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公开(公告)号：CN114609714B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202210190096.7
申请日：2022-02-24
Applicant: 暨南大学
IPC: G02B5/18
Abstract: 本发明公开了一种正入射条件下基于RGB三色波段偏振无关的透射式倾斜多层二维阵列光栅，单个周期的光栅结构由上至下为由SiO2介质材料、MgF2介质材料构成二维结构介质光栅层、SiO2基底层。位于光栅顶层的二维结构介质光栅层为对称排放的带有单方向倾斜的倾斜长方体结构阵列，其中长方体的长和宽相等。本发明公开的偏振无关的透射式倾斜多层二维光栅可以使得TE和TM两种偏振模式的入射光以正入射条件入射时，透射能量主要集中于(0,‑1)阶透射级次。本发明适用于基于RGB三基色(430～700纳米)波段的高效率偏振无关斜双层光栅，实现对偏振无关入射光的高效率衍射，同时制作容宽大，方便制作。
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公开(公告)号：CN114935311A
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202210672039.2
申请日：2022-06-15
Applicant: 暨南大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明公开了一种新型的基于一维光栅的干涉位移测量装置，该装置首次引入三块相等密度的光栅，其中一块为反射式，两块为透射式光栅。入射波长为红光的激光垂直入射在反射式光栅结构上，两束衍射光分别经过两块透射式光栅后经过反射镜调整汇聚于偏振分光棱镜上，最终被两个接收器检测到。该装置可以实现在亚纳米分辨率下测量小位移和长位移的优点，大幅度提升抗干扰能力和光能利用率，其中光栅具有结构简单，加工方便，造价低，可以大批量生产。
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公开(公告)号：CN110057543B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201910331365.5
申请日：2019-04-24
Applicant: 暨南大学
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明公开了一种基于同轴干涉的波面测量装置，包括用于产生干涉条纹场的马赫曾德双光束干涉系统、用于产生同轴干涉的合束元件、采集干涉信号的光探测器、以及用于扫描双光束干涉场的二维移动台和测量位移的激光干涉仪系统。其特点是在传统的马赫曾德双光束干涉仪中引入小尺寸合束元件，使两束相干光产生同轴干涉，通过二维扫描测量该干涉信号的周期变化，实现对马赫曾德双光束干涉场周期的高精度测量，从而推算出双光束波面的分布情况。利用小尺寸合束元件的扫描测量，该发明可以实现大尺寸波面的测量，而不需要相应尺寸的合束元件或参考波面。
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公开(公告)号：CN109489579A
公开(公告)日：2019-03-19
申请号：CN201811363911.5
申请日：2018-11-16
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开了一种基于高密度光栅的Sagnac偏振成像装置，其特征在于，包含第一光栅、第二光栅、Sagnac环；Sagnac环包含反射镜、偏振分束器、偏振片、成像透镜、CCD探测器；第一光栅位于偏振分束器透射光路上；第二光栅位于偏振分束器反射光路上；反射镜位于第一光栅的水平方向与第二光栅垂直方向的交叉处；偏振片位于第一光栅的下方；成像透镜位于偏振片的下方；CCD探测器位于成像透镜的下方；本发明采用的光栅为相同器件，保证了光束相互平行；不仅起到了消除衍射角，同时也起到了分光的作用；结构紧凑，效率极高，可以产生高分辨率、波段更宽的光谱，使该装置适用于高分辨率偏振光谱成像。
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公开(公告)号：CN109374259A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811318508.0
申请日：2018-11-07
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开了一种全息光栅周期高精度在线测量与调节装置，该装置包括用于产生并调节光栅场的双光束全息干涉光路，用于产生同轴干涉的参考光栅和采集干涉信号的光电探测器，以及用于扫描全息光栅场的一维高精度移动台和测量位移的激光干涉仪系统。其特点是在传统全息光路中引入参考光栅，使两束相干光产生同轴干涉，通过测量该干涉信号的周期变化，实现对全息光栅场的高精度在线测量，同时通过准直透镜的二维移动实现全息光栅周期的高精度在线调节。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114609794B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202210184032.6
申请日：2022-02-24
