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公开(公告)号：CN1573279A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410038466.7
申请日：2004-04-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供图形检查方法及装置。其中，在基板上即使形成粘接剂层这样的具有微小凹凸的层，也可以进行用透射光进行的图形自动检查并没有误识别。TAB带(5)由送出卷轴(11)送出，在液体涂敷部(2)涂敷水、酒精等液体，然后传送到检查部(1)。在检查部(1)，对TAB带(5)照射从透射照明装置(1a)发出的照明光，透过成为检查对象的TAB带(5)的图形的光输入到受像装置(1b)，并拍摄在TAB带(5)上形成的图形。用受像装置(1b)拍摄的图形，被送到控制部(4)进行图像处理，并与用于检查的标准图形相比较来判定合格与否。由于在TAB带(5)的粘接剂层上涂敷了液体的状态下拍摄图形，因此可以得到无因漫反射而导致的斑痕和斑点的图像。
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公开(公告)号：CN1763511B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200510113806.2
申请日：2005-10-12
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
Abstract: 本发明的课题是，使布线部分与树脂薄膜部分的对比度增加，而可以通过反射照明容易地检测出布线图案。形成有布线图案的TAB带(5)，从送出卷线机(11)被卷出而送到检查部(1)。在检查部(1)中，用反射照明单元(1a)照明，用摄像单元(1b)来拍摄TAB带(5)上的检查图案。被拍摄的检查图案的图像被送到控制部(4)，与基准图案比较来判断图案是否合格。反射照明单元(1a)的光源，例如为仅发射波长大于等于500nm的光的例如红外LED。因为仅用透过TAB带(5)的波长大于等于500nm的光照射，故可以得到对比度优良的图像。另外，使载物台(1c)的红外线反射率小于等于10％，或不设置载物台(1c)，能够得到对比度更优良的图像。
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公开(公告)号：CN1573280A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410047546.9
申请日：2004-05-21
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明提供一种图形检查装置，即使在基板上形成具有如粘合剂层这样的微小凹凸的层，也能够无误识别地利用透射光自动进行图形检查。利用带传送机构向检查部传送TAB带上的图形，从透射照明装置照射照明光，用CCD线性传感器拍摄图形。透射照明装置由倾斜配置的2个照明装置构成，从倾斜方向照射照明光。拍摄的图像传送到控制部，与检查用的母型图像进行比较，判断图形是否合格。也可以代替倾斜配置透射照明装置，从CCD线性传感器(1b)的视场外照射照明光，或用遮光板覆盖CCD线性传感器的视场内。由于透射照明装置作成上述结构，能够对TAB带照射适度的漫射光，能够得到无斑点或无不均的图像。
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公开(公告)号：CN101311706A
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200810109189.2
申请日：2008-05-23
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956 , G01B11/02
Abstract: 本发明提供布线图形的检查装置以及方法，能够区别产生于图形的表面的凹坑与突起，并能够在仅检测出凹坑的同时，也进行线宽的测定。作为解决问题的手段，本发明是从TAB带的被形成有图形的一侧，通过反射照明单元(12)，对于检查区域以倾斜射入的方式来照射照明光，同时，从被形成有图形的一侧的相反侧，通过透射照明单元(13)来照射照明光，并通过摄像单元(11)对图形进行摄像。若在图形的表面存在有凹坑，则来自反射照明单元(12)的反射光射入摄像单元(11)，并将该部分拍摄为明亮。又，通过来自透射照明单元(13)的照明光，被形成有图形的部分被拍摄为灰暗，而未被形成有图形的部分被拍摄为明亮。由此，通过使用反射照明与透射照明进行摄像，能够在仅将凹坑检测出来的同时，也进行线宽的测定。
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公开(公告)号：CN100395519C
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200410047546.9
申请日：2004-05-21
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种图形检查装置，即使在基板上形成具有如粘合剂层这样的微小凹凸的层，也能够无误识别地利用透射光自动进行图形检查。利用带传送机构向检查部传送TAB带上的图形，从透射照明装置照射照明光，用CCD线性传感器拍摄图形。透射照明装置由倾斜配置的2个照明装置构成，从倾斜方向照射照明光。拍摄的图像传送到控制部，与检查用的母型图像进行比较，判断图形是否合格。也可以代替倾斜配置透射照明装置，从CCD线性传感器(1b)的视场外照射照明光，或用遮光板覆盖CCD线性传感器的视场内。由于透射照明装置作成上述结构，能够对TAB带照射适度的漫射光，能够得到无斑点或无不均的图像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100395518C
