激光装置及激光加工装置

    公开(公告)号:CN116194239A

    公开(公告)日:2023-05-30

    申请号:CN202180062857.4

    申请日:2021-06-30

    Abstract: 激光装置(100)具有:激光振荡器(101);声光调制部(102),其具有如果被施加第1超声波则使来自激光振荡器(101)的激光衍射的第1声光调制器(3)、及如果被施加第2超声波则使从第1声光调制器(3)输出的高次光衍射的第2声光调制器(4),相对于由第1声光调制器(3)射出的高次光的衍射方向(D1)的第1超声波的传输方向(S1)与相对于由第2声光调制器(4)射出的高次光的衍射方向(D2)的第2超声波的传输方向(S2)不同;以及放大器(103),其使来自声光调制部的激光放大。

    激光加工头、激光加工装置以及金属制制造物的制造方法

    公开(公告)号:CN119317505A

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202280096787.9

    申请日:2022-06-17

    Abstract: 激光加工头(116)具备:像差光学系统,配置于朝向加工对象物照射的激光(144)向激光(144)的传播方向扩展的范围内的位置,产生像差;以及准直光学系统,传播激光(144)。像差光学系统中的离像差光学系统的中心轴的距离为边界值以下的区域即中心区域不具有光焦度,或者光焦度的绝对值为准直光学系统的光焦度的10分之1以下。像差光学系统中的离中心轴的距离超过边界值的区域即周边区域具有在使与中心轴平行的光线入射到周边区域的情况下光线的位置越远离中心轴则像差光学系统与光线的焦点之间的距离越短的聚光特性。

    激光器装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112805886B

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN201880098412.X

    申请日:2018-10-10

    Abstract: 激光器装置(10)具有:第1反射镜(3)及第2反射镜(4),它们使波长彼此不同的多个光束共振;衍射光栅(2),其关于在光束中心轴的朝向彼此不同的状态下从第1反射镜(3)射入的多个光束,使彼此光束中心轴一致而向第2反射镜(4)行进,且关于在光束中心轴彼此一致的状态下从第2反射镜(4)射入的多个光束,使光束中心轴的朝向彼此不同而向第1反射镜(3)行进;以及收容部1反射镜(3)和衍射光栅(2)之间行进的多个光束所经过的介质,具有在多个光束的各波长中出现峰值的离散性的增益谱。(1),其对激光介质进行收容,该激光介质是在第

    激光器装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112805886A

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN201880098412.X

    申请日:2018-10-10

    Abstract: 激光器装置(10)具有:第1反射镜(3)及第2反射镜(4),它们使波长彼此不同的多个光束共振;衍射光栅(2),其关于在光束中心轴的朝向彼此不同的状态下从第1反射镜(3)射入的多个光束,使彼此光束中心轴一致而向第2反射镜(4)行进,且关于在光束中心轴彼此一致的状态下从第2反射镜(4)射入的多个光束,使光束中心轴的朝向彼此不同而向第1反射镜(3)行进;以及收容部(1),其对激光介质进行收容,该激光介质是在第1反射镜(3)和衍射光栅(2)之间行进的多个光束所经过的介质,具有在多个光束的各波长中出现峰值的离散性的增益谱。

    激光放大装置及极紫外光发生装置

    公开(公告)号:CN115244801B

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202080098218.9

    申请日:2020-03-16

    Abstract: 具有:激光振荡器(20),其具有第1激光活性介质,该第1激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,该激光振荡器(20)使半值全宽为15ns至200ns之间的脉冲激光振荡;以及激光放大器(30),其具有第2激光活性介质,该第2激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,从激光振荡器(20)振荡的脉冲激光经过第2激光活性介质,由此缩短成半值全宽为5ns至30ns之间的脉冲激光而输出。

    激光装置及激光加工装置

    公开(公告)号:CN116194239B

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202180062857.4

    申请日:2021-06-30

    Abstract: 激光装置(100)具有:激光振荡器(101);声光调制部(102),其具有如果被施加第1超声波则使来自激光振荡器(101)的激光衍射的第1声光调制器(3)、及如果被施加第2超声波则使从第1声光调制器(3)输出的高次光衍射的第2声光调制器(4),相对于由第1声光调制器(3)射出的高次光的衍射方向(D1)的第1超声波的传输方向(S1)与相对于由第2声光调制器(4)射出的高次光的衍射方向(D2)的第2超声波的传输方向(S2)不同;以及放大器(103),其使来自声光调制部的激光放大。

    气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置

    公开(公告)号:CN114667651A

    公开(公告)日:2022-06-24

    申请号:CN201980102111.4

    申请日:2019-11-11

    Abstract: 气体激光放大器(10A)具有框体(11)、放电电极对(20A、20B)和光谐振器(40)。框体(11)具有:入射窗口(12),其从外部被射入第1激光;以及出射窗口(13),其将放大的第1激光射出。放电电极对(20A、20B)使供给至在框体(11)的内部相对而配置的放电电极(21A、22A、21B、22B)之间的激光气体发生激励。光谐振器(40)在第1激光没有从框体(11)的外部从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的非入射状态时,通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡,在第1激光从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的入射状态时,使第2激光的振荡停止。

    气体激光放大器、气体激光装置、EUV光发生装置及EUV曝光装置

    公开(公告)号:CN114667651B

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN201980102111.4

    申请日:2019-11-11

    Abstract: 气体激光放大器(10A)具有框体(11)、放电电极对(20A、20B)和光谐振器(40)。框体(11)具有:入射窗口(12),其从外部被射入第1激光;以及出射窗口(13),其将放大的第1激光射出。放电电极对(20A、20B)使供给至在框体(11)的内部相对而配置的放电电极(21A、22A、21B、22B)之间的激光气体发生激励。光谐振器(40)在第1激光没有从框体(11)的外部从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的非入射状态时,通过被激励的激光气体的增益使第2激光振荡,在第1激光从入射窗口(12)射入至框体(11)的内部的入射状态时,使第2激光的振荡停止。

    激光放大装置及极紫外光发生装置

    公开(公告)号:CN115244801A

    公开(公告)日:2022-10-25

    申请号:CN202080098218.9

    申请日:2020-03-16

    Abstract: 具有:激光振荡器(20),其具有第1激光活性介质,该第1激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,该激光振荡器(20)使半值全宽为15ns至200ns之间的脉冲激光振荡;以及激光放大器(30),其具有第2激光活性介质,该第2激光活性介质具有包含碳酸气体的混合气体,从激光振荡器(20)振荡的脉冲激光经过第2激光活性介质,由此缩短成半值全宽为5ns至30ns之间的脉冲激光而输出。

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