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开了一种正入射条件下基于金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器，单个周期的光栅结构由顶层金属材料构成二维结构光栅层、金属层、基底层构成；顶层的二维结构光栅层为对称排放的二维圆柱或圆台阵列结构。本发明公开的金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器使得TE偏振模式的入射光中心波长为780nm以正入射条件入射时，衍射能量主要集中于(0,‑1)阶和(0,1)阶反射衍射级次，且能量大于45％；TM偏振模式的入射光中心波长为780nm以正入射条件入射时，衍射能量主要集中于(‑1,0)阶和(1,0)阶反射衍射级次，且能量大于45％，实现对光的偏振态正交分解，同时制作容宽大，方便制作。
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公开(公告)号：CN116007503A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211314696.6
申请日：2022-10-26
Applicant: 暨南大学
IPC: G01B11/02 , G01B9/02015 , G01B9/02055
Abstract: 本发明公开一种基于偏振分束光栅的干涉位移测量装置，包括光源组件、光路组件、光电接收模块和信号处理模块；光源组件用以产生测量光束；光路组件包括第一反射棱镜、反射式光栅、第二反射棱镜、第三反射棱镜和偏振分束光栅；光源组件发出测量光束到第一反射棱镜，第一反射棱镜用以将测量光束反射至反射式光栅，反射式光栅将测量光束分为第一衍射光和第二衍射光，第一衍射光和第二衍射光分别反射到第二反射棱镜和第三反射棱镜，第二反射棱镜和第三反射棱镜用以将第一衍射光和第二衍射光调整后入射到偏振分束光栅上；光电接收模块与信号处理模块电信连接，信号处理模块用以对第一拍频信号和第二拍频信号进行差分计算，计算出位移。
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公开(公告)号：CN115165915A
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202210787373.2
申请日：2022-07-06
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开了一种光栅缺陷检测装置及检测方法，其中，缺陷检测装置包括单色光源模块、图像采集模块、XZ二维位移平台及光栅夹具模块以及保护壳。图像采集模块包采用CMOS相机，同时包括高低分辨率光学镜头可根据需求替换；XZ二维移动平台在X轴Z轴方向受控的移动扫描光栅，实现XZ面扫面；图像采集模块与图像处理模块电讯连接,通过图像处理算法对获取的光栅表面图像进行尺寸和瑕疵的量检测；光栅夹具模块垂直固定大尺寸光栅。其中，光栅检测装置采用暗场成像原理以及单色光源，避免光栅镜面成像以及衍射产生彩色光斑，并且机械结构简单紧凑,能根据待测件的宽幅可调的模块化设置。本发明提高了大尺寸光栅表面瑕疵检测的准确度和效率。
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公开(公告)号：CN112034545B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN202011045243.9
申请日：2020-09-29
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开了一种二维孔洞阵列光栅及光栅尺位移测量系统，该光栅由上至下由顶层Ta2O5介质材料构成二维圆形孔洞结构光栅层、SiO2介质缓冲层、Ag金属层和基底构成光栅结构；所述的顶层二维结构介质光栅层为对称排放的二维圆柱形孔洞或圆台孔洞型阵列结构。本发明的偏振无关多层金属介质二维孔洞阵列光栅可以使TE和TM两种偏振模式的入射光以利特罗角(Littrow)入射时，(‑1，0)级反射衍射效率在中心波长780纳米波长高于98％，且两个偏振态之间的效率差异小于0.3％，衍射效率平衡达到99.74％，实现对偏振无关入射光的高效率衍射，同时制作容宽大，方便制作。
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公开(公告)号：CN114609794A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202210184032.6
申请日：2022-02-24
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开了一种正入射条件下基于金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器，单个周期的光栅结构由顶层金属材料构成二维结构光栅层、金属层、基底层构成；顶层的二维结构光栅层为对称排放的二维圆柱或圆台阵列结构。本发明公开的金属倾斜圆台或圆柱二维光栅的正交偏振分束器使得TE偏振模式的入射光中心波长为780nm以正入射条件入射时，衍射能量主要集中于(0,‑1)阶和(0,1)阶反射衍射级次，且能量大于45％；TM偏振模式的入射光中心波长为780nm以正入射条件入射时，衍射能量主要集中于(‑1,0)阶和(1,0)阶反射衍射级次，且能量大于45％，实现对光的偏振态正交分解，同时制作容宽大，方便制作。
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