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公开(公告)号：CN113871468B
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202110817730.0
申请日：2021-07-20
Abstract: 本发明公开了一种具有叠栅结构的碳化硅MIS器件及其制备方法，其器件结构包括至下而上依次设置的背电极、N+型4H‑SiC外延材料基片层、AlN与Al2O3堆叠的栅介质层、栅电极。本发明通过采用高介电常数的AlN与Al2O3材料结合为叠栅结构介质层，以氮等离子体对底层栅介质AlN进行表面钝化，实现了表面平整无重构，优化了底层栅介质与上层栅介质的界面连接，改善了碳化硅MIS器件的衬底和栅介质的界面特性，提高了载流子迁移率和临界击穿场强，最终提升器件性能。
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公开(公告)号：CN113871468A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202110817730.0
申请日：2021-07-20
Abstract: 本发明公开了一种具有叠栅结构的碳化硅MIS器件及其制备方法，其器件结构包括至下而上依次设置的背电极、N+型4H‑SiC外延材料基片层、AlN与Al2O3堆叠的栅介质层、栅电极。本发明通过采用高介电常数的AlN与Al2O3材料结合为叠栅结构介质层，以氮等离子体对底层栅介质AlN进行表面钝化，实现了表面平整无重构，优化了底层栅介质与上层栅介质的界面连接，改善了碳化硅MIS器件的衬底和栅介质的界面特性，提高了载流子迁移率和临界击穿场强，最终提升器件性能。
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公开(公告)号：CN113013229A
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202110209222.4
申请日：2021-02-25
IPC: H01L29/06 , H01L29/78 , H01L21/336
Abstract: 本发明公开了一种碳化硅UMOSFET功率器件及其制备方法，其器件结构包括从下到上依次包括漏电极、N+衬底层、N‑漂移层、N+电流扩散层、P型掺杂层、源区层、两个源电极；两个所述源电极之间设有源区接触层，所述源区接触层的底端设有栅电极，所述栅电极的外壁上包裹有栅极介质，所述栅极介质依次贯穿所述N+电流扩散层、P型掺杂层、源区层，所述栅极介质镶嵌在N‑漂移层的顶端。本发明通过在材料生长时改变掺杂气体流量，外延自下而上掺杂浓度渐变的漂移层，达到提高器件击穿电压并保持低导通电阻的目的，最终实现高性能器件的制备。
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公开(公告)号：CN117456807A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311510423.3
申请日：2023-11-14
Applicant: 厦门大学
IPC: G09B23/26
Abstract: 一种氨分子反转能级测量的教学平台及其使用方法，包括：微波模块、气体模块、测量模块以及加压模块；微波模块包括，可调频微波源，可调频微波源用于提供频率在11.0‑13.0GHz的实验所需微波信号；一对对称设置EH阻抗调配器，EH阻抗调配器通过直波导分别与两个喇叭天线连接，两个喇叭天线对称相对且间隔设置；气体模块包括，气体容器，气体容器设置于可调频微波源的输出端一侧且位于两个喇叭天线之间，气体容器外接有真空泵、高压直流电源以及氨气源；测量模块，测量模块设置于气体模块远离微波模块的一侧，测量模块包括与远离可调频微波源的EH阻抗调配器连接的检波器，检波器外接示波器。提供了成本低但效果好的适用于量子力学相关实验教学的教学平台。
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公开(公告)号：CN119063832B
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411559845.4
申请日：2024-11-04
Applicant: 厦门大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种基于多芯光纤的二维微弱振动探测仪及实时分析方法，属于微弱振动测量技术领域，通过一束激光出射后，经过连接振动源的凹面反射镜反射，反射光分光后分别在单芯光纤与四芯光纤端面进行耦合。当振动源带动反射镜振动时，反射光斑将发生偏移，从而改变光与光纤的耦合效率。光纤出射端则连接探测器，探测到出射光功率大小及分布后，通过数据采集卡导入电脑端进行自动化的采集与数据处理。本实验以光斑‑单芯光纤最大耦合位置作为基准矫正测量零点，设计光路通过反射镜引起光斑移动，再通过出射光光功率与反射镜位移之间的映射关系进行静态定标，从而获得耦合效率与反射镜位置的定量关系，由此实现动态振动的位移、频率的实时测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119165412A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411334583.1
