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公开(公告)号：CN109283805A
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201811444399.7
申请日：2018-11-29
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明涉及一种基于达曼光栅激光直写装置。将STED超分辨引入到达曼光栅激光直写光路部分，充分利用STED超分辨成像，将激发光和损耗光的两种空间分布的光斑进行重叠，重叠区域荧光被猝灭，因此只有中心区域很小范围内才能够辐射荧光，实现了超分辨成像，可以产生一个更小的聚焦光斑，从而提高刻写密度，能够实现高密度光栅的刻写。在此基础上利用达曼光栅，可以一次直写多条光栅栅线，提高激光直写的直写并行度。本装置适用于刻写高密度、高精度的大尺寸衍射光学元件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109343162A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811445709.7
申请日：2018-11-29
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明涉及一种基于超透镜的激光直写装置及其激光直写方法。将超透镜置于直写基底之上，充分利用超透镜的超分辨成像，使得在超透镜的下表面及其近场范围内的距离可以形成高分辨的图像，缩小聚焦的光斑尺寸，从而提高刻写密度，能够实现高密度光栅的刻写。利用达曼光栅，可以一次直写多条光栅栅线，提高激光直写的直写并行度。本装置适用于刻写高密度、高精度的大尺寸衍射光学元件。
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公开(公告)号：CN109374259A
公开(公告)日：2019-02-22
申请号：CN201811318508.0
申请日：2018-11-07
Applicant: 暨南大学
Abstract: 本发明公开了一种全息光栅周期高精度在线测量与调节装置，该装置包括用于产生并调节光栅场的双光束全息干涉光路，用于产生同轴干涉的参考光栅和采集干涉信号的光电探测器，以及用于扫描全息光栅场的一维高精度移动台和测量位移的激光干涉仪系统。其特点是在传统全息光路中引入参考光栅，使两束相干光产生同轴干涉，通过测量该干涉信号的周期变化，实现对全息光栅场的高精度在线测量，同时通过准直透镜的二维移动实现全息光栅周期的高精度在线调节。
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公开(公告)号：CN109341581B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201811285843.5
申请日：2018-10-31
Applicant: 暨南大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种横向奇偶组合达曼光栅的三维测量模组及工作方法，产生用于三维成像与测量的交错的点阵化结构光，该测量模组由激光器及扩束器的集成元件、准直透镜、分离的两块不同分束比的达曼光栅或者是在一个基底相邻的两个区域内分别刻蚀不同分束比的横向奇偶组合达曼光栅、物镜等主要器件依次封装构成。激光器发出的激光，经准直透镜准直后，由分离的两块不同分束比的达曼光栅或者是在一个基底相邻的两个区域内分别刻蚀不同分束比的达曼光栅分光后，将两块二维达曼光栅来产生两个非交错点阵进行组合，进而由物镜投射出三维测量与成像所需的交错的平铺点阵。该测量模组具有结构简单易实现以及便于集成到移动设备的优点。
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公开(公告)号：CN111207696A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010047782.X
申请日：2020-01-16
Applicant: 暨南大学
IPC: G01B11/25
Abstract: 本发明公开了一种横向旋转组合达曼光栅的三维测量模组及工作方法，产生用于三维成像与测量的交错的环形高密度点阵化结构光，该测量模组由激光器及扩束器的集成元件、准直透镜、由四块不同分束比的横向旋转组合达曼光栅构成的分束装置、物镜依次封装构成。激光器发出的激光，该激光束经准直透镜准直后，由四块达曼光栅分光后，通过四块二维达曼光栅来产生四个非交错点阵进行横向旋转组合，进而由物镜投射出三维测量与成像所需的交错的投射点阵。该测量模组具有结构简单易实现，输出点阵密度高，投射点阵边缘交错，以及便于集成到移动设备的优点。这种技术有可以降低移动式和固定式3D传感器中结构光投影仪的复杂性，光学元件数量，功耗和成本。
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公开(公告)号：CN109341581A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811285843.5
申请日：2018-10-31
Applicant: 暨南大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种横向奇偶组合达曼光栅的三维测量模组及工作方法，产生用于三维成像与测量的交错的点阵化结构光，该测量模组由激光器及扩束器的集成元件、准直透镜、分离的两块不同分束比的达曼光栅或者是在一个基底相邻的两个区域内分别刻蚀不同分束比的横向奇偶组合达曼光栅、物镜等主要器件依次封装构成。激光器发出的激光，经准直透镜准直后，由分离的两块不同分束比的达曼光栅或者是在一个基底相邻的两个区域内分别刻蚀不同分束比的达曼光栅分光后，将两块二维达曼光栅来产生两个非交错点阵进行组合，进而由物镜投射出三维测量与成像所需的交错的平铺点阵。该测量模组具有结构简单易实现以及便于集成到移动设备的优点。
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