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公开(公告)号：CN108627894B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201710156283.2
申请日：2017-03-16
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种大面积、均匀的纳米透镜型阵列及其制备方法，包括：1、提供衬底，并对衬底进行清洁、活化；2、在衬底上旋涂负性光刻胶；3、采用可调全息光刻技术，以266nm波长的深紫外激光为光源，通过全息光学元件对负性光刻胶进行图案化曝光；4、经过显影和定影，得到光刻胶纳米透镜型阵列；5、采用各向异性金属沉积的方法对光刻胶模板进行金属化，得到金属的纳米透镜型阵列。光刻可以在几分钟之内大面积的完成，金属沉积也可以大批量的进行，因此突破了现有技术在批量加工方面的限制，制备的结构均匀，可以实现纳米级的精度以及大面积的制备，适用性强，有利于进一步推广本发明在不同技术领域的应用。
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公开(公告)号：CN108622848A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201710156275.8
申请日：2017-03-16
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种大面积、均匀的三维复合纳米结构及其制备方法，包括如下步骤：1、提供衬底；2、在衬底表面沉积第一金属层；3、将负性光刻胶均匀的旋涂在金属表面；4、采用全息光刻的方法在对负性光刻胶进行图案化曝光，并再经过显影、定影、氮气吹扫等步骤后得到大面积、均匀的周期性的光刻胶纳米柱阵列；5、采用电子束真空沉积技术进行第二次金属沉积。本发明的大面积均匀三维复合纳米结构和传统的纳米结构相比，拥有更大的比表面积，同时结合了纳米孔和光学纳米空腔的特点，可以耦合产生更多奇特的光电子学性质；且制备工艺简单、重现性好，并可以通过调节复合结构的周期、排列方式以及纳米空腔的尺寸来改变结构的光电子学性质。
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公开(公告)号：CN102928397B
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201210439788.7
申请日：2012-11-07
Applicant: 厦门大学
IPC: G01N21/65
Abstract: 全息型针尖增强拉曼光谱仪光学系统，涉及拉曼光谱仪。设有激光器、分光棱镜组、边缘滤波片、高NA值透镜、样品载物台和拉曼信号采集透镜，所述分光棱镜组用于将激光器发出的一束激光束分为两束平行运行的激发光束，所述分光棱镜组设有立方棱镜和三角棱镜，所述边缘滤波片设于分光棱镜组前方，将两束激光以45°角入射于拉曼信号采集透镜；所述高NA值透镜用于将边缘滤波片反射的两束激发光束会聚于一个针尖末端聚焦点；所述拉曼信号采集透镜用于将采集的拉曼信号输送到光谱仪和检测器进行分光和检测。系统简单、操作方便。在实际应用中，针对不同检测对象可以设计正置和倒置两种模式。
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公开(公告)号：CN102162908B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201110125640.1
申请日：2011-05-13
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种基于塔尔博特效应的新型全息光镊系统，涉及激光全息光镊。提供一种结构简单，可操作性强的基于塔尔博特效应的新型全息光镊系统。设有激光器、第1透镜、第2透镜、反射镜、全息元件、倒置显微镜、CCD图像传感器和计算机；2个透镜依次前后设于激光器的激光光束输出端与反射镜之间，激光器和2个透镜同光轴，2个透镜的初始位置使焦点重合，通过微调2个透镜之间的距离以控制激光光束聚焦点的位置，使激光光束聚焦点落于全息元件上；微粒置于倒置显微镜的置物台上，通过调整倒置显微镜的置物台与全息元件的距离，使微粒落于全息元件的塔尔博特自成像的位置上；CCD图像传感器的信息输出端接计算机，用于图像的分析和处理。
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公开(公告)号：CN101464542B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200910110903.4
申请日：2009-01-14
Applicant: 厦门大学
