激光器装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112805886B

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN201880098412.X

    申请日:2018-10-10

    Abstract: 激光器装置(10)具有:第1反射镜(3)及第2反射镜(4),它们使波长彼此不同的多个光束共振;衍射光栅(2),其关于在光束中心轴的朝向彼此不同的状态下从第1反射镜(3)射入的多个光束,使彼此光束中心轴一致而向第2反射镜(4)行进,且关于在光束中心轴彼此一致的状态下从第2反射镜(4)射入的多个光束,使光束中心轴的朝向彼此不同而向第1反射镜(3)行进;以及收容部1反射镜(3)和衍射光栅(2)之间行进的多个光束所经过的介质,具有在多个光束的各波长中出现峰值的离散性的增益谱。(1),其对激光介质进行收容,该激光介质是在第

    激光器装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112805886A

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN201880098412.X

    申请日:2018-10-10

    Abstract: 激光器装置(10)具有:第1反射镜(3)及第2反射镜(4),它们使波长彼此不同的多个光束共振;衍射光栅(2),其关于在光束中心轴的朝向彼此不同的状态下从第1反射镜(3)射入的多个光束,使彼此光束中心轴一致而向第2反射镜(4)行进,且关于在光束中心轴彼此一致的状态下从第2反射镜(4)射入的多个光束,使光束中心轴的朝向彼此不同而向第1反射镜(3)行进;以及收容部(1),其对激光介质进行收容,该激光介质是在第1反射镜(3)和衍射光栅(2)之间行进的多个光束所经过的介质,具有在多个光束的各波长中出现峰值的离散性的增益谱。

    加工控制装置以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN101990478A

    公开(公告)日:2011-03-23

    申请号:CN200980112362.7

    申请日:2009-04-03

    CPC classification number: B23K26/046 G02B7/008 G02B7/028

    Abstract: 一种加工控制装置,其在激光加工机构(300)使激光聚光于规定的焦点位置而对被加工物进行激光加工时,对激光的焦点位置进行控制,其具有:计算部(22),其基于在激光加工中进行变化的激光的输出的大小,对激光的照射位置处在激光加工中进行变化的在光轴方向上的焦点位置的位置偏移变化量进行计算;以及控制部(23),其基于计算部(22)计算出的位置偏移变化量,对激光加工中的激光的焦点位置进行控制,以消除焦点位置的位置偏移。

    激光放大装置及极紫外光发生装置

    公开(公告)号:CN115244801B

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202080098218.9

    申请日:2020-03-16

    Abstract: 具有:激光振荡器(20),其具有第1激光活性介质,该第1激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,该激光振荡器(20)使半值全宽为15ns至200ns之间的脉冲激光振荡;以及激光放大器(30),其具有第2激光活性介质,该第2激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,从激光振荡器(20)振荡的脉冲激光经过第2激光活性介质,由此缩短成半值全宽为5ns至30ns之间的脉冲激光而输出。

    激光装置及激光加工装置

    公开(公告)号:CN116194239B

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202180062857.4

    申请日:2021-06-30

    Abstract: 激光装置(100)具有:激光振荡器(101);声光调制部(102),其具有如果被施加第1超声波则使来自激光振荡器(101)的激光衍射的第1声光调制器(3)、及如果被施加第2超声波则使从第1声光调制器(3)输出的高次光衍射的第2声光调制器(4),相对于由第1声光调制器(3)射出的高次光的衍射方向(D1)的第1超声波的传输方向(S1)与相对于由第2声光调制器(4)射出的高次光的衍射方向(D2)的第2超声波的传输方向(S2)不同;以及放大器(103),其使来自声光调制部的激光放大。

    气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置

    公开(公告)号:CN114667651A

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN201980102111.4

    申请日:2019-11-11

    Abstract: 气体激光放大器(10A)具有框体(11)、放电电极对(20A、20B)和光谐振器(40)。框体(11)具有:入射窗口(12),其从外部被射入第1激光;以及出射窗口(13),其将放大的第1激光射出。放电电极对(20A、20B)使供给至在框体(11)的内部相对而配置的放电电极(21A、22A、21B、22B)之间的激光气体发生激励。光谐振器(40)在第1激光没有从框体(11)的外部从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的非入射状态时,通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡,在第1激光从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的入射状态时,使第2激光的振荡停止。

    激光加工方法以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN110121397A

    公开(公告)日:2019-08-13

    申请号:CN201780079600.3

    申请日:2017-09-26

    Abstract: 激光加工方法是激光加工装置(1)的激光加工方法,该激光加工装置(1)具有:作为第1激光振荡器的激光振荡器(2),其脉冲振荡产生作为第1激光束的激光束(L1);以及作为第2激光振荡器的激光振荡器(3),其脉冲振荡产生波长或脉冲宽度与第1激光束不同的作为第2激光束的激光束(L2)。在激光加工方法中,将第1激光束和第2激光束交替地向工件(15)照射。

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