申请日：2024-09-24
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种基于爱因斯坦‑德哈斯效应的微弱磁场测量装置及方法，涉及微弱磁场测量，应用亥姆霍兹线圈、光学平台、单刀双掷开关、光学支杆、夹持器、接杆直角夹具、导线、可编程直流电源与信号发生器搭建磁场发生装置和消磁装置；利用光纤夹具和石英纤维丝将带硅片的针规加持器按一定朝向和位置设置；将坡莫合金棒安置在针规夹头的另一端构建对磁场响应的机械转动部分；利用红光激光器、两面反射镜构建光路系统；利用位移传感器、数据采集卡和计算机处理光点速度数据，通过计算得到磁场大小。利用坡莫合金棒在磁场作用下内部原子自旋角动量变化引起的外部宏观角动量的变化，结合光路放大系统和位移传感器的精确测量，实现对微弱磁场的实时、精确测量。
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公开(公告)号：CN108169518B
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：CN201711406378.1
申请日：2017-12-22
Applicant: 厦门大学
Abstract: 形貌可控扫描隧道显微镜针尖制备系统，涉及扫描隧道显微镜。包括腐蚀平台、工作电路和控制软件，可制备用于STM测试需要的各种针尖。其中腐蚀平台包括装有腐蚀液体的电解池、用于固定和调节金属丝位置的探针定位机构以及可实时观察腐蚀过程中针尖形貌变化的监测平台；而工作电路为电解池供电，同时采集针尖电压信号，反馈给计算机控制软件，并由电机驱动电路控制步进电机完成探针的给进和提拉动作；控制软件则控制可编程电源输出不同变化模式电流，并根据采集卡反馈的电压信号，在针尖拉断瞬间及时关断电源，触发步进电机提取针尖。基于实时控制、实时观测及反馈，实现动态腐蚀过程的可控操作，从而制备出所需的不同形貌STM用针尖。
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公开(公告)号：CN117452651B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311803175.1
申请日：2023-12-26
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本发明公开了一种晶面结构观测仪及其观测方法，涉及教学器材技术领域，包括沿第二光线路径排列设置的激光器、第一光阑、第二光阑、第二显微物镜、样品、光屏和第二CCD相机，沿第一光线路径排列设置的光源组件、样品、第一显微物镜、第二光阑样品、半反半透镜和第一CCD相机。本发明公开的晶面结构观测仪可以直观地展现晶体结构与衍射图案的对应关系，实现了宏观的可见光衍射到微观电子衍射的知识过渡，从而方便教师课堂教学，帮助学生形成对晶体结构的直观印象，加深对晶体结构等知识的理解，且涉及固体物理、材料化学、光学、计算机等方面知识，综合教学意义突出。
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公开(公告)号：CN108169518A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711406378.1
申请日：2017-12-22
Applicant: 厦门大学
Abstract: 形貌可控扫描隧道显微镜针尖制备系统，涉及扫描隧道显微镜。包括腐蚀平台、工作电路和控制软件，可制备用于STM测试需要的各种针尖。其中腐蚀平台包括装有腐蚀液体的电解池、用于固定和调节金属丝位置的探针定位机构以及可实时观察腐蚀过程中针尖形貌变化的监测平台；而工作电路为电解池供电，同时采集针尖电压信号，反馈给计算机控制软件，并由电机驱动电路控制步进电机完成探针的给进和提拉动作；控制软件则控制可编程电源输出不同变化模式电流，并根据采集卡反馈的电压信号，在针尖拉断瞬间及时关断电源，触发步进电机提取针尖。基于实时控制、实时观测及反馈，实现动态腐蚀过程的可控操作，从而制备出所需的不同形貌STM用针尖。
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公开(公告)号：CN119063832A
公开(公告)日：2024-12-03
申请号：CN202411559845.4
申请日：2024-11-04
Applicant: 厦门大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种基于多芯光纤的二维微弱振动探测仪及实时分析方法，属于微弱振动测量技术领域，通过一束激光出射后，经过连接振动源的凹面反射镜反射，反射光分光后分别在单芯光纤与四芯光纤端面进行耦合。当振动源带动反射镜振动时，反射光斑将发生偏移，从而改变光与光纤的耦合效率。光纤出射端则连接探测器，探测到出射光功率大小及分布后，通过数据采集卡导入电脑端进行自动化的采集与数据处理。本实验以光斑‑单芯光纤最大耦合位置作为基准矫正测量零点，设计光路通过反射镜引起光斑移动，再通过出射光光功率与反射镜位移之间的映射关系进行静态定标，从而获得耦合效率与反射镜位置的定量关系，由此实现动态振动的位移、频率的实时测量。
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