一种红外干涉高精度位移装置及其测量方法

    公开(公告)号:CN115164736A

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202210822265.4

    申请日:2022-07-13

    Abstract: 本发明公开了本发明提供一种红外干涉高精度位移装置,涉及光学用机械装置技术领域,具备直线位移机构;固定在直线位移机构上的移动干涉反射镜;纳米光栅,安装在所述直线位移机构上,所述纳米光栅能够实时测量所述直线位移机构的位移并发出位移信号;数据采集机构,接收自所述纳米光栅发出的位移信号并进行等间隔采样;还提供了该红外干涉高精度位移系统的测量方法;本发明中的干涉反射镜测量轴与直线位移机构运动轴同轴,并采用纳米光栅实时读取当前位置干涉光程差,不需要引入第二套光干涉系统,也不需考虑两套干涉系统光轴同轴问题,通过一次测量即可确定红外干涉零光程差的位置,保证仪器快速响应和测量。

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