混合检查系统
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109416330B

    公开(公告)日:2022-09-27

    申请号:CN201780042408.7

    申请日:2017-07-14

    Abstract: 该混合检查系统是包括第一检查设备(1)和第二检查设备(2)的检查系统,其中第一检查设备(1)基于通过用X射线照射样本(11)获得的X射线测量数据来检查样本(11),并且第二检查设备(2)通过使用不采用X射线的测量技术来检查样本(11)。由第一检查设备(1)获得的X射线测量数据或X射线测量数据的分析结果被输出到第二检查设备(2)。此外,第二检查设备(2)利用从第一检查设备(1)输入的X射线测量数据或X射线测量数据的分析结果来分析样本(11)的结构。

    混合检查系统
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN109416330A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201780042408.7

    申请日:2017-07-14

    Abstract: 该混合检查系统是包括第一检查设备(1)和第二检查设备(2)的检查系统,其中第一检查设备(1)基于通过用X射线照射样本(11)获得的X射线测量数据来检查样本(11),并且第二检查设备(2)通过使用不采用X射线的测量技术来检查样本(11)。由第一检查设备(1)获得的X射线测量数据或X射线测量数据的分析结果被输出到第二检查设备(2)。此外,第二检查设备(2)利用从第一检查设备(1)输入的X射线测量数据或X射线测量数据的分析结果来分析样本(11)的结构。

    解析装置、系统、方法以及记录介质

    公开(公告)号:CN118708869A

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202410357935.9

    申请日:2024-03-27

    Abstract: 提供针对测定数据算出表示模型的优化程度的指标的解析装置、系统、方法以及记录介质。一种解析装置(400),针对测定数据所遵循的概率分布函数为已知的所述测定数据,算出表示包含电子密度分布的信息的模型的优化程度的指标,所述解析装置(400)具备:测定数据取得部(410),其取得所述测定数据;计算数据取得部(420),其取得从所述模型计算出的计算数据;以及指标算出部(430),其针对由包含所述测定数据和所述计算数据的规定的数学式定义的残差、以及基于所述概率分布函数和所述规定的数学式定义的所述残差的期待值,算出包含所述残差与所述残差的期待值之比的指标GOF。

    解析装置、解析方法以及记录介质

    公开(公告)号:CN118688233A

    公开(公告)日:2024-09-24

    申请号:CN202410337617.6

    申请日:2024-03-23

    Inventor: 伊藤义泰

    Abstract: 一种解析装置(120),具备:测定数据存储部(123),其存储在1次ω扫描中通过X射线的透射测定的散射强度的数据;坐标转换部(125),其针对基于特定的衍射点的2个方向分量的强度的波形,将散射矢量的坐标向散射体的倾斜度的坐标进行坐标转换;峰位置确定部(126),其确定相对于坐标转换后的倾斜度的坐标的强度的波形的峰位置;以及倾斜度算出部(127),其算出所确定的峰位置与假设散射体不从与板状试样的表面垂直的方向倾斜而求出的峰位置的差值。

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