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200410038466.7
申请日：2004-04-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供图形检查方法及装置。其中，在基板上即使形成粘接剂层这样的具有微小凹凸的层，也可以进行用透射光进行的图形自动检查并没有误识别。TAB带(5)由送出卷轴(11)送出，在液体涂敷部(2)涂敷水、酒精等液体，然后传送到检查部(1)。在检查部(1)，对TAB带(5)照射从透射照明装置(1a)发出的照明光，透过成为检查对象的TAB带(5)的图形的光输入到受像装置(1b)，并拍摄在TAB带(5)上形成的图形。用受像装置(1b)拍摄的图形，被送到控制部(4)进行图像处理，并与用于检查的标准图形相比较来判定合格与否。由于在TAB带(5)的粘接剂层上涂敷了液体的状态下拍摄图形，因此可以得到无因漫反射而导致的斑痕和斑点的图像。
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公开(公告)号：CN1896670A
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200610105688.5
申请日：2006-07-14
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: F26B3/28
Abstract: 本发明提供一种紫外线照射装置，其对被处理物照射紫外线，可实现部分改变光照射区域的光强度，可容易进行照射量的控制。具备照射紫外线的紫外线照射部、和提供电力至该紫外线照射部的电源部，在紫外线照射装置中，在紫外线照射部设置有线状排列的多个紫外线发光二极管。从紫外线发光二极管所射出的紫外线由透镜成形为细长线状的光照射区域，控制提供至各发光二极管的电力，由此光照射区域的紫外线强度被部分地改变。
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公开(公告)号：CN101290296A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200810009490.6
申请日：2008-02-03
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956 , G01R31/00
CPC classification number: H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 一种图案检查装置，利用反射照明光与透射照明光，区分在图案的表面产生的凹坑与突起，只将凹坑作为不良检测出。该图案检查装置，根据对形成于光透射性基板(1)上的图案(2)照明的照明光的摄像图像，判断图案的合格与否，其包括：第1照明单元(31)，照射中心光线相对于基板大致垂直的照明光；第2照明单元(32)，从将设置于基板的背面侧的检查区域(6)向基板在法线方向上投影的区域之外，对基板照射照明光；摄像单元(33)，设置在与第1照明单元(31)的照射方向相同的方向上；以及控制单元(4)，控制第1照明单元与第2照明单元(32)。控制单元同时进行第1照明单元和第2照明单元的照明，摄像单元拍摄同时被照明的图案。
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公开(公告)号：CN101113958A
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：CN200710138626.9
申请日：2007-07-24
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956 , G01R31/28 , H01L21/66
Abstract: 提供一种图形检查装置，不使析像度降低，只通过扫描摄像单元与照明单元1次，可以获得透射照明图像与反射照明图像双方。当TAB带(5)的检查图形(5a)被搬送来时，通过透射照明单元(1a)与反射照明单元(1b)照射透射照明光、反射照明光，通过扫描单元(2)使检查图形(5a)整体通过检查部(1)之下地进行扫描。由此，检查图形(5a)的透射照明图像、反射照明图像被读入并存储到控制部(4)。控制部(4)对存储的透射照明图像与透射照明用的基准图形进行比较，检查透射照明图像的布线图形相对于基准图形是否处于规定尺寸的范围内，即布线图形是否存在“粗部”或“细部”，并判断检查图形(5a)是否良好。
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公开(公告)号：CN1763511A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510113806.2
申请日：2005-10-12
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: G01N21/956 , H01L21/66
Abstract: 本发明的课题是，使布线部分与树脂薄膜部分的对比度增加，而可以通过反射照明容易地检测出布线图案。形成有布线图案的TAB带(5)，从送出卷线机(11)被卷出而送到检查部(1)。在检查部(1)中，用反射照明单元(1a)照明，用摄像单元(1b)来拍摄TAB带(5)上的检查图案。被拍摄的检查图案的图像被送到控制部(4)，与基准图案比较来判断图案是否合格。反射照明单元(1a)的光源，例如为仅发射波长大于等于500nm的光的例如红外LED。因为仅用透过TAB带(5)的波长大于等于500nm的光照射，故可以得到对比度优良的图像。另外，使载物台(1c)的红外线反射率小于等于10％，或不设置载物台(1c)，能够得到对比度更优良的图像。
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