光武英明 ,  左纳义久

IPC: H01J31/12 ,  H01J29/02 ,  H01J63/06

CPC classification number: H01J29/028 ,  H01J29/864 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/025 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/864 ,  H01J2329/8645 ,  H01J2329/8655

Abstract: 一种使用电子源的图象形成装置，所述电子源具有：呈矩阵连接的电子发射器件，电子发射器件和用导电材料制成的引线电极相连，以及荧光件，作为图象形成件，在其内表面侧上具有加速电极，和电子发射器件相对放置。引线电极中有通过导电连接件提供半导体支撑件(隔片)的引线电极以及没有支撑件的引线电极。有半导体支撑件的引线电极的导电连接件的上表面的高度和不具有半导体支撑件的，高度相同，从而防止了电场干扰在半导体支撑件周围引起的电子束轨道偏移。

公开(公告)号：CN1136174A

公开(公告)日：1996-11-20

申请号：CN96102106.3

申请日：1996-02-02

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伏见正弘 ,  光武英明 ,  左纳义久

IPC: G03G15/00

CPC classification number: H01J29/028 ,  H01J29/864 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/025 ,  H01J2201/3165 ,  H01J2329/864 ,  H01J2329/8645 ,  H01J2329/8655

Abstract: 一种使用电子源的图象形成装置，所述电子源具有：呈矩阵连接的电子发射器件，电子发射器件和用导电材料制成的引线电极相连，以及荧光件，作为图象形成件，在其内表面侧上具有加速电极，和电子发射器件相对放置。引线电极中有通过导电连接件提供半导体支撑件(隔片)的引线电极以及没有支撑件的引线电极。有半导体支撑件的引线电极的导电连接件的上表面的高度和不具有半导体支撑件的，高度相同，从而防止了电场干扰在半导体支撑件周围引起的电子束轨道偏移。

公开(公告)号：CN1284204C

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：CN99802233.0

申请日：1999-01-07

Applicant: 摩托罗拉公司

Inventor： 斯科特·K·阿格诺 ,  比德·A·斯密斯 ,  黄荣峰 ,  乔伊斯·K·山本 ,  克莱格·阿姆里尼 ,  克里福德·L·安德森

IPC: H01J31/12

CPC classification number: H01J31/123 ,  H01J29/028 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/864

Abstract: 一种场发射显示器(100)包括具有多个电子发射极(124)的阴极板(102)，与阴极板(102)相对的阳极板(104)，在阳极板(104)和阴极板(102)间延伸的体阻隔板(108)。所说体阻隔板(108)由导电材料构成。所说导电材料的电阻率选择为可以去除撞击电荷，同时能防止由于通过体阻隔板(108)从阳极板(104)到阴极板(102)的电流产生过量功耗。

公开(公告)号：CN1146944C

公开(公告)日：2004-04-21

申请号：CN99802234.9

申请日：1999-01-07

Applicant: 摩托罗拉公司

Inventor： 罗伯特·T·史密斯 ,  约翰尼·特鲁吉洛 ,  谢承刚

IPC: H01J29/02

CPC classification number: G09G3/22 ,  G09G2310/0267 ,  H01J29/00 ,  H01J29/028 ,  H01J29/864 ,  H01J31/127 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/8625

Abstract: 一种用于降低场发射显示器(100)中的电荷积累的方法，包括步骤：使大量电子发射器(114)发射电子(132)来降低场发射显示器(100)的阳极(124)的电势的步骤。阳极(124)的电势一降低，电子(132)中和隔离物(130)的正静电充电表面(129)。通过提供与连接于阳极(124)的电压源(126)串联的电阻器(127)来降低阳极电势。通过使电子发射器(114)同时发射以在阳极(124)提供下拉电流9128)来降低阳极电势。阳极(124)电压被降低到一个值，该值引起足够数量的电子流(132)被吸引到充电表面(129)以用于中和它们。

公开(公告)号：CN1288583A

公开(公告)日：2001-03-21

申请号：CN99802233.0

申请日：1999-01-07

Applicant: 摩托罗拉公司

Inventor： 斯科特·K·阿格诺 ,  比德·A·斯密斯 ,  黄荣峰 ,  乔伊斯·K·山本 ,  克莱格·阿姆里尼 ,  克里福德·L·安德森

IPC: H01J31/12

CPC classification number: H01J31/123 ,  H01J29/028 ,  H01J2201/025 ,  H01J2329/864

Abstract: 一种场发射显示器(100)包括具有多个电子发射极(124)的阴极板(102),与阴极板(102)相对的阳极板(104),在阳极板(104)和阴极板(102)间延伸的体阻隔板(108)。所说体阻隔板(108)由导电材料构成。所说导电材料的电阻率选择为可以去除撞击电荷,同时能防止由于通过体阻隔板(108)从阳极板(104)到阴极板(102)的电流产生过量功耗。

公开(公告)号：US09257259B2

公开(公告)日：2016-02-09

申请号：US13807577

申请日：2011-06-08

Applicant: Kinya Kobayashi ,  Toshiyuki Yokosuka ,  Chahn Lee

Inventor： Kinya Kobayashi ,  Toshiyuki Yokosuka ,  Chahn Lee

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J2201/025 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/281

Abstract: Provided is an electron beam scanning method for forming an electric field for appropriately guiding electrons emitted from a pattern to the outside of the pattern, and also provided is a scanning electron microscope. When an electron beam for forming charge is irradiated to a sample, a first electron beam is irradiated to a first position (1) and a second position (2) having the center (104) of a pattern formed on the sample as a symmetrical point, and is then additionally irradiated to two central positions (3, 4) between the first and second irradiation position, the two central positions (3, 4) being on the same radius centered on the symmetrical point as are the first and second positions. Further, after that, the irradiation of the first electron beam to the central positions between existing scanning positions on the radius is repeated.

Abstract translation: 提供了一种电子束扫描方法，用于形成用于将从图案发射的电子适当地引导到图案的外部的电场，并且还提供了扫描电子显微镜。 当用于形成电荷的电子束照射到样品时，第一电子束被照射到第一位置（1）和第二位置（2），其具有在样品上形成的图案的中心（104）作为对称点 然后另外照射到第一和第二照射位置之间的两个中心位置（3,4），两个中心位置（3,4）处于与第一和第二位置对称的点对中的相同的半径上。 此外，在此之后，重复将第一电子束照射到半径上的现有扫描位置之间的中心位置。