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公开(公告)号：CN100576737C
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200710154066.6
申请日：2007-09-13
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/0222 , H03H9/02574
Abstract: 本发明涉及声波器件、谐振器和滤波器。该声波器件包括压电基板；形成在所述压电基板上的梳状电极；以及设置为覆盖所述梳状电极的第一介电膜，并且所述第一介电膜设置为使得：在所述第一介电膜中形成空隙并且该空隙接触所述梳状电极的指。
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公开(公告)号：CN101030764A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200710085821.X
申请日：2007-02-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02559 , H03H9/14541 , H03H9/6483
Abstract: 本发明公开了一种弹性边界波器件、谐振器以及滤波器。所述弹性边界波器件包括：LiNbO3基板；设置在所述基板上并激励弹性波的电极；以及设置在所述基板上以覆盖所述电极的二氧化硅膜，并且所述弹性边界波器件的参数具有范围中的任意一个，其中，“θ”为所述基板的旋转Y切割角，“a”为铜密度与用作所述电极的材料的密度之比，“λ”为由所述电极激励的弹性波的波长，“h”为所述电极的膜厚度，“H”为所述二氧化硅膜的厚度。
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公开(公告)号：CN1505263A
公开(公告)日：2004-06-16
申请号：CN200310117144.7
申请日：2003-12-02
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/02834 , H03H9/02559
Abstract: 一种表面声波器件，其包括：压电基板，具有其上形成有多个梳状电极的第一表面、和第二表面；以及，支撑基板，被接合到所述压电基板的第二表面。所述压电基板由钽酸锂制成，而所述支撑基板由蓝宝石制成。满足下列表达式：T/t＜1/3(1)，T/λ＞10(2)，其中，T是所述压电基板的厚度，t是所述支撑基板的厚度，λ是沿所述压电基板的第一表面传播的表面声波的波长。
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公开(公告)号：CN101154936A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200710161739.0
申请日：2007-09-25
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/0222 , H03H9/02574 , H03H9/6459 , H03H9/6469 , H03H9/6483
Abstract: 本发明涉及声波器件、谐振器以及滤波器。一种滤波器，其包括：并联谐振器，该并联谐振器具有设置在压电基板上的第一梳状电极，和覆盖该第一梳状电极的第一介电膜；和串联谐振器，该串联谐振器具有设置在所述压电基板上的第二梳状电极，和覆盖该第二梳状电极并且由和所述第一介电膜的材料相同的材料制成的第二介电膜。所述第一介电膜具有和所述第二介电膜的厚度不同的厚度。
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公开(公告)号：CN1665131A
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN200510051298.X
申请日：2005-03-03
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/02559 , H01L41/312 , H03H9/02574
Abstract: 接合基板、表面声波芯片以及表面声波器件。接合基板包括钽酸锂基板及与钽酸锂基板相接合的蓝宝石基板，钽酸锂基板和蓝宝石基板的接合界面包括厚度为0.3nm到2.5nm、处于非晶态的接合区域。处于非晶态的接合区域是通过利用惰性气体或氧的中性化原子束、离子束或者等离子体在接合界面中激活钽酸锂基板和蓝宝石基板中的至少一方来形成的。可以无需高温热处理而将压电基板与具有不同晶格常数的支撑基板相接合，并且可以实现具有优良接合强度和更小翘曲的接合基板。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1617443A
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：CN200410090409.3
申请日：2004-11-12
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H3/08
Abstract: 一种弹性边界波装置，包括：一第一压电基板；设置在第一压电基板上的梳状电极；一第一电介质膜，该第一电介质膜具有覆盖这些梳状电极的平滑表面；一第二基板，该第二基板是基于硅的基板；一第二电介质膜，被设置在第二基板的主表面上。第一电介质表面的平滑表面和第二电介质膜的一表面连接在一起。
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公开(公告)号：CN1534868A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410032234.0
申请日：2004-03-26
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/1071 , H01L2224/97 , H03H3/08
Abstract: 一种制造表面声波器件的方法，包括下列步骤：将一支撑基板与背对压电基板第一表面的压电基板第二表面相接合；研磨和抛光压电基板第一表面；研磨和抛光支撑基板第三表面，该支撑基板第三表面背对与压电基板第二表面相接合的该支撑基板的另一表面；以及，在压电基板第一表面上形成一包括多个梳状电极和多个电极焊盘的片上图案。
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公开(公告)号：CN100508380C
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：CN200410090409.3
申请日：2004-11-12
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H3/08
Abstract: 一种弹性边界波装置，包括：一第一压电基板；设置在第一压电基板上的梳状电极；一第一电介质膜，该第一电介质膜具有覆盖这些梳状电极的平滑表面；一第二基板，该第二基板是基于硅的基板；一第二电介质膜，被设置在第二基板的主表面上。第一电介质表面的平滑表面和第二电介质膜的一表面连接在一起。
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公开(公告)号：CN101087127A
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200710108911.6
申请日：2007-06-04
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02834 , H03H9/02929
Abstract: 本发明提供声界面波器件、谐振器和滤波器。该声界面波器件包括：具有压电性的第一介质；多个电极，其设置在所述第一介质上，并激发声波；第二介质，其由不同于所述第一介质的材料制成，并按覆盖所述多个电极的方式设置在所述第一介质上；以及第三介质，其导热率高于所述第二介质的导热率，并被设置为接触所述第二介质的上表面以及所述第二介质的侧面的至少一部分。
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公开(公告)号：CN101034879A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710086021.X
申请日：2007-03-07
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/0222 , H03H9/02818
Abstract: 本发明公开一种弹性边界波器件。该弹性边界波器件包括：具有压电性的第一介质；电极，其被设置在所述第一介质上并激发弹性波；第二介质，其由与所述第一介质不同的材料制成并且被设置在所述第一介质上以覆盖所述电极；以及吸声部分，其被设置在所述第二介质上。
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