永久抗蚀剂组合物、其固化产物及其用途

    公开(公告)号:CN1934498A

    公开(公告)日:2007-03-21

    申请号:CN200580008836.5

    申请日:2005-02-10

    Abstract: 一种永久的光致抗蚀剂组合物,其包括:(A)根据式I的一种或更多种双酚A-酚醛环氧树脂;其中:在式I中的每一基团R独立地选自缩水甘油基或氢,和在式I中的k是范围为0-约30的实数;(B)选自式BIIa和BIIb表示的基团中的一种或更多种环氧树脂;其中在式BIIa中的每一R1、R2和R3独立地选自氢或具有1-4个碳原子的烷基,和在BIIa中的数值p是范围为1-30的实数;在BIIb中的数值n和m独立地为范围是1-30的实数,以及在BIIb中的每一R4和R5独立地选自氢、具有1-4个碳原子的烷基或三氟甲基;(C)一种或更多种阳离子光引发剂(也称为光酸生成剂或PAG);和(D)一种或更多种溶剂。

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