Abstract: 全息光栅型1×2波导分波器及其制造方法，涉及一种应用于光通信的1×2分波器。提供一种双信道，同时具有分波器和耦合器作用，成本低、生产速率高、体积小、隔离度大的全息光栅型1×2波导分波器及其制造方法。全息光栅型1×2波导分波器设有一波导基底，基底上设有一层具有全息光栅结构的记录材料。其制造方法是在基底表面涂布记录材料；用两束平面波对称入射；经曝光、显影处理。其制造装置设有激光器；1个反射镜和1个分光镜，分光镜将反射光分成2束，分别送两干涉光的产生装置；产生装置设有全反射镜、扩束滤波器和准直透镜，干涉光经全反射镜后再经扩束滤波和透镜准直后，到达记录材料；另一束干涉光产生装置完全相同。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101252155B
公开(公告)日：2010-10-13
申请号：CN200810070747.9
申请日：2008-03-14
Applicant: 厦门大学
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 多晶硅太阳能电池织构层的制备方法，涉及一种太阳能电池，尤其是涉及一种利用激光全息法并结合湿法刻蚀方法的多晶硅太阳能电池织构减反层制造工艺。提供一种快速制作大面积周期性微结构、成本低廉、减反效果良好的多晶硅太阳能电池织构层的制备方法。多晶硅硅片的预处理；在预处理后的多晶硅硅片表面的光刻胶材料上进行全息记录，制作二维周期性微结构；以光刻胶为结构模版，采用酸性腐蚀液将结构制作到硅材料中。
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公开(公告)号：CN100545698C
公开(公告)日：2009-09-30
申请号：CN200410060150.8
申请日：2004-06-28
Applicant: 厦门大学
IPC: G02B23/02
Abstract: 全息瞄准光学元件及其制造方法与应用，涉及一种全息光学元件，尤其是一种用于激光全息瞄准器的主要部件的制造方法和制造装置。全息瞄准光学元件设有全息干版，干版上设有叉丝图案信息和无穷远微小亮点信息。可在全息干版上第1次曝光记录1个叉丝图案信息；然后在同1块干版上第2次曝光记录一个无穷远微小亮点信息。设备包括第1次曝光记录1个叉丝图案信息的装置和第2次曝光记录装置。所说的全息瞄准光学元件是一个全息光学元件，在激光二极管的照射下能产生一个近距离的叉丝图像和一个远距离的微小亮点，可用于制造激光全息瞄准器，其隐蔽性好、瞄准精度高、视场角大、瞄准迅速。
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公开(公告)号：CN1256821C
公开(公告)日：2006-05-17
申请号：CN02124993.8
申请日：2002-06-26
Applicant: 厦门大学
Abstract: 涉及一种密集波分复用器，设有薄玻璃，玻璃上设具离轴Fresnel透镜结构的记录材料。其制造方法是在玻璃片上涂布记录材料；用球面波和平面波；经曝光、显影处理。其制造装置设有激光器；1个分光镜和1个反射镜，分光镜将反射光分为2束，分别送物光和干涉光产生装置；物光产生装置设有全反射镜和滤波器，物光经全反射镜后再经滤波器，到达记录介质；干涉光产生装置设有全反射镜和滤波器，由分光镜分给干涉光产生装置的另1束光经全反射镜后再经滤波器，到达记录介质与物光干涉。通道容量大，信道数量多；插入损耗小；同时具有解复用和藕合器的作用；相对于将来大容量光纤的扩容，具有成本低、插入损耗小、生产速率高的特点。
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公开(公告)号：CN1556444A
公开(公告)日：2004-12-22
申请号：CN200410003007.5
申请日：2004-01-09
Applicant: 厦门大学
IPC: G03H1/00
Abstract: 涉及一种用全息方法制备三维光子晶体的方法及装置。将激光经扩束空间滤波，再变成扩束的平行光照射到光栅版上，在光栅版后产生4束光干涉，在干涉区域放置记录干版，再经曝光显影。设有激光器、扩束与空间滤波器、准直透镜、光栅版和全息记录干版，光栅版对扩束后的平行光形成4束光干涉。只需单束激光和光栅版就能产生四束光，并以期望的方向运行。四束光汇合后在自由空间互相干涉，产生了光强度周期性变化的三维图形。用光敏材料产生折射率周期性变化的三维晶格结构。只要晶格结构中的二种折射率之比够大，就能产生光子禁带，该材料就能用做光子晶体。若用光刻胶版做记录材料，亦可将记录下的结构当作模版，用高折射率材料翻制成光子晶体。
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公开(公告)号：CN1213097A
公开(公告)日：1999-04-07
申请号：CN98117020.X
申请日：1998-10-29
Applicant: 厦门大学
IPC: G03H1/00
Abstract: 涉及应用激光取得三维全息图的装置,包括二维分隔分层和三维白光重现断层组合2个全息图记录装置,二维装置由激光器、可调分光镜、反射镜、扩束空间滤波器、准直透镜、毛玻璃、全息干版和狭缝档光板组成;三维装置由激光器、可调分光镜、反射镜、扩束空间滤波器、准直透镜、二维装置的毛玻璃、全息干版组成。利用分层分区存储法,将一组从不同深度拍摄的CT或MRI扫描照片记录到同一张全息图,在白光下显示立体的结构透视图。
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