光调制器以及光调制器的制造方法

    公开(公告)号:CN115469470A

    公开(公告)日:2022-12-13

    申请号:CN202210623939.8

    申请日:2022-06-02

    Abstract: 本发明提供一种光调制器以及光调制器的制造方法。光调制器具备:沿第一方向延伸的第一台面波导;以及第二台面波导。第一台面波导具备设置于衬底上的p型的第一半导体层、设置于第一半导体层上的芯层、设置于芯层上的p型的第二半导体层、以及设置于芯层上的n型的第三半导体层。第二半导体层以及第三半导体层配置为在第一方向上彼此相邻。在第三半导体层上设置有电极。第二半导体层与第三半导体层之间的接合面相对于与第一方向正交的面倾斜。

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