公开(公告)号：CN110132169A

公开(公告)日：2019-08-16

申请号：CN201910430146.2

申请日：2019-05-22

Applicant: 暨南大学

Inventor： 贾伟 ,  周常河 ,  王津 ,  项长铖 ,  谢永芳 ,  薄启宇

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明公开了一种基于同轴干涉的波面测量系统，包括：马赫曾德双光束干涉光路、同轴干涉记录单元、二维移动平台、激光干涉仪单元及数据处理单元；待测光学元件设置在所述马赫曾德双光束干涉光路中，所述马赫曾德双光束干涉光路用于产生两束马赫曾德干涉光路，一路作为参考光，另一路作为测量光，其中测量光经过待测光学元件，所述同轴干涉记录单元设置在二维移动平台上，用于将两束马赫曾德干涉光路合路成同轴干涉信号，并记录同轴干涉信号的光强信息，本发明测量波面的尺寸和精度不再受限于分束镜的大小和表面质量，因此在大尺寸波面以及大尺寸光学元件面形测量中具有很好的应用前景。

公开(公告)号：CN110057543A

公开(公告)日：2019-07-26

申请号：CN201910331365.5

申请日：2019-04-24

Applicant: 暨南大学

Inventor： 贾伟 ,  周常河 ,  王津 ,  项长铖 ,  谢永芳 ,  薄启宇

IPC: G01M11/00

Abstract: 本发明公开了一种基于同轴干涉的波面测量装置，包括用于产生干涉条纹场的马赫曾德双光束干涉系统、用于产生同轴干涉的合束元件、采集干涉信号的光探测器、以及用于扫描双光束干涉场的二维移动台和测量位移的激光干涉仪系统。其特点是在传统的马赫曾德双光束干涉仪中引入小尺寸合束元件，使两束相干光产生同轴干涉，通过二维扫描测量该干涉信号的周期变化，实现对马赫曾德双光束干涉场周期的高精度测量，从而推算出双光束波面的分布情况。利用小尺寸合束元件的扫描测量，该发明可以实现大尺寸波面的测量，而不需要相应尺寸的合束元件或参考波面。

公开(公告)号：CN110057543B

公开(公告)日：2020-12-11

申请号：CN201910331365.5

申请日：2019-04-24

Applicant: 暨南大学

Inventor： 贾伟 ,  周常河 ,  王津 ,  项长铖 ,  谢永芳 ,  薄启宇

IPC: G01M11/00

Abstract: 本发明公开了一种基于同轴干涉的波面测量装置，包括用于产生干涉条纹场的马赫曾德双光束干涉系统、用于产生同轴干涉的合束元件、采集干涉信号的光探测器、以及用于扫描双光束干涉场的二维移动台和测量位移的激光干涉仪系统。其特点是在传统的马赫曾德双光束干涉仪中引入小尺寸合束元件，使两束相干光产生同轴干涉，通过二维扫描测量该干涉信号的周期变化，实现对马赫曾德双光束干涉场周期的高精度测量，从而推算出双光束波面的分布情况。利用小尺寸合束元件的扫描测量，该发明可以实现大尺寸波面的测量，而不需要相应尺寸的合束元件或参考波面。

公开(公告)号：CN109374259A

公开(公告)日：2019-02-22

申请号：CN201811318508.0

申请日：2018-11-07

Applicant: 暨南大学

Inventor： 贾伟 ,  周常河 ,  王津 ,  项长铖 ,  谢永芳 ,  赵冬 ,  薄启宇

IPC: G01M11/02 ,  G01M11/00 ,  G02B5/32

Abstract: 本发明公开了一种全息光栅周期高精度在线测量与调节装置，该装置包括用于产生并调节光栅场的双光束全息干涉光路，用于产生同轴干涉的参考光栅和采集干涉信号的光电探测器，以及用于扫描全息光栅场的一维高精度移动台和测量位移的激光干涉仪系统。其特点是在传统全息光路中引入参考光栅，使两束相干光产生同轴干涉，通过测量该干涉信号的周期变化，实现对全息光栅场的高精度在线测量，同时通过准直透镜的二维移动实现全息光栅周期的高精度在线调节。