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公开(公告)号：CN101468424A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200810189473.5
申请日：2008-12-29
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00 , B23K26/38 , B23K101/42
Abstract: 本发明的目的在于得到一种可以加工精度良好且迅速地对被加工物进行加工的激光加工装置及激光加工控制装置。该激光加工装置利用电扫描器将激光引导至被加工物上的照射位置，向作为加工孔的激光的照射位置上射出脉冲型激光而进行连发加工，该激光加工装置具有控制部(11)，其对激光振荡器(1)的激光照射定时进行控制，与激光的照射位置到达目标照射位置后的电扫描器(6A、6B)的残留振动频率同步地射出脉冲型激光。
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公开(公告)号：CN114667651B
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN201980102111.4
申请日：2019-11-11
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/134
Abstract: 气体激光放大器(10A)具有框体(11)、放电电极对(20A、20B)和光谐振器(40)。框体(11)具有：入射窗口(12)，其从外部被射入第1激光；以及出射窗口(13)，其将放大的第1激光射出。放电电极对(20A、20B)使供给至在框体(11)的内部相对而配置的放电电极(21A、22A、21B、22B)之间的激光气体发生激励。光谐振器(40)在第1激光没有从框体(11)的外部从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的非入射状态时，通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡，在第1激光从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的入射状态时，使第2激光的振荡停止。
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公开(公告)号：CN103128439A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210452192.0
申请日：2012-11-13
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种透镜单元以及激光加工装置。在激光加工装置（100）中，在fθ透镜（5）中使用了能够用温度检测器（14）测定高能量的激光波束（2）的瞬间的吸收所致的光学透镜（11a、11b）的温度变化的透镜单元（20）。在光学透镜（11a、11b）的激光波束非照射部分（16）中设置了多个温度检测器（14），控制装置（9）根据由温度检测器（14）测定的温度信号，校正激光波束（2）的聚光点位置来进行控制。
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公开(公告)号：CN107534262B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201680023276.9
申请日：2016-04-20
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 对于在基座框架上经由运动学安装件搭载有放大装置的激光器装置、和使用该激光器装置的极端远紫外(EUV)装置，使得即使在运动学安装件的构造中产生热膨胀及收缩，光轴也不变化，不会发生激光器的品质恶化的情况。运动学安装件(31～33)由具有0自由度、1自由度及2自由度的3点(O，A，B)构成，从与由上述3点构成的平面垂直的方向观察，激光(18)的向放大装置(28)射入的入射光轴或者从放大装置射出的出射光轴的延长线(SU、CT)朝向0自由度的点(O)，1自由度的点(A)的行进方向朝向0自由度的点(O)，相比于1自由度的点(A)的一侧，光轴的延长线从所述2自由度的点(B)的一侧通过。
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公开(公告)号：CN103128439B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201210452192.0
申请日：2012-11-13
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种透镜单元以及激光加工装置。在激光加工装置（100）中，在fθ透镜（5）中使用了能够用温度检测器（14）测定高能量的激光波束（2）的瞬间的吸收所致的光学透镜（11a、11b）的温度变化的透镜单元（20）。在光学透镜（11a、11b）的激光波束非照射部分（16）中设置了多个温度检测器（14），控制装置（9）根据由温度检测器（14）测定的温度信号，校正激光波束（2）的聚光点位置来进行控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107534262A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680023276.9
申请日：2016-04-20
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 对于在基座框架上经由运动学安装件搭载有放大装置的激光器装置、和使用该激光器装置的极端远紫外(EUV)装置，使得即使在运动学安装件的构造中产生热膨胀及收缩，光轴也不变化，不会发生激光器的品质恶化的情况。运动学安装件(31～33)由具有0自由度、1自由度及2自由度的3点(O，A，B)构成，从与由上述3点构成的平面垂直的方向观察，激光(18)的向放大装置(28)射入的入射光轴或者从放大装置射出的出射光轴的延长线(SU、CT)朝向0自由度的点(O)，1自由度的点(A)的行进方向朝向0自由度的点(O)，相比于1自由度的点(A)的一侧，光轴的延长线从所述2自由度的点(B)的一侧通过。
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公开(公告)号：CN101468424B
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN200810189473.5
申请日：2008-12-29
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/00 , B23K26/38 , B23K101/42
Abstract: 本发明的目的在于得到一种可以加工精度良好且迅速地对被加工物进行加工的激光加工装置及激光加工控制装置。该激光加工装置利用电扫描器将激光引导至被加工物上的照射位置，向作为加工孔的激光的照射位置上射出脉冲型激光而进行连发加工，该激光加工装置具有控制部(11)，其对激光振荡器(1)的激光照射定时进行控制，与激光的照射位置到达目标照射位置后的电扫描器(6A、6B)的残留振动频率同步地射出脉冲型激光。
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公开(公告)号：CN101439442B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200810177545.4
申请日：2008-11-21
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/067 , B23K26/06 , B23K26/38 , G02B27/00
Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其将1束激光分光为多束，将它们同时照射在被加工物上而进行加工，该激光加工装置可以使分光后的各激光在被加工物上的照射区域大小相等。该激光加工装置具有：焦点差校正镜(25a)，其配置在分光后的多束激光中的激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)在被加工物(12)上的光束直径变化；以及焦点差校正镜控制功能(52)，其以使焦点差校正镜(25a)的子午方向的成像位置和弧矢方向的成像位置不变的方式，改变焦点差校正镜(25a)的反射面的子午方向和弧矢方向的曲率。
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公开(公告)号：CN101439442A
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200810177545.4
申请日：2008-11-21
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B23K26/067 , B23K26/06 , B23K26/38 , G02B27/00
Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其将1束激光分光为多束，将它们同时照射在被加工物上而进行加工，该激光加工装置可以使分光后的各激光在被加工物上的照射区域大小相等。该激光加工装置具有：焦点差校正镜(25a)，其配置在分光后的多束激光中的激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)在被加工物(12)上的光束直径变化；以及焦点差校正镜控制功能(52)，其以使焦点差校正镜(25a)的子午方向的成像位置和弧矢方向的成像位置不变的方式，改变焦点差校正镜(25a)的反射面的子午方向和弧矢方向的曲率。
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公开(公告)号：CN114667651A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN201980102111.4
申请日：2019-11-11
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01S3/134
Abstract: 气体激光放大器(10A)具有框体(11)、放电电极对(20A、20B)和光谐振器(40)。框体(11)具有：入射窗口(12)，其从外部被射入第1激光；以及出射窗口(13)，其将放大的第1激光射出。放电电极对(20A、20B)使供给至在框体(11)的内部相对而配置的放电电极(21A、22A、21B、22B)之间的激光气体发生激励。光谐振器(40)在第1激光没有从框体(11)的外部从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的非入射状态时，通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡，在第1激光从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的入射状态时，使第2激光的振荡停止。
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